构造：
压缩机式冷冻帮浦，包括有压缩机和膨胀室两部 分。它是利用高纯度的氦气（99.999％）作为冷 媒，由压缩机压缩，经冷冻管路送到膨胀室，利 用气体膨胀吸热方式降低温度，压缩产生的热能 则由冷却水带走。 基本参数： 启动压力：低于10*-1Pa 终极压力：10*-8Pa
E-Beam机台及附属设备
E-Beam机台及附属设备
CRTM9000膜厚计
CRTM9000膜厚计：设置蒸镀程式，及镀膜全过程的实时监视。膜厚计算方法： 利用石英振荡器上薄膜重量变化引起的振荡频率变化来计算膜厚。
Tooling值修改：
film thickness on substrate TOOLING=100X film thickness on quartz crystal plate
S.R.V ATM Auto leak.V
S.V.V
CP
MV FV
V.V
MBP
Vb
MFC
Vf
DC24V 电磁阀
RP
N2 OUT N2 IN
ATM
O2 IN
系统及排气流程图
• • • • • • • • • • • • • PIG：初度真空计 ION：高度真空计 ATM：大气确认器（确认Chamber气压回到大气压） VV：粗破阀 SVV：细破阀 MFC：气体流量计 RV：粗抽阀 SRV：细抽阀 MV：主阀 FV:前端阀 CP：冷冻帮浦 RP：机械帮浦 MBP：鲁式帮浦
注意作业人员维修前 请先关闭电源，避免夹手
注意高压电危险，作业人员注意安全 (存在场所：高压电极导入部分与AC 220V部分)
人机操作界面简介
• 安全标示说明
注意界些危险，请将手远离机械装置
注意保持通风顺畅
注意高压电，维修前先关闭电源
各机台功用
• 机台功用及蒸镀金属一览表
机台名称 E-Beam
蒸镀金属 Au、AuGe、Ni
鲁式帮浦：
它的特性是在中度真空时有很好的抽 气速率，相对的在接近大气压的低真 空领域则抽气速率不佳，因此鲁式真 空帮浦常用在串连油封式机械帮浦或 其它干式真空帮浦，以加大真空系统 在中度真空的抽气速率。因此鲁式帮 浦又被称为机械式助力帮浦。
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冷冻帮浦
基本原理： 冷冻帮浦抽气是利用超低温方式将气体冷冻成固 体，使得真空腔体内各类气体分子冻结，以达到 极高的真空度。它是使用沸点最低的液态氦 (4.2K)作为冷媒，在这个工作温度下，除氦气分 子以外所有的气体都凝结为固态，且蒸气压大部 分都低于10*-8Pa以下，不过对于氦、氩、氖三 种气体而言仍有相当的蒸气压。
FV RP CP
Off Off ON
系统及排气流程图
• 抽真空
RP SRV RV 压 力 上 升 测 试 ON
ON
Off ON
时间设置：设置细抽真空时间
H 3.5*10－1Torr
PIG
L 3*10－1Torr
当Chamber真空度降到3*10－1Torr时，如果 在3秒钟内Chamber内压力没有上升到3.5*10 －1Torr以上时，进行下一步动作。
系统及排气流程图
• CRYO PUMP暖机流程
RP FV 压 力 上 升 测 试 ON ON
H 5*10－1Torr 当CRYO PUMP真空度降到2*10－1Torr时， 如果在5min内CRYO PUMP内压力没有上升 到5*10－1Torr以上时，进行下一步动作。
PIG
L 2*10－1Torr
RV RP CP
ION
Off Off ON
系统及排气流程图
• 破真空
MV SVV ON
ION
Off
ON Off 时间设置：设置细破真空时间
VV
ON
ATM
ON
VV
Off
系统及排气流程图
• CRYO PUMP再生
CP N2 IN ON ON
ATM
ON
N2 Out
ON 时间设置：设置再生时间（至少120min）
压缩机
作用： 压缩机在冷冻帮浦中所担负的任务是将在膨胀 室内已完成膨胀吸热的高纯度氦气再压缩冷却， 而压缩过程自然会产生压缩热，这些热先经润 滑油冷却，再由机体外围缠绕的冷却水管的冷 却水带走。这些经过压缩冷却程序的高压低温 氦气再导入冷冻帮浦的膨胀室，形成一个完整 的氦气循环体系。 由于冷冻帮浦的冷凝效果与氦气纯度有极密切 的关系，而氦气再压缩过程中不可避免的会受 到压缩机内油气的污染，为维持氦气的纯度， 在高压氦气进入膨胀室之前，要经过过滤。现 有的冷冻帮浦有两道过滤程序，一，油分离过 滤器，分离油和氦气；二，吸附过滤器，利用 活性炭将残余的油气分子完全清除。
• 自动镀膜（六）
人机操作界面简介
• 冷冻帮浦
人机操作界面简介
• 手动模式
人机操作界面简介
• 遮板
人机操作界面简介
• 镀膜参数组
人机操作界面简介
• 系统值设定
人机操作界面简介
• 镀膜记录表
人机操作界面简介
• 密码设定
人机操作界面简介
• 警报讯息
人机操作界面简介
• 安全标示说明
标 示 说 注意高温请勿触摸 明
VALUE
10% KEEP 20% KEEP 5.000Å /S 5.000Å /S 0.00% 0.00%
EVENT
PORT02LH 00:01 00:50 00:03 00:50 00:01 3.000KÅ 00:01 00:00
系统及排气流程图
PIG PIG ION R.V ATM
Chamber
理论基础
• 饱和蒸气压：在一定温度、压力下，设纯液体与其蒸气平衡共存， 即两相的量长时间保持不变，通常称此时平衡蒸气的压力为该液 体在此温度下的饱和蒸气压。 • 沸腾：当液体饱和蒸气压与外压相等时，液体不仅可以从表面气 化，它的内部也可气化形成气泡而不断冒出，这种现象叫做沸腾。 沸腾时的温度，即液体的蒸气压等于外压时的温度叫做沸点。 • 同一液体在不同外压下，有不同的沸点。如增大外压，则其蒸气 压等于外压所须的温度（即沸点）必升高；如降低外压，则沸点 降低。
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• 镀膜程式范例:
NO
1 2 3 4 5 6 7 8 9
FUNCTION
READY POWER RAMP 01 POWER CONSTANT 01 POWER RAMP 02 POWER CONSTANT 02 RATE RAMP 01 RATE CONSTANT 01 POWER RAMP 03 POWER CONSTANT 03
N2 IN/Out
Off
人机操作界面简介
• 主画面
人机操作界面简介
• 半自动模式
人机操作界面简介
• 坩锅选择
人机操作界面简介
• 自动镀膜（一）
人机操作界面简介
• 自动镀膜（二）
人机操作界面简介
• 自动镀膜（三）
人机操作界面简介
• 自动镀膜（四）
人机操作界面简介
• 自动镀膜（五）
人机操作界面简介
E-Beam机台及附属设备
CRTM9000膜厚控 制器 蒸镀腔体 触摸式LCD显示屏
真空计
E-Gun控制面板
加热控制器和JIG 调速器
电子束控制器
机台主体外观
E-Beam机台及附属设备
蒸镀腔体内部
E-Beam机台及附属设备
坩锅及挡板
电子枪
E-Beam机台及附属设备
机械帮浦和鲁式帮浦
油封式机械帮浦：
E-Beam蒸镀系统简介
E-Beam蒸镀系统简介
1. 2. 3. 4. 5. 工作原理 理论基础 机台附属设备 系统及排气流程 人机操作界面
工作原理
电子束蒸镀法是利用电子枪所射出的电子束轰击待镀材料， 将高能电子射束的动能转化为熔化待镀材料的热能，使其局部 熔化。因在高真空下（ 4×10-6 torr）金属源的熔点与沸点接近， 容易使其蒸发，而产生的金属蒸气流遇到晶片时即沉积在上面。
加热方式 E-Gun
E-Beam&R/H
E-Beam(氧化物）
Au、 Al 、Ti
AuBe SiO2、ITO NhomakorabeaE-Gun
Thermal E-Gun
操作步骤
启动机台
启动冷冻帮浦
上晶片
抽真空
编写蒸镀程式
开启E-Beam电源
执行自动镀膜命令
破真空
取出晶片
是借帮浦腔体内的转子(rotor)和静子 (stator)连续接触进行进气、压缩、和 排气的行程，因为转子和静子在运动 过程中为连续接触，因此必须采取润 滑的措施，以减少磨损及排除摩擦热。 油封式机械帮浦操作的压力范围宽 (1atm~10*-3torr)，且可以得到不错的 压缩比，设计较为简单，其终极真空 度可达到10*-4torr。