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拉晶工艺流程

拉晶工艺流程
引晶放肩转肩等径收尾
(1)引晶前找准引晶温度。

引晶过程中温度偏高偏低需调节时可通过温校速率,尽量避免在SP上进行操作,以免影响加热功率的过大变化。

细晶长度要求在120-150mm之间。

细晶直径3-4mm引晶时间控制在1小时左右较适宜。

(2)放肩是一降温过程。

引晶完毕后拉速降至0.4.操作工需根据引晶时炉内温度和放肩生长情况酌情降温.降温时也需在温校速率上来执行,一般控制在-1度至-5度。

也可酌情增加,若放肩过程中"肩"变方.立刻温校速率清零.如仍继续变方可提升拉速.拉速不易超过0.8。

(3)转肩:当通过测镜仪测得"肩"直径达到149提校速0.8至1。

直径150至151提开校速1至1.5。

直径为151至153提升校速到1.5至3观察光圈.光圈开始收缩,即可降低拉速(缓慢)直至降到等晶启始拉速1.1。

对取光孔压光圈3分之1处,计长清零,投入各项自控。

转肩完毕。

(仅适用于平肩转肩)
(4)等径生长过程中,操作人员需时刻注意炉内情况,定期和不定期的测量晶体直径.做好详细的晶体生长记录.
等径过程中发现晶体有扭曲、变形情况时,若确定晶棒结构完整,晶线存在,可通过降低校速,提升温度来进行补救,
(5)收尾时由于坩埚内料少,易结晶所以开始收尾时就需提高温校速率.发现有结晶现象可降低埚转,同时提升温校速率。

初学者在收尾时要仔细观察光圈的变化情况。

适宜保持有1至2mm的可见光圈下进行收尾,尾长控制在150mm内。

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