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有毒有害物质或元素名称及含量标识格式表 有毒有害物质或
前端 / Front End 设备的主要框架 / System Base Frame 电子齿条 / Electronics Rack 远程机架 / Remote Rack 激光 / Laser 双束激光 / Dual Beam Laser 热夹头 / Hot Chuck Assembly 硅片冷却站 / Wafer Cooldown Station 氮气控制器 / Nitrogen Controller 热交换 / Heat exchangers 环境房室 / Environmental Chamber 包装材料 / Packaging material
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有毒有害物质或元素Toxic and Hazardous Substances and Elements 多溴联苯 Polybrominated biphenyls (PBB)
部件名称PART NAME
产品编号 Part Number
铅Lead (Pb)
汞 Mercury (Hg)
镉 Cadmium (Cd)
六价铬 Hexavalent Chromium (Cr(VI))
多溴二苯醚 Polybrominated diphenyl ethers (PBDE)
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有毒有害物质或元素Toxic and Hazardous Substances and Elements 多溴联苯 Polybrominated biphenyls (PBB)
01-‐21-‐00477 01-‐21-‐08753 19-‐21-‐08752 01-‐21-‐08749 18-‐21-‐00007 18-‐21-‐07390 18-‐25-‐05959
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部件名称PART NAME
产品编号 Part Number
铅Lead (Pb)
汞 Mercury (Hg)
镉 Cadmium (Cd)
六价铬 Hexavalent Chromium (Cr(VI))
多溴二苯醚 Polybrominated diphenyl ethers (PBDE)
部件名称PART NAME
产品编号 Part Number
铅Lead (Pb)
汞 Mercury (Hg)
镉 Cadmium (Cd)
六价铬 Hexavalent Chromium (Cr(VI))
多溴二苯醚 Polybrominated diphenyl ethers (PBDE)
LSA升级套件/ LSA Upgrade Kits
部件名称PART NAME 07-‐21-‐16084 07-‐21-‐15422 07-‐21-‐15857
LSA101LP激光尖峰退火系统 Laser Spike Annealin统 Laser Spike Annealing System
部件名称PART NAME
产品编号 Part Number
铅Lead (Pb)
汞 Mercury (Hg)
镉 Cadmium (Cd)
六价铬 Hexavalent Chromium (Cr(VI))
多溴二苯醚 Polybrominated diphenyl ethers (PBDE)
有毒有害物质或元素Toxic and Hazardous Substances and Elements 多溴联苯 Polybrominated biphenyls (PBB)
18區熱夾持裝置 / 18 Zone Hot Chuck Assembly 套件，氣體選擇Pnl時，環境 / Kit, Gas Selector Pnl, Ambient 套件,整修, EPC / KIT, RETROFIT, EPC
前端 / Front End 设备的主要框架 / System Base Frame 电子齿条 / Electronics Rack 远程机架 / Remote Rack 激光 / Laser 双束激光 / Dual Beam Laser 热交换 / Heat exchangers 环境房室 / Environmental Chamber 包装材料 / Packaging material
LSA201 激光尖峰退火系统 Laser Spike Annealing System
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有毒有害物质或元素Toxic and Hazardous Substances and Elements 多溴联苯 Polybrominated biphenyls (PBB)
前端 / Front End 设备的主要框架 / System Base Frame 电子齿条 / Electronics Rack 远程机架 / Remote Rack 激光 / Laser 热夹头 / Hot Chuck Assembly 硅片冷却站 / Wafer Cooldown Station 氮气控制器 / Nitrogen Controller 热交换 / Heat exchangers 环境房室 / Environmental Chamber 包装材料 / Packaging material
LSA101 激光尖峰退火系统 Laser Spike Annealing System
01-‐21-‐00477 01-‐21-‐08753 19-‐21-‐08752 01-‐21-‐08749 18-‐21-‐00007 07-‐21-‐11831 18-‐21-‐07390 18-‐25-‐05959
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01-‐21-‐00477 01-‐21-‐08753 19-‐21-‐08752 01-‐21-‐08749 18-‐21-‐00007 07-‐21-‐13812 01-‐21-‐13769 01-‐21-‐13885 18-‐21-‐07390 18-‐25-‐05959
01-‐21-‐00477 01-‐21-‐08753 19-‐21-‐08752 01-‐21-‐08749 18-‐21-‐00007 01-‐21-‐13181 07-‐21-‐13812 01-‐21-‐13769 01-‐21-‐13885 18-‐21-‐07390 18-‐25-‐05959
有毒有害物质或元素名称及含量标识格式表 Toxic and Hazardous Substances and Elements Content Table
有毒有害物质或元素Toxic and Hazardous Substances and Elements 多溴联苯 Polybrominated biphenyls (PBB)
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前端/Front End 设备的主要框架 / System Base Frame 电子齿条 / Electronics Rack 远程机架 / Remote Rack 激光 /Laser 热交换 /Heat exchangers 环境房室 /Environmental Chamber 包装材料 /Packaging material
