2.MPX4115压力传感器



是Motorola公司生产的单 片集成硅压力传感器 集成度高，质量小，测量 准确度高，响应速度快等 优点 量程为15kPa—115kPa 输出模拟信号电压范围： 0.2V—4.8V

内部构造：

输出电压与压力之间的线性关系
拟合后的关系式：V=0.04495Pa-0.40529
传Hale Waihona Puke 器与检测技术课程设计——基于MPX4115的数字气压测量仪
1.压阻式压力传感器的结构原理

压阻式传感器是压力式传感器的一种，压阻式压力传感器又 称扩散硅压力传感器。
压阻式压力传感器是基于半导体材料的压阻效应制成的。 当力作用于硅晶体时，晶体的晶格产生变形,使载流子从一 个能谷向另一个能谷散射,引起载流子的迁移率发生变化， 扰动了载流子纵向和横向的平均量，从而使硅的电阻率发生 变化。
应用举例：
利用大气压强测量飞机飞行高度
测量气压带入 （1）式即可求 得飞机飞行高度
谢谢！
3.系统总体框图
压力传感器 电 A/D转换器 源 模 单片机 块
LED显示器
电压采集部分
4.程序设计：
程序
5.应用

压阻式传感器广泛地应用于航天、航空、航海、石 油化工、动力机械、生物医学工程、气象、地质、 地震测量等各个领域。例如,用于测量直升飞机机翼 的气流压力分布，测试发动机进气口的动态畸变、 叶栅的脉动压力和机翼的抖动等。


在硅膜片上，用半导体工艺中的扩散掺杂法做的四个相等 电阻，经过蒸镀旅电极及连线，接成电桥，再用压焊法与 外引线相连。硅膜片的一面是与被测压力连通的高压腔， 另一面是与大气连通的低压腔 。 当膜片两边存在压力 差而发生形变时，膜 片个点产生应力，从 而使扩散电阻的阻值 发生变化，电桥失去 平衡，输出相应的电 压，其电压的大小就 反映了所受压力的差 值。（详情见课本 P120面)