JEM-2100 操作说明
一、合轴操作
1．照明系统合轴
（1）.找亮：当打开灯丝，并且灯丝电流发射之后，应该在荧光屏上找到电子束，若打开灯丝后没有发现电子束，请进行以下操作：将放大倍数降低到10K左右，移动轨迹球，撤除所有光阑，基本上以上操作可以解决大多数没亮的情况
若仍然找不到亮，则需调整GUN TILT进行找亮
当然，也可以在用户模式下直接对GUN进行清零操作NTRL！正常情况下就能找到电子束了。

(2)灯丝像调节:放大倍数为X40K，将光斑用beam shift移动到屏幕中心，慢慢降
低灯丝电流，并且用BRIGHTNESS旋钮将光斑聚到最小，随着灯丝电流下降，可以观察到灯丝像出现。

如图所示标准的六硼化阑灯丝像是均匀对称的四瓣花型的，若发现花瓣不对称，说明灯丝偏了，需要用GUN TILT调节到对称即可。

调节完毕后将灯丝电流升高到正常数值，即稍能看到一点灯丝像阴影。

（3）1、5合轴：将束斑调到SPOTSIZE 5，用beam shift 将束斑移动至屏幕中间，切换至SPOTSIZE 1 ，用gun shift将偏移的束斑移动至屏幕中间，重复此过程直到当切换SPOTSIZE1到5时束斑基本上不发生偏移即可。

（4）聚光镜消象散：观察各个束斑形状，如果发现束斑形状椭圆，则用CONDSTIG 键将束斑调圆即可。

（5）加聚光镜光阑：聚光镜光阑红点位置表示退出，其余的点的大小表示当前所加入的光阑孔大小，顺时针加入光阑至合适的孔径，一般用1号或2号光阑孔，加完后用beam shift 将光斑移动至屏幕中心，这时顺时针转动BRIGHTNESS将光斑放大到与屏幕同大，若光阑没有加正，则光斑不是均匀覆盖屏幕，即光斑补随BRIGHTNESS同心放大，此时调节光阑前端和右侧的两个旋钮使光斑圆心与屏幕同心即可。

（6）样品高度调节：找一处样品，按下IMAGE WOBBLE X或Y，观察图像震动，调节Z键直至将图像震动幅度最小即可
2．成像系统合轴
（1）电压中心调节：找一样品尖端处，将尖端移动到屏幕中间黑点处。

按下HT WOBBLE让样品振颤，用BRIGHT TILT调节样品尖端在振颤时不偏离屏
幕中间黑点，即样品同心收缩即可。

（2）细聚焦：调节OBJ FOCUS 按钮，使要观察的样品调至正交处，可通过欠交，正交，过交现象来确认正交。

找一处孔的边界，在欠交下，孔边缘会
出现亮边，而在过交下，孔的边缘会出现黑边，介于欠、过交之间，无黑、
亮边时就是正交处。

（3）物镜消象散：物镜象散的消法是在X300K以上找一处微栅，边缘有非晶颗粒，不断变化欠交和过交位置，观察非晶颗粒形状有无方向性拉伸，若有
拉伸则说明有物镜象散，用OLSTIG调节至无方向拉伸即可。

二、插拔样品杆
插入样品杆时，先将杆插入样品室，手微微向里顶住，将开关拨至PUMP状态，然后等待样品室皮拉尼轨抽到30以下（绿灯亮了就可以了），然后顺时针转动样品杆一个小角度，此时样品杆会到第一个转换点，并被负压吸入样品室一小截，然后再次转动样品杆至转不动为止，再慢慢将样品杆完全送入样品室。

拔样品杆前注意先将样品室位置归零，匀速拔除样品杆至拔不动为止，逆时针转至转不动，再拔一小段距离，再转回起始位置，将开关拨至AIR处放气，至皮拉尼值为220以上，即可将杆拔出。

三、加高压
将高压HT设置为160KV后点HT ON ，等高压加载完毕暗电流稳定后
点自动升高压AUTO HT 设步长STEP为0.5左右，时间为10sec目标电压200KV后点击START，等待高压自动加载至200KV即可。

操作注意：当操作过程中光斑偏离中心时需及时用baem shift 将光移回屏幕中心。