BM-R (右分光镜) Aperture-R RT-R (反射镜) SM1-R (反射镜) SM2-R(反射镜) Processing lens Window BM-L (左分光镜) Aperture-L RT-L (反射镜) SM1-L (反射镜) SM2-L(反射镜) Processing lens Window
检查方法 :
• 用２０-５０倍放大镜检查，用ＣＣＤ显微镜测量孔径
检测工具：
安全控制和环境要求
1. 安全控制 : a ) 机器安全及防护 : x、y、z 限位开关，水导电率控制。
发振器、光路为全密封设计。 ups停电保护、紧急按钮、故障指示灯。 b ) 人身安全：警示标志，防护装置，门感应开关。 c ) 生产控制：温度显示，吸尘范围控制，真空度控制。
发振器介绍 :
基本结构 :三菱雷射钻孔工机发振器主要由镜片（TR、PR）、 电极、热交换器、气体循环装置、散热装置等组成。
三菱CO2雷射发振器之特长: ・高峰値、短脉冲→高质量加工 ・长・短脉冲可变→广范围加工 ・高输出・高重复性→高生产性
主机介绍 :
• 主要利用光学原理将激光通过反射、折射、变焦、聚焦、分光到工作台 上,然后通过工作室内的能量表来检测、控制加工激光能 ，在PC控制相关 软件和条件下对加工板进行加工。
计算机 屏幕
触摸屏
光路位于机顶
自动吸板装置 ( 收板 )
自动收板 车
雷射钻孔室 ( 双台面 )
自动放板 车
自动吸板装置 ( 放板 )
雷射成孔的原理 :
雷射光是 : 当“射线”受到高压电的激发，而增大能量下 所产生的一种强力光束，其中红外光或可见光拥有热能， 紫外光则另具有化学能。当光束射到工作物表面时会发生 反射（Reflection）吸收（Absorption）及穿透 （Transmission） 三种现象，其中只有被吸收者才会发 生作用。
• X-Y table : 最大加工呎吋 : 620 ×560（mm）〔25”×22”〕
移动速度： ≥50M／min
位置精度：±5 μm
• Z轴 : 移动速度：≥10M／min
• Galvano : 扫描面积：50 ×50 mm
Galvano
扫描速度：1400 ×2PPS
双台面工作 台面设吸板功能
之R值。
fθ光镜能量分布均匀性检测
当机器提示需做fθ项目时，单击
<<
F5 Energy
F8 F Theta
F Theta
按绿色start键，直至自动完成，于屏幕右侧表格中，检查自动记 录的17个测试点的能量数值，是否在设定标准+5%范围内。
环境控制和要求 :
a) 废气排放 : 利用客户中央吸尘系统带走。 b) 粉尘排放 : 利用客户中央吸尘系统带走。 c) 室内环境要求 :
温度要求 : 20 ±3℃ 湿度要求 : 55 ﹪or less 洁净度控制 : 无尘室等级要求 Class 15,000
生产操作指引 :
目的 : 为正确操作及控制MITSUBISHI双头CO2雷射钻机提供指示。 范围 : MITSUBISHI ML605GTW-H/P LASER PROCESS SYSTEM系列机器。
冰水机 :
• 原理 : 利用压缩机制作冷水，利用水塔冷却水来带走压缩机热量 • 作用 : 冷却发振器电极、冷却 PR、TR • 需要180L蒸馏水+离子树脂
冰水机
排水
进 水
进 水
(1). 流量: 2.92-3.37 m3/h (3). 入水口请加装过滤器
排 水
(2). 温度: 25℃- 45℃(本机冷却器之出口)
干燥机 : 客户自备 (图片祇供参考)
• 作用 : 过滤压缩气里的水和油 • 要求 : 油水过滤器两套（进气口和出气口各一套）
变压器 : 客户自备 (图片祇供参考)
• 变压范围 : 380V三相 200 V 三相 40KVA
真空泵 :
• 作用 : 在工作台面产生真空，来吸附固定加工板 • 需配 : 热气排放管道
光路 :
光路图 (位置在设备顶部 )
各部件说明 :
CL1 (聚焦透镜) BM1 (铜反射镜) BM2 (铜反射镜) BM3 (铜反射镜) BM4 (铜反射镜) BM5 (铜反射镜) CL2(聚焦镜) THL (球面透镜) BM6 (铜反射镜) BM7 (铜反射镜) FC (聚焦透镜) CM1 (聚焦透镜) CM2 (聚焦透镜) CM3 (聚焦透镜) Mask (光束孔径) BM8 (铜反射镜) BM9 (铜反射镜) TFP (分光镜)
完成，再待做准备程序。
准备程序
钻孔位置误差校正
单击 F2 prepare
F2 focus
Focus2 按绿色start键，
打开显示器屏幕左下角的常用操作界面resident command
内的亮度调节键，调节左右两个头CAM A-L , CAM A-R,
CAM B-L, CAM B-R亮度，直至自动完成，检查max error(mm)
开机
＞开启机背总电源，开启压缩空气管道开关，冷气机入水管道开关 及空气干燥机电源。
＞按机器正面左上角的 PC POWER ，开启PC计算机电源。 ＞系统自动恢复时，当出现“begin logon”提示时，同时按下“ctrl+
alt+del”键后，输入“LCP” 。 ＞系统完全自动恢复后，在操作台面转动锁匙至“ready on”位置。 ＞单击 MACH STR ，系统提示Aging，大约需时20分钟自动
热气排放管 道
过滤 器
工艺介绍 :
压板前编配 压板 锣板边 钻工具孔 表 面处理 贴膜 曝光 显影 蚀刻 激光 钻孔 机械钻孔 除孔污 沉铜 全板镀铜 干菲林 干菲林及蚀板 退菲林 初检 印阻焊油 无电沉镍金 铣板 电测 最后 全查 QA抽检 包装 出货
Mitsubishi ML605GTW-H CO2激光钻孔机
培训教材
激光的基本原理、雷射设备介绍
•激光英文全名为 Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation (LASER)。是一种因高压电的激发产生能量而强化的光。环球代理 的激光钻 孔机是以日本三菱公司研发的发振器产生激光，激光光束通过反射、 聚焦、分光后对板料进行盲孔加工。