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XXXXXX 电子科技有限公司
蚀刻线岗位操作规范
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总页数：第 1 页 共 6 页
发行管制章
12线..00。目适的用：范规围范：员本工规操程作只,适提用高本员公工司的蚀操刻作工技序能的。 D.E.S 3市.0水333工...231洗艺显蚀去2流影刻膜#→程段段段检：：：查入市1出入1撕板1干#板水板#1聚→2→2洗→##酯蚀收3→去#膜刻4板3市膜##→→→→水11#入市自洗钝#22#板水检#3化4→#显#洗→→高影1高冷#1压2#1压#风→#水3/水#干冷2洗→#洗→ 风→8高高 热干5#9#压压风→#61#水水 干热70##洗洗风→→→
1.0 m/min
**m/min
8-C1O53g2-/L P1H0.值4-11
30℃ 32℃
28℃
0.9-1.1m/min 1.0-1.2m/min
0.8-1.0m/min
C8O-3125- g/L P1H0.值4-11
30℃ 32℃
28℃
0.8-1.0m/min 1.0-1.2m/min
**m/min
C8O-3125- g/L P1H0.值4-11
1.8 kg/cm2 52℃
2. 2 m/min 1..3 m/min 1.3 m/min 1..2 m/min
0.2-0.5m/min 0. 3 m / m i n
配槽量 8kg
更换标 准
每班或 PH≤ 10.4 时 更换
分析频率
[ 此参数仅供参考， 具体的参数由首件来 确定，超出此范围的为 异常现象，必须得到工 程师的确认方可生产。
28℃
1.3-1.6m/min 1.5-1.8m/min
1.3-1.5m/min
8-C1O53g2-/L P1H0.值4-11
30℃ 32℃
28℃
1.4-1.6m/min 1.6-1.8m/min
1.3-1.5m/min
Hale Waihona Puke 8-C1O53g2-/L P1H0.值4-11
30℃ 32℃
28℃
1.5-1.7m/min 1.6-1.8m/min
0.9-1.2 m/min
0.4-0.7 m/min 0.8-1.2 kg/cm2
3-5% 0.8-1.4 kg/cm2 1.0-1.6 kg/cm2
0.05-0.2% 50-60℃
1.0-2.2 m/min 1.0-1.4 kg/cm2
1-3% 1.0-1.4 kg/cm2 1.0-1.4 kg/cm2 75-100℃
0.15mm 厚的钢 片
0.2mm 厚的钢片
压力水洗
去膜 （600+600）L
压力水洗
压力 氢氧化钠
上压力 下压力 消泡剂 温度 速度 压力
钝化
压力水洗 热风干 D.E.S 全 线
H2SO4 压力 压力 温度
棉芯
控制范围 8-15 g/l
最佳值 10 g/l
10.4-11
10.8
0.8-1.6 kg/cm2 1.0-1.8 kg/cm2
蚀刻线岗位操作指引规范
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XXXXXX 电子科技有限公司
版本 A：
版次：
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制定 日期
修订版次
审核 日期
文件更改履历表
更改性质、内容、摘要
批准 日期
修订页次
修订日期
文件会签：拟案单位于 □ 内“√”以示回签部门
总经理 管理 市场部 工程部 者代表
制造部 品保部
物控部
设备 管理部 财务部 采购部 研发部 部
C8O-3125- g/L P1CH0O.3值 24- -11
备注
不准生产 B只GA限产于品 只 BG限A 产于品 B只GA限产于品 不准生产 B只GA限产于品 不准生产 生产不准 带的阻产焊品桥
8-15g/L
蚀刻线岗位操作规范
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缸名 显影 （800L）
1. .0kg/cm2
50-70℃
65℃
120-150 g/L
130 g/L
1.5-2.5 N
2.0 N
1.2-2.0 kg/cm2
1..6 kg/cm2
1.4-2.0 kg/cm2 49-54℃
1.9-2.5 m/min 1.1-1.4 m/min 1.1-1.4m/min 1.0-1.3 m/min
4.0 工艺参数
类 别 曝能光量 线 路 5 级 线 路 6 级 线 路 7 级 油 墨 7 级 油 墨 8 级 油 墨 9 级 油 墨 10 级 油 墨 11 级 油 墨 12 级
显温2影度8℃曝光能量1.显 速2与-1.显5影 度m影/mi参n 数1对药0照P.H表水度4值-浓11
30℃ 32℃
30℃ 32℃
28℃
0.7-0.9m/min 0.8-1.0m/min
**m/min
C8O-3125- g/L P1H0.值4-11
30℃ 32℃
28℃
0.7-0.9m/min 0.8-1.0m/min
**m/min
C8O-3125- g/L P1H0.值4-11
30℃ 32℃ 30℃ 32℃
0.6-0.8m/min 0.8-1.0m/min 0.8-1.0m/min 0.9-1.1m/min
28-32℃
1.2 kg/cm2 1.5 kg/cm2
30℃
干 膜：1. 2 - 1.8 m / m i n 感光线路 油 墨：0. 6- 1.2 m / m i n
阻 焊 油 墨 ：0..6 - 1.2m / m i n
1HZ 等于0. 036 米每分 钟 此公式 只限于显 影速度调试
0.8-1.2 kg/cm2
项目 碳酸钾
PH 值
上压力 下压力 温度
速度
压力水洗 热风吹干
蚀刻 （1200L）
压力 温度 铜离子 盐酸
上压力
下压力 温度 单面板：0.5 OZ 单面板：1.0 OZ 双面板：0.5 OZ 双面板：1.0OZ
双面板：2.0OZ
1.0OZ（已加厚 10-20um）
蚀刻 （1200L）
0.5OZ（已加厚 10-20um）
1 次/班
2 次/班
38.8HZ 38.8HZ
频率显 示
1 次/班 1 次/班
1 次/班
注：此参数只供做首 板参考,每批生产板 必须先做首板,待首 板 OK 后,再批量生 产，批量生产时必须
有专人检验板。
0.6-0.9 m/min 0.9-1.2 m/min
0.8 m/min 1.0 m/min
注：速度计算公式： 1hz 等于 0.036 米每分钟 此工式只限于 蚀刻 脱 膜计算方法