O2
液氧儲槽 蒸發器 減壓站 過濾器 純化器 CQC
使用點
He/Ar/Kr/H2…
鋼瓶/Bundle Trunker 減壓站 過濾器 純化器 CQC
一/二次管 二次盤
一/二次管 二次盤
使用點
Specialty Gas
鋼瓶 Cabinet 氣瓶櫃 管線 VMB/P 閥箱 管線 使用點
3.7 高真空/排氣系統簡略流程
一/二次管 二次盤
真空管路
真空儲槽
真空 Pump
HV
配置需求 使用點 開關盒 真空管路 真空 清潔儲槽 真空 Pump
3.9 化學系統簡略流程
Chemical
化學品 供應槽車 化學品 儲槽
傳送系統 供應槽 分配系統
廢液 回收槽
回收管線
使用點
VMB/P
化學管路
3.10 廢水收集系統簡略流程
Drain Pipe
機台 排放點 收集 管線 廢水 處理廠
3.11 廢水處理系統簡略流程
Waste Water Treatment
廢水 收集槽 PH 調整槽
曝氣槽
生物 接觸槽
PH 反應槽
污泥 脫水機
污泥 收集槽
沉澱槽
澄清槽
膠羽 凝結槽
污泥餅 儲槽
運棄
Polymer
MAU 大氣
冰水回
RCU 冰水主機
冷卻水
冷卻水塔
AHU
其他空調箱
冰水出
冷媒循環
DCC 板 熱
3.3 純水系統簡略流程
City Water 自來水 DM Filter 去除鈣鎂
Decarbonator
去除CO2
WA Tower 去除碳酸鈣
SA Tower 去除碳酸鈣
RO Tank RO進水槽
Mixed Bed 去除SiO2
回水
P.O.U 使用點
H2W UF Unit
超限過濾膜
H2除溶膜
H2 Desolve Membrane
H2 M.D. H2去除膜
H2 Cooler H2冷卻器
純水儲槽
H2 UPW Tank
回水
3.4 自來水/回收水系統簡略流程
自來水
自來水外管
回收水
空氣中水份
水表/隔離閥
冷盤/空調箱
供應管線 回收水槽 使用點
Drain 排水系統
機台製程使用之廢DI/Chemical排放
2.廠務系統使用材質
2.1 水系統使用材質
PCW 製程冷卻水 UPW/DIW 超純水 Chill Water 冰水 RW 回收水 CW 自來水
SUS 304禁油處理/高壓軟管 CPVC/PVDF/PFA Tube
SUS 304
SUS 304
Pumping Line
機台製程 Chamber 高真空 管路 Vacuum Pump
Exhaust
高真空 管路
Scrubber
GEX
機台出口 Damper 風管
風管
風機
大氣
Others Exhaust
機台出口 Damper 風管 風機 Scrubber 大氣
3.8 真空系統簡略流程
PV
製程機台 使用點
回收管線
使用點
3.5 CDA/GN2/PN2系統簡略流程
CDA
大氣 空壓機 蓄壓槽
初級 過濾器 冷凍式 乾燥機 吸附式 乾燥機 精密 過濾器
使用點
一/二次管 二次盤
CQC
GN2/PN2
大氣 氮氣 產生器 液氮槽 蒸發器 減壓站 過濾器 純化器
使用點
一/二次管 二次盤
CQC
3.6 其他大宗氣體/特氣系統簡略流程
廠務系統概述
莊士正
整廠系統
1.廠務系統功能
1.1 水系統在製程中的功能
PCW 製程冷卻水 UPW/DIW 超純水 Chill Water 冰水 RW 回收水 CW 自來水
製程機台冷卻 補水/清洗/稀釋
冷卻用冷源/空調用冰水
DI回收/冷凝回收/再生使用
原水/一般用水
1.2 氣體系統在製程中的功能
SUS 316L EP/雙套管/加熱套
2.3 化學系統使用材質
有機類 化學藥品
例如溶劑類→SUS 316 BA
一般酸鹼 化學藥品
例如H2SO4/NaOH→PVC/CPVC
其他 化學藥品
CPVC/PFA/PVDF/PTFE
2.4 真空系統使用材質
PV 製程真空 HV 清潔真空
PVC SCH80/SUS 304
Chemical 化學藥品
清潔清洗/濕式蝕刻製程需求
1.4 真空系統在製程中的功能
PV 製程真空 HV 清潔真空
基板吸引般移
塵屑吸引清潔/真空吸筆
1.5 排氣/排水系統在製程中的功能
Pump Line 製程高真空 Exhaust 排氣系統
Chamber製程轉換之高真空建立
Chamber製程轉換之廢氣排除
Drain 一般排水 Solvent 有機排氣水 Acid/Ak 酸鹼排氣水
PVC/PVC SCH80
SUS 304不銹鋼管
PVC SCH80/PVDF/PTFE/PFA
3.廠務系統流程
3.1 製程冷卻水系統簡略流程
原水補水
膨脹水箱
冰水進
板 熱
冰水出
製程管線
進水 回水
機台冷卻
3.2 冰水系統簡略流程
CDA
壓縮乾Байду номын сангаас空氣
搬運器/儀器之氣壓缸/一般沖吹 Purge/CDA Backup/潔淨沖吹
GN2 一般氮氣 PN2 純化氮氣 其他B-GAS 大宗氣體 S-GAS 特殊氣體
Purge/空間填充/超潔淨沖吹
製程需求/Purge/空間填充/超潔淨沖吹
製程Chamber填充需求/乾蝕刻製程需求
1.3 化學系統在製程中的功能
PVC SCH80/SUS 304
2.5 排氣系統使用材質
Pump Line 製程高真空 GEX 一般排氣 Solvent 有機排氣 Acid/Ak 酸鹼排氣
SUS 316 BA/EP
鍍鋅螺旋風管
SUS 304全焊式不銹鋼風管
不銹鋼Teflon Coating風管(Tefpass)
2.6 排水系統使用材質
SUS 304
2.2 氣體系統使用材質-(除特氣外機台端都可能用Teflon軟管)
CDA
壓縮乾燥空氣
SUS 304L AP/BA/316L BA SUS 316L BA/EP
GN2 一般氮氣 PN2 純化氮氣 其他B-GAS 大宗氣體 S-GAS 特殊氣體
SUS 316L EP
SUS 316L EP/PH2有時用雙套管(EP/AP)
Permeate Pit 逆滲透底槽
RO Unit 逆滲透膜
Safety Filter 過濾器
UV Sterilizer 紫外線殺菌
Heat Exchange 熱交換器
Membrane Degasifier 去除O2
UPW Tank 純水儲槽
Cooler 冷卻器
UV Oxidizer 破壞有機鏈
UF Unit 超限過濾膜