的光強度值
解聯立方程式得到 為 位置的相位值，因為PZT每推動 會造成 的相位差，因此可求得到峰值位 置的間距
光的波動性
• 邁克森干涉儀
干涉條紋
a b c
光源 參考平面
a
b c
待測平面
光的同調性
1 2
1 2 3
0 同調性高
0 同調性低
七步相位移演算法
干涉強度最大的地方的光強度方程式
I ( z) I0 ( z)(1 g ( z)cos ( z)
考慮7個不同位置且相鄰位置間的相位差為
白光干涉儀原理
• 光的波動性。調性
– 白光同調性較低，產生干涉範圍只有幾微米，且只有相位0° 時有 最大干涉強度，因此可以準確的測定出物體表面高度。
• 由於光的波長為數百nm，經由七步相位移演算法計算光 的強度變化，可以使位置解析度達到nm等級(10-9)。