• 在现代的科学领域当中，光的干涉有着重 要的应用。而且随着科学的进步和发展， 光的干涉正进一步地被更广泛地应用到科 学技术的研究！而光的干涉又在其中扮演 着及其重要的角色！
激光器
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激光器是60年代初期出现
的一种新型光源，激光是从激光
器发射出来的光，它与普通光源
发出的光不同，具有亮度高，方
向性、单色性和相干性好等特点。
他位置精度至关重要的系统进行全面精度评估的最佳工具。
此技术在这个领域已经有了许多应用。
典型应用有: 传统的机床精度校正, CNC机床精度校正与 补偿, 第四轴的校正与补偿, 标准长度的测量,例如块规花 岗石平台的校正, 光学平台精度检验, PCB钻孔机精度校正 与补偿, 三坐标空间精度校正, 半导体业机台校正。
二、精密机床控制
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现代工业需要满足日益严格的公差以及国际质量标准
的要求，因此生产设备的工作性能受到前所未有的重视。
为满足这一需求，研究人员利用激光的干涉原理推出了可 以评估、监控并改善机器性能的两激光干涉测量系统，从 而提高了生产力，缩短了停机时间，并使废品率降至最低。
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Байду номын сангаас
激光干涉仪测量系统是迄今对机床、坐标测量机及其
激光干涉仪对产品进行精确评估
• 其实这还只是光的干涉的应用中很小的一 块但光的干涉的应用所发挥出的重要作用 和现实意义早已可见一斑！
• 相信在不久的未来，光的干涉理论还会得 到进一步的发展和应用！
• 目前常用来测量长度的干涉仪，主要是 以迈克尔逊干涉仪为主，并以稳频氦氖 激光为光源，构成一个具有干涉作用的 测量系统。激光干涉仪可配合各种折射 镜、反射镜等来作线性位置、速度、角 度、真平度、真直度、平行度和垂直度 等测量工作，并可作为精密工具机或测 量仪器的校正工作。
以下为迈克尔逊干涉仪原理图
自从氦氖激光器出现以后，用激
光干涉法测量长度的技术取得了
很大进展。目前已广泛应用于精
密长度计量（包括线纹尺、光栅
检定、精密丝杠动态测量、振动
测量等）、精密机床控制以及高
精度电子精密机械设备的精密定
位等方面。
一、激光干涉测量
• 迈克尔孙激光干涉仪是基于激光干涉原 理来实现测试等方面的用途的最主要也 是最重要的仪器。它是以激光波长为已 知长度利用迈克耳逊干涉系统测量位移 的通用长度测量.工具激光干涉仪有单频 的和双频的两种。