A.Niak上酸前注意事项
1. 2. 3. 4. 5. 6. • • 检查滚轮安装状况（水平，位置，数量等）； 检查前后挡板的高度（主要影响刻蚀槽循环流量及刻蚀线的好坏）； 检查DI的喷淋状况（Rinse1，Rinse2,及Rinse3）； 排风的调整，尤其是刻蚀的刻蚀槽排风（对稳定性要求较高）； 水测即在机台加水的前提下跑片看硅片在个槽体运行状况； 配方设定； 7. 检查各槽的滤芯是否安装； 8. 初次配液校准以及补液量的校准（DI，HF，HNO3，HCL，KOH）；
1.1
将界面切换到 manual functions
点击 drain 先将TANK的药液排空
1.1
• 同理 如果想更换哪个部分 滤芯只要将该部分的补液灌 也排空
排空后用水枪多次冲洗，然 后再点击drain.排空冲洗槽子 的水。
1.1
去设备后部 ，打开防溅门 水枪准备好，有漏液要及时冲洗
1.1
REVIS Training 历史数据
历史数据描述:
1. 2. 3. 4. 5. 历史数据显示(按时间) 曲线图(器件的实时数据监测曲线) 报告 (此刻的有效报警信息) 分析 (实时记录– 计划) 历史报警显示
操作:
1. 一些过滤后的选项(时间范围, 值得设定, ...) 2. 以文件格式导出数据
57
Step6---称量容器中所接水的重量反复做3次，将最后所得平均值写 入配方
58
Step7---校正玩将机台切换至手动模式
59
Step8---继续做化学品校准，点击 ‘Start calibration’ 按钮
60
B.Niak第一次配液后注意事项；
1. 2. 3. 检查补液量； 试跑假片，检查wafer在各槽体运行状况； 生产经扩散后的片子，看刻蚀边状况；
蓝色
持续亮 关 闪烁
1.1.2 PC中显示状态及灯塔颜色初判报警级别
灯塔报警颜色表示报警级别
1.1.3 设备内自设的权限
这是设备内部的所有的用户名及密码，级 别由低到高
1.1.4 用户登录
点击 login
登陆界面出现
输入用户名和密码，点击 OK
维修 1.1更换及清洗滤芯
• • • • 更换清洗滤芯用于 刻蚀槽，酸槽，碱槽。 1.1.1 准备 登入界面：输入用户名和密码 将设备状态打到manual模式
区域调节滚轮水平，要参考 横向和纵向的两个位置
1.4
两个部分的交界处可以用2片硅片 比较着调节滚轮的高度，只要在不 通区域内的硅片能在同一水平面， 就默认为这两部分的水平在一条水 平面上。
有时，胳臂地 方需要用橡胶 锤敲实，才能 使得调好的水 平之后没有多 大变化。
REVIS Training 客户端
REVIS Training
Service 模式 – 设定输出值
IO 显示:
1. 2. 3. 4. 5. 点击show 进入模块显示 从标签栏中选中IO output 进入 从菜单中双击输出值 在弹出对话框中设定新值 点击„OK― 将新的值写入PLC中
REVIS Training
Service 模块 – 校准
1.2
同时，将蓝色的海绵滤芯也要进行清 洗和更换
1.3维修 更换传动链
• 有时候随着设备的长时间使用，传动链会有些松动，这个时候就 需要维护的时候查看，是否需要将它调节。 • 1先将设备运行状态必须切换到service模式，只有在此模式下， 才能单独让滚轮转起来 • 同事要将上下料台的齿轮保护盖板拆下，将前面门板的上下料台 部分打开，以便检查上下料台处2个电机的工作状态。
Step2
Step3
Step4
Step5
Step6
Step7
• 校正玩将机台切换至手动模式；
• 继续做化学品校准，点击 ‘Start calibration’ 按钮；
Step8
52
Step1---排空上槽及下槽药液
2016/9/27
53
Step2---将机台切换至安全模式即service模式
2016/9/27
54
Step3---选择一化学槽的某种化学品点击‘Prepare get ref. volume’ 按钮
55
Step4---拆开补液阀的管路并连接另一根管路，用其他容器接住
56
Step5---点击‘Get ref. volume’ button and measure the ref. volume
REVIS Training 历史数据显示
怎样操作:
1. 2. 3. 4. 选择你所感兴趣的事件 选择有效的数据 设定时间范围 点击„Refresh键刷新数据
5. 点击„Export― 导出数据
REVIS Training 历史数据-曲线图显示
怎样操作:
1. 2. 3. 4. 5. 6. 7. 打开相关元件的曲线标签 设定时间范围 点击„Refresh― 刷新 能或者不能获得曲线 用坐标尺查看实际数值 点击„Export― 导出数据 点击„Screenshot― 将数据存储成 为bmp文件 。
•
文件种类
• •
• •
报告种类
• •
REVIS 系统种类
REVIS Training 导航栏
被选菜单
被选菜单的子菜单
点击Show 键打开屏显示 子菜单内容
REVIS Training 显示 举例。
设备显示界面全貌:
• • • •
包括所有独立的设备模块 显示所有模块的状态和重要的参数 显示主要模块的设置参数 生产功能键(例如. 开始生产，手动 模式，服务模式，开门 关门等.)
RENA设备一般操作及 个别配件保养
操作 1.1.1设备指示灯及所代表的状态
颜色 状态 信号声音 表示 提示有报警信息 提示有不能删除的报警（级别最高 ） 手动操作 提示有报警信息 自动操作，生产中 初始化阶段 待机，上料台没片
持续亮 关 红色 闪烁 黄色 开
持续亮 关 闪烁 开
绿色
持续亮 关 闪烁 关
REVIS Training 历史数据– 报警报告
怎样操作:
1. 从弹出菜单„Menu.选择显示报警 信息. 2. 设定时间范围 3. 点击„Refresh― 刷新数据，然后 显示 4. 选择„Alarm counts total― 或者 „Alarm counts per module― 标签
REVIS Training 手动功能
校准:
1. 打开元件菜单再点击show 2. 在右上角将会显示有效的校准功 能键
REVIS Training 参数
参数类型:
1. 设定参数(指定的 硬件参数设置) 2. 配方参数(指定的工艺参数设置) 3. Knowhow 中被保护的参数(指定 RENA knowhow 设置)
参数显示:
1. 每个模块的每个类型显示在一起 2. 参数是和配置文件profile 储存在一起
手动功能模块:
• •
显示动态的流量图 显示有效的手动功能
REVIS Training 显示举例
模块数字输出:
• •
显示通过远见设定的输出值 双击可设定输出值
REVIS Training 任务管理菜单
工作框架按钮
任务按钮
REVIS Training
任务管理菜单
全屏 状态栏置平
状态栏垂直
关闭所有任务栏
登陆
• • 如果没有用户登陆点击login按键 输入用户名和密码
•
• •
登出
点击login，就会自动登出 所有的界面显示将会关闭
REVIS Training
Headline – „Menu...― button
• • 进入常规显示 报警分类
•
•
当前报警显示
历史报警显示 历史数据显示 登录文件显示 报警报告显示 用户管理显示
上料台 工艺槽 清洗1 碱槽 清洗2
下料台
风刀
清洗3
酸槽
1.4上料台
滚轮离地面的高度 为95厘米，特殊情 况下为了匹配上下 料台可以适当的上 调2cm-4cm
95cm
1.4
标注过的螺母是调节滚轮 水平的关键，调节时首先 要适当的松开
1.4
用水平尺首先从上料台 开始调起，首先单个滚 轮开始调
1.4
Profile 储存
REVIS Training 参数
属性操作:
1. 2. 3. 4. 5. 新建 删除 从数据库加载Save to database 写入PLC 从PLC加载
参数显示
加载 Profile store 保存
写入
加载...
PLC
工艺阶段 1.1工艺校准及装机注意事项
• • • A.Niak上酸前注意事项； B.Niak第一次配液后注意事项； C.Niak培训；
主标
• 主标 • 登入/登出 • 最近报警 • 信息/主菜单栏 导航栏 子菜单的目录 进入显示，点击show― • 任务键 • 最近10个任务显示 • 快速显示切换 • 工作界面操作按钮 工作界面 • 大体的界面信息
任务键 导 航栏
工作界面
REVIS 软件培训
Headline – Login / Logout
手动功能:
1. 只在手动模式下有效 2. 在相关模块的模块下选择manual functions子菜单。 3. 所有功能键的背景颜色为绿色 5. 流程图查看功能的工作状 态 6. 功能需要有效的PLC文件， 而用户则需要有效的权限
REVIS Training 手动功能—工艺槽“Drain”
1.3.1 移除链条
1.用螺丝刀把卡 扣松掉
3.拔出多 余链条
2. 剔除链接片
1.3.1
4. 将多余的 链接条去掉