SEM的原理及应用
SEM,即扫描电子显微镜,通过细聚焦的电子束轰击样品表面,利用电子与样品的相互作用产生的二次电子、背散射电子等对样品表面或断口形貌进行观察和分析。SEM的主要特点包括高放大倍率、高分辨率、大景深、良好的保真度和简单的样品制备过程。其放大倍率可பைடு நூலகம்几十连续调整到几十万倍,分辨率高达纳米级别,能够清晰呈现样品的微观细节。同时,SEM具有较大的景深,使得图像立体感强,非常适合观察粗糙不平的断口样品。此外,SEM观察样品时保真度好,不会因制样而产生假象,对断口失效分析尤为重要。样品制备简单多样,可以是自然面、断口、块状、粉体等,对不导电样品也只需蒸镀一层薄导电膜。SEM已广泛应用于材料科学、冶金工程、矿物学、生物学等多个领域,成为显微结构分析的主要仪器之一。