激光干涉测量系统
Laser Interferometer
型号：DISTAX L-LM-20B
购入时间：2004年01月
价格：303400元（人民币）
制造厂家：日本东京精密公司
安装地点：延长校区机械楼102室
所在单位：机自学院精密机械系
所在地址：延长路149号
联系人：程维明
联系电话：（021）56333903
仪器简介：
激光干涉测量系统是以激光为长度基准，对长度等几何量进行精密测量的仪器。

可以进行精密位移测量，配以相应的工夹具可以测量大型装置的长度、角度等几何量。

该激光干涉仪以光纤为光束传导介质，并带有空气传感器和工件温度传感器，使用、安装方便，精度高。

主要技术指标：
测量分辨率：10nm；测量精度：0.1μm；测量速度：0.4ms-1；激光功率：1Mw
应用范围：
长度测量、位移测量等。