浅谈纳米技术及其应用1 概述1.1 引言纳米技术（nanotechnology）是用单个原子、分子制造物质的科学技术。
纳米科学技术是以许多现代先进科学技术为基础的科学技术，它是现代科学（混沌物理、量子力学、介观物理、分子生物学）和现代技术（计算机技术、微电子和扫描隧道显微镜技术、核分析技术）结合的产物。
纳米技术兴起于20世纪80年代，随着它的逐步发展和完善，人类将必然在认识和改造自然方面进入一个前所未有的新阶段。
1.2 纳米技术的发展最早提出纳米尺度上科学和技术问题的是著名物理学家、诺贝尔奖获得者理查德·费曼教授[1]。
1959年他在一次题为《在底部还有很大空间》的演讲中提出：物理学的规律不排除用单个原子制造物品的可能。
也就是说，人类能够用最小的机器制造更小的机器。
直至达到分子或原子状态，最后可以直接按意愿操纵原子并制造产品。
这正是关于纳米技术最早的构想。
20世纪70年代，科学家开始从不同角度提出有关纳米技术的构想。
美国康奈尔大学Granqvist和Buhrman[2]利用气相凝集的手段制备出纳米颗粒，提出了纳米晶体材料的概念，成为纳米材料的创始者。
之后，麻省理工学院教授德雷克斯勒[3]积极提倡纳米科技的研究并成立了纳米科技研究小组。
纳米科技的迅速发展是在20世纪80年代末、90年代初。
1981年发明了可以直接观察和操纵微观粒子的重要仪器——扫描隧道显微镜（STM)、原子力显微镜（AFM)，为纳米科技的发展起到了积极的促进作用。
1984年德国学者格莱特[4]把粒径6nm的金属粉末压成纳米块，经研究其内部结构，指出了它界面奇异结构和特异功能。
1987年，美国实验室用同样的方法制备了纳米TiO多晶体。
21990年，IBM公司阿尔马登研究中心的科学家成功地对单个的原子进行了重排（如下图 1.1），纳米技术取得一项关键突破。
他们使用一种称为扫描探针的设备慢慢地把35个原子移动到各自的位置，组成了IBM三个字母。
这证明范曼是正确的，二个字母加起来还没有3个纳米长。
不久，科学家不仅能够操纵单个的原子，而且还能够“喷涂原子”。
使用分子束外延长生长技术,科学家们学会了制造极薄的特殊晶体薄膜的方法，每次只造出一层分子。
图1.1 利用纳米技术将氙原子排成IBM经过几十年对纳米技术的研究探索，纳米技术的应用研究正在半导体芯片、癌症诊断、光学新材料和生物分子追踪4大领域高速发展。
可以预测：不久的将来纳米金属氧化物半导体场效应管、平面显示用发光纳米粒子与纳米复合物、纳米光子晶体将应运而生；用于集成电路的单电子晶体管、记忆及逻辑元件、分子化学组装计算机将投入应用；分子、原子簇的控制和自组装、量子逻辑器件、分子电子器件、纳米机器人、集成生物化学传感器等将被研究制造出来。
2 纳米加工技术2.1 引言无论是集成电路技术，还是微系统技术或纳米技术，其共同的特征是功能结构的尺寸在微米或纳米范围，因此可以统称为微纳米技术。
微纳米技术依赖于微纳米尺度的功能结构与器件。
实现功能结构微纳米化的基础是先进的微纳米加工技术。
在过去50年中，正是微纳米加工技术的发展促进了集成电路的发展，导致集成电路的集成度以每18个月翻一番的速度提高。
现代微纳米加工技术已经能够将上亿只晶体管做在方寸大小的芯片上。
除了集成电路芯片中的晶体管越做越小，微纳米加工技术还可以将普通机械齿轮传动系统微缩到肉眼无法观察的尺寸（如下图2.1所示）。
微纳米加工技术可以制作单电子晶体管，可以实现单个分子与原子操纵。
微纳米加工技术可以建筑人类进入微观世界的桥梁，是人类了解和利用微观世界的工具。
因此了解微纳米加工技术对于理解微纳米技术，以及由微纳米技术支撑的现代高科技产业是非常重要的。
图2.1 美国SANDIA国家实验室利用多层硅平面工艺（SUMMiT)制作的微机械齿轮2.2 微纳米加工技术的应用尽管微纳米加工方法多种多样，但目的只有一个，这就是制作具有实际用途的微纳米结构与器件。
同一种微纳米器件或结构可以用多种不同微纳米加工技术实现。
任何一种微纳米结构的加工都需要不止一种微纳米加工技术。
脱离开实际应用谈微纳米加工技术是毫无意义的。
微纳米加工技术与微纳米器件的开发是相互依存又相互促进的。
新型微纳米器件推动微纳米加工技术的进步，而微纳米加工技术的进步反过来又会启发新型微纳米器件的开发。
在现代高科技发展中，微纳米技术可以说是无处不在。
微型化已经从集成电路芯片发展到其他各个应用领域。
微纳米加工技术是微纳米技术的基础。
这种依赖关系集中体现在下述应用领域：半导体集成电路、纳米电子学、高密度磁存贮、微系统、生物芯片与纳米科技。
这些领域都是当前热门的高科技发展领域。
图2.2 未来系统芯片（system on chip)的构想到目前为止人们所能看到和亲身感受到的微纳米技术的进步是各种微小型化的电子类产品。
集成电路芯片的功能越来越强大。
微传感器，微执行器，微光学元件，生物化学分析芯片也越来越广泛地应用与现代工业与现代生活的各个领域。
但目前这些微电子与微系统还都是作为单元系统独立存在。
今后10年的发展趋势是将所有这些分立的功能集成到单一的芯片上或单一的元器件内，形成所谓芯片上的微系统（system-on-chip，SoC)或封装单元内的微系统（system inpackage，SiP)。
由于不同电路的芯片加工工艺可能差别很大，要把这些电路加工在同一芯片上其技术难度目前还很大，或者说技术成本还很高。
另一个途径是单一功能的芯片单独加工。
然后将这些芯片通过互连技术安放在另一个芯片上，封装成单一器件（SiP)。
未来的目标不光是集成电路之间的集成，而且包括微电子机械、微传感器、微流体系统、微光学系统与集成电路的集成。
上图2.2显示了未来系统集成芯片的构想。
实现系统集成的最大的挑战是开发出全面兼容的低成本的微纳米加工技术。
这也为未来微纳米加工技术的发展提出了新的课题。
2.3 微纳米加工技术发展趋势微系统技术，包括微电子机械、微流体、微光学系统，为微纳米加工技术的发展开辟了广阔的天地。
虽然微系统通常不要求非常小的结构尺寸，但由于微系统使用的材料的多样性，服务于微系统制造的加工技术也多种多样。
微系统加工面临的一个严峻挑战是如何与集成电路加工工艺兼容，以实现与集成电路的完全集成。
微系统加工面临的另一个严峻的挑战是如何实现标准化加工。
微系统加工技术的多样化与微系统本身的多样化造成了标准化生产的极大难度[5]。
集成电路生产技术经过近半个世纪的发展已经形成一套非常标准化规范化的技术体系。
一个集成电路设计可以送到全世界任何一个代工（foundry)工厂去加工生产。
无论在哪里生产，所得到的芯片会具有相同的性能。
微系统还远远没有达到这个程度。
一些公司试图将某些加工技术标准化。
但标准化后的生产技术在不同程度上限制了微系统的性能。
某一标准化的生产技术也不可能满足所有微系统应用的需要。
所以，小批量多品种是微系统器件工业生产的特点。
因此实现标准化生产工艺是发展壮大微系统技术产业的关键。
近年来纳米技术的开发热潮为微纳米加工技术提出了新的要求。
纳米尺度结构的加工技术已经存在。
最新一代的电子束曝光技术已经能够制作小于10nm的结构。
原子力显微镜探针可以操纵单个原子。
从科学研究的角度，这些加工技术已经能够满足纳米器件的制作与研究。
但这些技术毕竟不是也很难成为大规模生产的技术。
为了今后纳米科研成果的产业化，必须开发高生产率低成本的纳米加工技术。
纳米压印技术有可能通过进一步开发满足这一要求。
另一方面，分子自组装技术具有极大的潜力成为未来的一种大规模生产技术。
3 纳米测量技术3.1 引言科学技术上的重大成就往往是以测量仪器和方法的突破为先导的。
正是由于1982年扫描隧道显微镜[6]的发明，人类才第一次实现了可观察、测量、传感物体纳米尺度的位移、形貌或作用力的理想。
扫描隧道显微镜和原子力显微镜（如图3.1所示）等扫描探针显微技术推动了纳米科学技术的兴起和发展[7～8]。
由此可见纳米测量技术在纳米科学技术研究中的重要基础地位。
图3.1 原子力显微镜纳米测量技术的内涵涉及纳米尺度的评价、成份、微细结构和物性的纳米尺度的测量，它是在纳米尺度上研究材料和器件的结构与性能、发现新现象、发展新方法、创造新技术的基础。
3.2 纳米测量技术现状纳米科学与技术的发展，离不开纳米测量与定位控制技术，并出现纳米分析（Nanoanalysis）、纳米量（Nanoprobe)、和纳米探针等表征技术，对纳米测量与定位控制来说有以下几个基本要求，高灵敏度、高空间分辨力、测量的环境不会影响信息、非破坏性、快速、高频响。
纳米测量与定位控制技术的发展采取了两条平行的途径，一是沿用已有的测量与控制手段，提高其性能，尽量逼近其极限本领，以满足纳米级测量分析的需要,如扫描电子显微镜、透射电子显微镜、正电子发射显微镜、软X射线显微镜、扫描光声显微镜、轮廓仪（台阶仪)和干涉相衬显微镜等；二是发展建立在新概念基础上的测量技术，这类技术是最有发展前途且能成为纳米测量与控制的关键技术。
现分述如下：●扫描隧道显微技术扫描隧道显微技术是80年代出现的一种新型表面分析工具。
1986年它的发明者宾尼和罗雷尔博士因此而获得诺贝尔物理学奖。
扫描隧道显微镜（STM）具有空间的高分辨力（横向可达0.1nm，纵向可优于0.01nm）能直接观察到物质表面的原子结构，把人们带到了微观世界。
STM的基本原理是基于量子隧道效应。
它是用一个极细的针尖（针尖头部为单个原子）去接近样品表面，当针尖和表面靠得很近时（＜1nm），针尖头部原子和样品表面的原子的电子云发生重迭，若在针尖和样品之间加上一个高压，电子便会通过针尖和样品构成的势叠而形成隧道电流（纳安级）。
通过控制针尖与样品表面的间距恒定并使针尖沿表面进行精确的三维运动，就可以把表面信息（表面形状和表面电子态）记录下来。
由于STM 具有原子级的空间分辨力和广泛的适用性，国际上掀起了研制和应用STM的热潮，并推动了纳米科学与技术的发展。
●外差干涉显微技术光干涉显微技术是传统的研究方法，以前用干涉测量所产生的干涉条纹图来判断制件表面特征，众所周知，这种费时的方法有许多局限性，而且这种局限性是这种方法所固有的，很难避免。
实际上易于获得的条纹图样并不能得到光程差图（OPD图）而且显示OPD等高图以代之，一旦得到条纹图，为求得OPD图必须进行复杂繁琐的处理，而外差（OHI）测量技术完全相反，它是直接测量参考波面与被检测波面间的位相差的一种方法，所以自然存在着高的位相分辨力和空间分辨力，而且可以进行动态时间的研究，其分辨力优于0.1nm。
其本质是将长度计量转变为时间频率的计量。
●X射线干涉显微技术X射线干涉显微技术是目前纳米测量中的一项新技术。