作业顺序5/30
一、取出导流筒及保温盖
二、取出埚底硅料
1、准备好不锈钢小车和取导流筒挂勾；
2、戴好手套及耐高温手套；
3、按顺序取出导流筒和保温盖；
4、取出的石墨件要放在不锈钢台车上；
1、戴好耐高温手套和准备好钳子；
2、用钳子夹住石英埚的上端部分提起，使其松动；
3、戴好耐高温手套将石英坩埚取出，若石英坩埚和埚底料能全部带出直接放入不锈钢小车上；若不能则将石英坩埚硅料放到车间指定的区域，剩下的埚底料随三瓣埚一并取出，若出现整炉报废等意外情况则，用耐高温手套直接将石英埚体和硅料一并取出；
4、把安全接盘移到副室底部处，缓慢向左移动副室至90度；
5、把取单晶的小车放在副室炉筒正下方，准备接单晶；
6、稳定单晶，移开安全接盘，按下晶快降，将单晶降入取晶小车内；
7、确认单晶完全放入小车内后，戴上手套，左手抓紧重锤，右手用钢丝钳将籽晶从细径处剪断，然后稳定重锤，将籽晶从重锤上取下，放在指定场所，再将重锤升至副室内适当位置；
注意事项及原由
1、所需要物品必须准备齐全，且就近摆放，以减少不必要的时间浪费；
2、取导流筒及保温盖时要从炉内向上平移轻拿轻放小心烫伤人身及衣服，切忌石墨件是碰撞造成损坏及对成型毡的磕碰，造成成型毡与热电堆孔取光发生偏移，造成欧路控制温度精度，而影响晶体直径控制；
3、不锈钢小车上一定要平铺一层石墨板，且保持洁净状态，一是为了防止金属原子在高温时向石墨件的扩散，进而在拉晶时扩散到坩埚硅熔体里，降低单晶硅少子寿命，影响产品质量；二是防止石墨件再次污染；
4、取单晶的小车应与单晶垂直对齐，防止单晶突然脱落能够掉进小车内不至于摔坏单晶；
5、剪断籽晶后，应稳定重锤，防止重锤快速转动，损坏钢丝绳。（重锤温度高不可以用手直接接触）；
6、取籽晶时应慎重作业，防止损坏籽晶；
7、单晶取出后，必须及时、准确的记录炉号、批号、料号；
工序名称
石墨件的取出
适用范围
适用于每炉石墨件及埚底硅料的取出及大清时整个热场的取出
4、用工具操作时注意别磕碰坏石墨件，炉内温度高小心烫伤人身体及衣服，应小心取埚底料，应避免埚底料从热场的缝隙掉下，这工序把埚内的料全部取出；
一、作业准备
二、单晶取出
1、准备好线手套、耐高温手套、纸巾；
2、准备好钢丝钳、取单晶的小车；
3、用沾酒精的纸巾将炉体从上到下擦拭干净，并保持整洁；
注意事项及原由
1、所需物品必须准备齐全而且洁净，且就近摆放，以减少不必要的时间浪费；
2、取单晶前一定要将炉体彻底擦拭一遍，防止交叉污染；
3、所有控制接线及开关在彻底清扫炉体时均不得碰断或碰坏；
5、取下漏斗，移至适当位置以防漏油，打开泵侧的油路管道阀门向下腔放油；
6、装上尾气管，盖好注油口；
7、开启真空泵工作5min后关闭泵侧的油路管道阀门，察看油位是否处于油位观察窗1/3—1/2位置。若低于下限重复以上操作；
注意事项及原由
1、加油漏斗保持清洁，防止异物进入泵腔；
2、注油时注意注油管掉落且不要超过上限油位以防喷油；
6、出现异常立刻处理并报告班长；
1、用板手打开真空泵侧盖，置于适当位置；
2、用纸巾彻底清理真空泵腔内及侧盖的油污；
3、70泵下腔滤油网要用汽油进行清洗干净；
4、清扫完毕后，先安装好滤网，后安装好侧盖；
注意事项及原由
1、侧盖在打开、安装时小心操作，防止损坏侧盖及油封而漏油；
2、70泵切记安装滤网，喷油管对准观察窗利于查看真空泵的工作状态；
山东大海新能源有限公司标准操作文件
编号：
单晶炉拉晶作业指导书
版本：
受控状态：
批 准
审 核
编 制
日 期
日 期
日 期
文件编号：
发布日期：
生效日期：
受控状态：
受控号：
版次修订状态：
起草：审核：批准/日期：
山东大海新能源有限公司
工序名称
真空泵的清理及泵油的更换
适用范围
试用于真空泵的清扫及泵油更换作业
作业顺序3/30
3、泵腔内禁止遗留纸屑或其它异物，不然会造成油路的堵塞导致真空泵卡死；
4、清理真空泵的废弃物放入指定垃圾桶；
5、出现异常立刻处理，并报告班长或车间主管；
1、打开真空泵注油口；
2、将加油漏斗放入真空泵注油口；
3、用吸油枪从油桶给油壶开始注油到2/3，用油壶嘴对准漏斗，缓慢地给真空泵注油；
4、观察真空泵油位至油位观察窗1/2位置；
1、待单晶冷却5小时后，关闭Ar气，然后提升单晶至副室，从副室观察窗确认单晶升至所需高度；
2、待炉内压力到达极限真空后，先关闭主泵球阀后关闭真空泵电源，然后进行热检漏并相应记录；
3、若无异常，拧开小副室门四个螺栓，打开副室氩气阀门，流量为20升/分，查看副室压力表指针到0位和副室小门可以被打开时，才可以升晶棒到副室腔内并高于副室门，盖上隔离阀，打开液压泵电源，升起副室；
3、切记安装好尾气管及注油口，以防开泵时喷油或油气污染泵房；
4、注意清理真空泵及周围卫生；
5、出现异常立刻处理，并报告班长或车间主管；
6、泵油加好后，关闭真空泵控制按钮，取走“禁止操作”牌，做好记录工序名称
真空泵的清理及泵油的更换
适用范围
拉晶过程中单晶的取出
作业顺序4/30
注意事项及原由：
1、确认关闭主泵球阀是否关闭到位，否则会造成炉内倒吸气；
2、放油时应靠下腔放油阀调解泵腔压力，以免泵腔内压力过大，尾气口关闭不严，致使油烟外泄扩散到泵房；
3、放完油后，切记关闭上、下腔的放油阀，防止漏油；
4、处理废油时注意泵房卫生；
5、一定要断开真空泵真空开关，以防他人不慎触动真空泵开启按钮，造成人身伤害；
1、准备好专用工具及纸巾置于真空泵位置；
2、关闭主泵球阀；
3、将废油桶置于真空泵放油口下方,打开上腔放油开关，取下泵尾气管；
4、堵严尾气口，缓慢打开下腔放油阀使之缓慢进气进行快慢放油，废油倒入指定废油桶；
5、放完油后关闭上、下腔放油阀，然后断开真空泵对应控制柜里的空气开关；
6、在控制柜上挂上“禁止操作”牌；
8、将单晶放入中转区，待冷却后将炉号、批号、料号写在单晶棒和生产作业流程单上，然后进入《石墨件取出》工序；
注意事项及原由
1、升降和移动晶体要小心，防止晶体受到碰装，致使单晶掉下来，而报废；
2、泄漏率﹤4pa/10min为正常，否则当班人员报告班长或车间主管，并做相应记录；
3、升副室前，必须确认炉内压力到大气压，隔离阀必须盖住，防止单晶坠落，应缓慢移动副室，防止单晶与副室内壁碰撞，必须将安全接盘移至炉筒口处，防止单晶受到撞击而坠落；