第三章 扫描电镜的结构原理
ξ1 扫描电镜的成像原理
1电子束和样品的作用— 二次电子； 特征X射线；
信息携带者
背散射电子
2 反差的形成
α
A
Cl
B
α α α 若： C > B> A
则: lC > lB> lA
e e e 则: 2 C > 2 B>2 A
表面形貌
2e能量较低(<50ev) 厚度：只能从表面几十埃的 薄层发出（<100埃） 面积：只从约等于电子束斑 照射的面积发出（几十埃） 分辨率~探针尺寸
原子序数差异
c
bdea源自f二次电子产率： a<b<d<e or f(边缘效应), e or f无法区分 a<b<d<c(尖端效应)
小鼠肾小球的二次电子像
3 扫描原理
e
S
I(行)
N
S
F
N
e
NS
NS
I(帧)
F
T(行) t(时间)
T(帧) t(时间)
扫描范围： 行——I（行） 帧——I（帧） 扫描速度： 行——T（行） 帧——T（帧） 扫描线数= T（帧）/ T（行）
• （一）透镜实习思考题 • 1如何找灯丝饱和点？ • 2聚光镜有无像散，如何消？ • 3观察聚光镜正焦，欠焦，过焦三种状态 • 4观察插入不同聚光镜光阑对观察的影响 • 5观察物镜光阑与图像反差的关系 • 6图像有无像散，如何消？ • 7判断是否聚焦的标准？ • 8如何做低倍，高倍观察？ • 9染色与非染色标本的图像反差 • 10不同制备来源的标本观察
ξ2 扫描
电镜的结 构和工作 原理
电子枪：基本同透镜 但工作电压较低10~20KV,<50KV）？
逐级缩小50微 米~几十埃
？
孔径角：
r r
Qf
球差（分辨率） 景深
r 电子束弱
Q 束班尺寸大， （分辨率）
探测系统
+250kv +12kv
2e
光
电流
电压
闪烁体 光电倍增管 放大 聚焦极
显像管
正栅压 （强度正对应）
扫描发生器：
*同步扫描（位置完全对应）
*放大（衰减）
放大倍数
荧光屏尺寸 标本被扫区尺寸
观察（荧光屏）：
快扫描：？ 电子束在每点的驻留时间短，信噪比较低清晰度较差 所需扫描线数= T（帧）/ T（行）=荧光屏高度/人眼分辨率 =100mm/0.1mm=1000线
纪录（底片）：
慢扫描：？ 所需扫描线数= T（帧）/ T（行）=荧光屏高度/底片分辨率 =100mm/0.05mm=2000线