4)
机床预热：机床各轴在匀速状态下 运转10分钟左右。
第二步：激光光路对正（见附图）
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掌握干涉镜和反射镜的安装方法（根据测量轴的不同，安装方 法有所不同，注意观察箭头所指方向，激光从箭头尾部射入）； 将机床各轴原点复归；
微调方式下，调整干涉镜和反射镜的位置，使两者靠近，目测 能够尽量上下左右对齐；
第七步：输入补偿值之后，再次测量
重新测量之后，观察测量曲线变化情况，与未补偿前的测量数据
进行对比分析，观察补偿后的机床精度是否有所改善。
注意及时保存需要的测量数据！
附录：激光干涉仪加工中心测量程序（X轴） O0400 G0 G90 X1. ； （主程序） G4 X1. ； X0； G4 X4. ； M98 P0401 L14 ； X-1. ； G4 X1. ； X1. ； G4 X4 ； M98 P0402 L14 ； M99； O0401 G0 G91 X-50. ； G4 X4. ； M99； O0402 G0 G91 X50. ； G4 X4. ； M99； （子程序1）
3)
等待程序执行完毕后，按“回车”键结束，机床侧按“RESET” 键结束程序执行。
第六步：分析测量数据
1) 点击“分析数据”，进入数据分析窗口；
2) 点击“分析数据”选择一个标准，点击进行曲线分析机床的各项指标；
3) 若检测下来机床的精度需要提高，则可按照当前检测结果进行补偿， 点击“误差补偿图表”；
雷尼绍激光干涉仪的使用
设备部：杜康
第一步：激光干涉仪的安装
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三脚架的固定； 激光头的安装与固定； 补偿器XC（包括环境空气温度传感器 和工偿器通过数据线与计算机 的连接； 5) 激光头电源线的连接； （现场演示） 6) 按下激光头电源按钮，预热5~6分钟， 直到指示灯变为红色表示预热完成； 7) 找到“开始Renishaw LaserXL线 性测长”，单击打开雷尼绍测量软件。
移动三脚架使激光头的光源穿过干涉镜，此时能够看到2个光点； 微调方式下，调整机床侧使2个光点重合；
6)
7)
转动激光头，观察激光头上方的LED灯点亮情况（5个全亮最好）
微调方式下，将测量轴远离干涉镜，直到LED灯只剩一个时停 止移动，此时调整激光头的各个微调旋钮等，直到将光路再次 调整到5个LED灯全亮；
（子程序2）
6)
采集数据设定第三项，填写“机器名称”、“轴”等信息；
7)
采集数据设定第四项：越程量大小改为：0.0000mm
其他保持不变， 点击完成设定。
第五步：执行测量程序
1)
2)
打开倍率旋钮开关，将程序中第一步的1mm余量走完后，再次 关闭倍率旋钮；
软件清0（注意正负号），打开倍率旋钮，即可自动执行程序采 集测量数据，绘制测量曲线；
8)
微调方式下，将测量轴再次远离干涉镜，重复第7）步，直到测 量终点处，此时，反向摇回来，观察LED灯，保证到起点处均 保持5个LED灯全亮，若不能满足，则继续调整至全亮。
第三步：机床程序编制及参数设定
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编制测量运行程序（根据测量轴和测量行程修改相应程序）； 坐标系中，G54中将对应轴清0； 模式打到“程序运行”，倍率打至0%；
4) 弹出误差补偿表格窗口：图表类型选择“均值补偿”、补偿分辨率设为1、 正负符号转换选择“补偿值”、参考点位置为0.0000mm、补偿起点和补 偿终点依情况而定、补偿间隔为20.0000mm,点击“绘制误差补偿图表”。
5) 按照均值补偿值对机床进行补偿，若发现补偿值中有数据大于8，则需修 改第4）步的补偿分辨率进行调整，同时，机床参数3623也要做相同修改， 重新生成补偿值再补入机床。补偿时，注意-20mm对应位置，按照均值补 偿表从下往上依次补入，补完即可。（参考参数3620）
第四步：软件设置
1) 采集来自环境空气温度值、物体表面温度值； 2) 物体膨胀效应补偿：不带光栅尺的为11.7/带光栅尺的为8.0；
3)
点击软件最左边第一个工具，进入设置对话框；
4)
采集数据设定第一项：
设置第一定位点， 最终定位点 ， 间距值，完成后进入 下一项；
5)
采集数据设定第二项：定位方式选择“线性定位方式”，测量次 数一般设为2，选择方向为“双向”，其他不变，点击进入下一项