P=10 0.778(U-C) P:实际压力; U :输出电压; C:常数 (mbar:6.143; Torr:6.304; Pa:3.572) 例如:某规管测量的输出信号为6.14 V 那么实际压力为P=10 0.778(6.14-6.143) =1.0 mbar
9
皮拉尼规 PSG ---维护 1. 清洗规管
1
220ຫໍສະໝຸດ BPG400: 测量2.4x10-2 mbar ~~1000 mbar 皮拉尼工作 5.5x10-3 mbar ~~2.4x10-2 mbar 熱电离规与皮拉尼规共
同工作
5.5x10-3 mbar 以下熱电离规工作，皮拉尼保护 3.2x10-2 mbar 熱电离灯丝因保护关闭
23
复合规BPG------维护 满量程调整处
25
BPG400: 维护
除气
除气只能在压力低于 7.2E-6 mbar 以下进行 除气主要目的是清除灯丝污染 除气时收集极温度700度,除气功率4W,16mA 除气时显示值偏大 除气3分钟自动结束 除气可通过接口，或由连接的显示仪表激活
26
复合规BPG------常见故障
故障信息
可能原因
电气连接口
FCC68 接线: 针1 电源14~32 V 针2 电源地 针3 测量信号输出 针5 信号地 针6,8 触点输出
7
皮拉尼规 PSG ---信号输出
1 输出电压范围:0-10.0V； 2 测量信号范围：1.9-10.0V； 3 灯丝故障：<0.5V； 4 输出电压与压力的关系式:(对数输出 1.286V/量级)
清洗步骤: 1 移开灯丝部分的挡板 2 加入酒精,浸泡5 分钟 3 倒出酒精,放至干燥 4 安装挡板 5 连接开机调整零点
灯丝部分可清洗
10
皮拉尼规 PSG ---维护 规管调整
调满 量程 Atm
调零 HV
调整方法: 1 安装规管成正常使用状态 2 排空至压力<10-4 mbar 3 调整电位器HV ,使规管
调满量程
1 大气压下规管通电至 少10分钟 2 用工具插入<FULL SCALE>,按 下至少5秒 种 3 规管自动完成调整
1
24
2
复合规BPG------维护
皮拉尼零点调整
原理上讲，当压力低于1E-3mbar时，规管自动调整零点，调整值每六小时自动存储。
调零点
1 在压力《1x10-4mbar下规管 通电至少10分钟 2 用工具插入<FULL SCALE>,按 下至少2秒种 3 规管2分钟后自动完成调整
7
20
BPG400: 电气连接
注意：第五脚必须与屏蔽壳连接与地连接
21
复合规BPG------信号输出
1 输出电压范围:0-10V； 2 测量信号输出范围0.774—10V； 3 输出0.3V=热阴极故障 4 输出0.5V= 皮拉尼故障 5 输出电压与压力的关系式:(对数输出)
P= 10 (U-7.75)/0.75+C P:实际压力; U :输出电压; C:常数 mbar :0 pa: 2 Torr : -0.125 例如:BPG的输出信号为4.00 V, 那么实际压力为P= 10 (4-0)/0.75+0 =1x10-5 mbar
带中心环的O-圈
带中心环及过滤网的O-圈
14
PSG: 备件
15
电离- 皮拉尼复合规
复合规型号：
BPG400（B-A 规+皮拉尼 ）
HPG400 （热规+皮拉尼）
BCG450 （热规+皮拉尼+ 薄膜规）
BPG402 (开发中）
16
3
熱电离规原理
Richardson 效应: 高温灯丝发射电子，高能量电子撞击气体分子 使其电离，离子流的大小与气体压力成比例关系.
3 其它故障或无法解决,请与维修部门联系
13
PSG: 灯丝检查
检查灯丝阻值
PSG400 (2 wires)
51 Ohm +/- 5%
51 Ohm +/- 5%
PSG100/101 (1 wire)
PSG100: 87 Ohm +/- 5%
PSG101: 50 Ohm +/- 5%
13
PSG: 污染防护
3
皮拉尼规 PSG
皮拉尼规型号： PSG400/S PSG050 PSG500 PSG100/101 PCG400（复合规）
3
皮拉尼规管工作原理 皮拉尼: 热丝的能量损失与热丝周围的气体浓度及气 体成分成比例关系.
5
皮拉尼规管工作原理
Heat transport through the gas:
HeaPtrtersasnusrep-odretptehnrdoeungth(Htohwe mgaasn:y) GPraess-tsyupere-d-depeepnednednetn(sti(zHe)ow many)
6
皮拉尼规管工作原理
气体的热传导，与下列提条件有关: 气体类型 压力大小
7
皮拉尼规 PSG ---电气连接
输出5X10-4 mbar 或1.55V 4 放气至大气压,等2分钟; 5 调整电位器Atm ,使规管输
出1X10+3 mbar 或10.00V
12
皮拉尼规 PSG ---维修
常见故障:
1 输出信号< 0.5V 可能原因: 无电源 需要调整 灯丝故障
2 真空测量不准确 可能原因: 零点漂移,需调整 灯丝污染,需清洗
真空测量仪器培训
培训目的： 了解常用规管的工作原理 知道如何选择合适的规管 真空规管的故障诊断 真空规管的清洗维护 真空规管的调整校准 备件订购
2
内容 皮拉尼规 (PSG and PCG) 熱电离规 (BPG400, BCG450, HPG400) 冷电离规 (PEG) 显示器（VGC40X）
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电离原理
电子撞击气体分子，气体分子的一个或多个电子被撞击出去，形 成带正电的离子
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BPG & BCG 规管
阳极 离子收集极 阴极
薄膜规
双皮拉尼
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复合规BPG------电气连接
D-Sub 电气连接口
电气连接： 针2 测量信号输出 针5 电源地 针7 除气 针8 24V电源 针11 18~26V电源 针12 信号地 针13 RS232C TXD 针14 RS232C RXD 针15 接外壳接地
解决方法
输出信号小于0.2 V 或 电源没有接入规管或 1)关机再开机
一直小于0.29V
接触不良
2)检查连线及电源