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ProMaster
规格 加工对象定位
– – – – 零件固定 直径80mm真空吸盘 XY移动 100×100mm XY分辨率 1mm XY重复定位精度 1-2 mm
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光束传输装置 Motion — 位移台 Laser — ATL准分子激光器 Vision — 双相机所见即所得 系统 Lens — 紫外微加工透镜 Software — ProcessPower 软件
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ProMaster
性能:
– ProMaster使用超短波长和ns级脉宽的紫外准分子激 光，确保对加工对象的最高峰值功率耦合。加工精 度可以达到mm量级，并且切口和热效应都极小。 – ProMaster使用掩膜投影来选定加工对象的加工区域。 从32个图案中选择合适图案，逐次重复，或移动 X,Y直接刻写复杂的图案。新的“智能光阑”选件 是将图案（圆形、三角形）与受程序控制的矩形光 阑结合，产生无限的组合图案，并存储在计算机里 作为“虚拟掩膜”来调用。
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MicroMaster
性能：
– 材料对紫外激光微加工具有最小的热影响区， 包括包括各种不同的聚合物，陶瓷，玻璃， 金属，薄膜。在248nm和193nm之间可以使 用光学转换套件。 – 加工典型特征值为5mm-2mm。掩模选择可以 通过32图案掩模板，和/或电动矩形光阑进 行。可以组合图案。复杂图案模式可以通过 控制激光发射和零件移动来实现。
MicroMaster
规格 激光
– – – – – – 波长 248nm（193nm可选） 脉冲能量 14mJ 在248nm(10mJ 在193nm) 重复频率 300Hz（500Hz可选） 脉宽5-6ns 光斑4×6mm 发散2×1mrad
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OPTEC准分子激光加工系统
OPTEC主要加工系统型号： MicroMaster ProMaster LSV3 MAS300 LightBench-Rx LAP2000 Processing Tools Laser Trimming Tools
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ProMaster
规格 光束传输
– 能量密度 0.5-5J/cm2，手动设置分级控制能 量密度。附加的内部聚光镜使用户自定义能 量密度范围 – 标准掩膜选择 线性电动32图案选择器，包括 圆形、方形和条纹的标准掩膜。用户自定义 的掩膜也可以使用 – 加工分辨率 ＜1.5mm – 视场 同轴视场，全屏放大为400X
微细加工( micro-fabricat ion) 起源于半导体制造工艺, 是指加 工尺度在微米级范围的加工方式, 在微机械研究领域中, 它是微米 级, 亚微米级乃至纳米级微细加工的通称。
– Microfabrication 微细加工（结构，功能，性能） – Micromachining 精细加工（尺寸精确，机械加工）
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MicroMaster
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MicroMaster
Mask — 掩膜 BDU —
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LSV3
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LSV3
特性和规格:
加工类型 LSV3 头部含数值孔径 0.2， 193nm 镜头, 同轴,照明及颜色聚焦。同轴视场。 黑色亚光处理，焊接钢框架,辉长岩基地， 桥形结构，蜂巢形光学控制台，光学滑轨。 兼容 ATL Atlex 或相干 Excistar XS 准分子激光。 AT4010 5-85%手动，外加闸门控制 动态系统镜面 机动掩膜选择 1.5mm 达 10J/cm2
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激光微加工常用方法
photolithogr aphy
etching technology LIAG
漆胶
1.化学异向蚀刻
X射线曝光
光刻
2.离子束蚀刻
电铸成形
显影
3.激光蚀刻
注塑
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激光微加工
中北大学、四川 马尔斯等科研单 位光栅加工的常 规工艺
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MicroMaster
规格 加工对象定位
– – – – XY移动 200×200mm XY分辨率 1mm XY重复定位精度 1mm XY速度 40mm/s
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MicroMaster
特点：
– 激光光束亮度高且短脉冲 – 掩模投影缩倍由电脑控制，连续可变 – X,Y定位于刚性花岗岩上，线性驱动，分辨率为 1µ m – 机动焦点控制（沿Z轴） – 配有同轴和离轴相机，模式识别软件可选 – 功能全面的PcoessPower软件 – CAD/CAM界面 – 快速响应时间，易于操作的软件程序
区别于传统的激光加工
激光微加工区别于传统的激光焊接、切割、打孔、表面改性 等，包含范围非常广，能无限激发人的创造力。
微加工分类
微细加工方式十分丰富, 包含了各种现代特种加工, 高能束等 加工方式。而微机械制造过程又往往是多种加工方式的组合。目 前, 常用的有以下方法:
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MicroMaster
规格 光束传播
– – – – – 能量控制 5-95% 缩倍4-20 紫外光学分辨率 ＜1.5mm 焦距 25mm 目标能量密度 0.25-10J/cm2，使用光束汇聚选件可 达25J/cm2 – 视场 离轴40X，同轴150-500X由透镜缩倍决定
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ProMaster
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ProMaster
Laser —


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MicroMaster
性能
– 选择加工效果最佳缩倍（ 4-20X ），全自动 （MicroMaster独有的特点） – 能量密度为0.25-10J/cm2,良好的软件程序辅 助选择最佳工艺参数。 – 光学分辨率1.5mm， – 材料和能量密度定义了
激光微加工系统
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激光微加工系统
激光微加工
准分子激光微加工 飞秒激光微加工
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激光微加工
微加工的概念
OPTEC专业使用准分子和脉冲激光设计
和搭建微加工系统。与ATL和GSI Lumonics密切合作超过15年，提供一切 系统组件，小型工作站，交钥匙工业应 用。 OPTEC提供一站式解决集成加工知识， 创新功能，客户定制和工业可靠性。 OPTEC的加工系统正在全球推行，他们 与合作正在密切合作。
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激光微加工
准分子（Excier）微加工 – 准分子激光由于具有波长短(〈250nm) , 聚焦直径小, 功率谱密度高, 且属于冷光源等优点而成为最有前 途的激光源。准分子激光蚀刻技术是当前激光微细 加工最先进的技术之一。目前常用的有氟化氩准分 子激光和氯化氙准分子激光。. 飞秒（Femto）微加工 – 飞秒激光微加工是当今世界激光、光电行业中极为 引人注目的前沿研究方向。 – 因其具有能耗低，加工材料广泛，高精度，高质量， 高分辨率，对环境没有特殊要求，无污染等特点， 推动激光微加工向低成本，高可靠性，多用途，产 业化方向发展。
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MicroMaster
应用： 选择性的去除聚合物 微型钻孔/开槽 微铣削/表面结构。 3D结构，含透镜 薄金属膜图案。 OLEDs，微流体，传感器 聚合物-陶瓷-金属-无机材料
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ProMaster
规格 激光
– 波长 248nm（193nm可选） – 脉冲能量 14mJ 248(10mJ 193) – 重复频率 0-300Hz（500Hz可选），由软件 控制 – 脉宽5-6ns – 光斑4×6mm – 发散2×1mrad