ESD3000
2250
2
37
1450 6/150 4/100 40~50
10
1500
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THANK YOU 谢谢
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所谓单级液环泵是指只有一个叶轮，它在较高真空度下抽速就急剧下降， 当入口压力在5000Pa时，实际抽速为名义抽速的50%，而且工作状态亦不稳 定。
美国ELIVAC生产的ELRC双极液环真空泵见图2所示，它是将两个单级泵 串联起来，而固定在同一根轴上，双级液环泵主要特点是在较高真空度下，仍 然有较大抽速，当入口压力在5000Pa时，实际抽速为名义抽速的85%，工作 状况十分稳定。
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表 2 ET滑阀泵系列
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3.罗茨泵
罗茨泵的工作原理见图5所示。由于一对8字型 转子的不断旋转，被抽气体从 进气口吸入到转子与泵腔之间的空间，再从排气口排出。而普通的罗茨泵不能直排 大气，需要与前级泵（旋片泵、滑阀泵、水环泵、干式真空泵）串联构成机组。
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图 2 ELRC双级液环泵
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表1.列出了ELRC双级液环泵的型号和规格，虽然这种ELRC双级液环泵比国内外大多数厂 家生产的单级液环泵抽气特性要好，特别是在高真空段，抽气效率要高出35%以上，但是 功耗也同样高出1/3。另外目前我公司生产的ELRC双级液环泵多属中小型规格，而电站、 煤矿、造纸和石化行业所需的真空泵极大多数是大型的单级水环泵，所以目前我公司生 产的ELRC双级液环泵无法进入上述四个领域
ELIVAC Company, Limited 图 3 ET滑阀泵的剖面图 上海零澜机械科技有限公司
美国ELIVAC公司首创的“三缸结构”滑阀泵它可以实现滑阀组件的自身平衡 即所谓的内平衡，而无需外加配重，其结构布置见图4所示。
图4
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ET泵的三缸结构及其布上置海零澜机械科技有限公司
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三、各种真空泵的工作范围
隔膜式真空泵、活塞式往复泵、液环泵： 旋片泵、滑阀泵、水蒸汽喷射泵： 干式真空泵：罗茨型、爪型、螺杆型 罗茨泵 油增压泵： 油扩散泵： 涡轮分子泵： 溅射离子泵： 低温泵：
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Theory of Operation
ZJ & ZJB Mechanical Booster
ZJ Mechanical
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Bo图ost5er罗茨泵工作Z原J理B
Mechanical Booster
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表5. ESD螺杆真空泵系列
Model (型号)
Displacement （抽速）
/m3.h-1
Ultimate pressure （极限压
力）
/Pa
Motor power（ 电机功
率）
/Kw
Rotation 转速
/r.min-1
Port dia. Inlet
50 80 100 150 200 300
ELI(VmACmC)ompany, Limite表d 3. ZJ、ZJB罗茨泵的性能参上数海零澜机械科技有限公司
4.干式螺杆真空泵
螺杆真空泵是20世纪90年代初出现的一种理想泵种，它的工作原理 见图7 所示，当两个平行的经过精密加工的螺杆作相对旋转时，于是螺杆将被抽气体 从进气口吸入并经压缩从排气口排出。
1、液环真空泵
它是一种粗真空泵，极限真空为2000~4000Pa，其工作原理见图1所示。在 泵腔中装有适量的液体作为工作介质，当偏心安装的叶轮按反时针方向旋转时，
图 1 液环真空泵工作原理
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流体被叶轮抛向四周，由于离心力的作用，液体形成了一个与泵腔形状相 似的等厚度密闭液环，此时叶轮与液环之间形成了一个月牙形空间，吸入口的 容积由小变大，气体被吸入，当吸气终了时，容积由大变小，气体被压缩，最 后被排出泵外
Connection 进排气口径
in./mm
Inlet进 Outlet 气 排气
Cooling water flow （冷却水
）
l/min
Gear oil capacity 润滑油
l/min
Weight （重量
）
/kg
ESD150
110
1
2.2
2900 1.5/40 1.5/40
5~10
1
200
ESD300
报告内容
一. 何为真空 二. 真空区域的划分 三. 各种真空泵的工作压力范围 四. 美国ELIVAC真空泵的结构、性能和特点 五. 美国ELIVAC真空泵的主要应用领域
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一、何为真空
• “真空”是指低于一个大气压力的稀薄气体的空间狀态。在海平面上， 大气产生的压力为101325Pa，约100KPa，工程中称为一个标准大气压。 而珠峰顶处的气压为32KPa，仅为海平面的三分之一左右。
等螺距
变螺距（二段拼成）
螺距连续变化（整体）
图8. 各种不同的螺杆设计
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干式螺杆真空泵的特点： ·由于采用变螺距结构，比等螺距螺杆可节省30%能耗，排气温度较低； • 被抽气体在泵腔内路程短并迅速排出； • 被抽气体在泵腔内很少受到搅动； • 微小颗粒不容易堆积； • 可以夹带液体、可凝物和微小颗粒； • 低振动和低噪声； • 泵腔内的剩余物容易被清除； 表5 是目前能提供的KDP和SDV螺杆真空泵的系列型号
250
~15
2
300
ESD400
330
1
7.5
2900 2.5/65 2/50
10~15
2
380
ESD800
660
1
11
2900 4/100 2.5/65 15~20
2.5
600
ESD1500
1250
2
30
1450 5/125 3/80
30~40
8
1200
• 人们运用于科技手段，发明了各种真空泵去抽除密闭容器中的气体，以 获得“人造真空”，但是即使使用现代排气方法获得的最低压力，也只 能达到10-11 Pa，亦就是说不可能达到絕对真空。
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二、真空区域的划分
粗真空：105 Pa—103 Pa 低真空：103 Pa—10-1 Pa 高真空：10-1 Pa—10-5 Pa 超高真空：10-5 Pa—10-11 Pa
为了减少滑阀不平衡惯性力所引起的振动，对于单缸滑阀泵需要在驱动轮对 面一侧加平衡轮，并在驱动轮上加不平衡质量进行平衡减振，然而这种固有的单 缸设计结构使滑阀产生的惯性力无法做到彻底平衡，因而泵的振动大、噪声大而 且必须固定在地基上 。
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70A
ZJ-30 ZJ-70 ZJ-150 ZJ-300 ZJ-600 ZJ-1200
Model
ZJB-30 ZJB-70 ZJB- ZJB-300 ZJB-600 ZJB-1200
Pumping Speed (L/s) 30 70 150 300 600 1200
Ultimate Vacuum (Pa) 5×10-2 5×10-2 5×10-2 5×10-2 5×10-2 5×10-2
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Sucti on
进气 口
C/W Su pply
冷却水出 口
C/W Ret urn
Dirsgceha冷却口水进 排气口
图7. 螺杆真空泵工作原理
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早期的螺杆是等螺距的，为了降低能耗、降低泵腔内的温度，最近又新开发了变螺距 的螺杆泵。其中一种螺杆是由二段螺距大小不等的螺杆拼作而成，另外一种就是螺距连 续变化的螺杆泵，螺杆是由一个整体材料加工制作而成，各种不同的螺杆见图8所示
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105—103 Pa 105—10-1 Pa 105—10-1 Pa 102—10-2 Pa 102—10-2 Pa 10-1—10-5 Pa 10-1—10-8 Pa 10 —10-10 Pa 10-1—10-11 Pa
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四、美国ELIVAC真空泵的结构、性能和特点
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表2 列出了ET三缸滑阀泵的系列型号和规格。虽然ET滑阀泵具有上述一系列优 点，但是这种三缸结构的滑阀泵结构比较复杂，对于材料和加工精度的要求都很高， 价格也比同类国产的H型滑阀泵要高出40%，况且上海ELIVAC目前生产只有ET-150和 ET-300两种规格，大型滑阀泵ET-500和ET-800则需要从美国进口。