SEM工作原理ppt课件
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检材1的扫描电镜照片
检材2的扫描电镜照片
放大550倍 背散射拓扑图片, 不支持二者为同一物质
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超薄和扫描电镜观察的内质网
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ξ 1成像原理
电子束和样品的作用
r核 1.1 ~ 1.5105 埃 r原子 1埃 m核 1840me
透射电子; 非弹性散射电子;
薄
弹型散射电子(小角度,大角度,
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ξ 2 扫描电镜的结构和工作原理
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电子枪:基本同透镜 但工作电压较低
(10~20KV,<50KV)?
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聚光系统:将光斑从50 微米逐级缩小~几十埃
?
分辨率~探针尺寸
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末透镜(物镜)
孔径角:
球差∝
2
r 电子束弱
束班尺寸大, (分辨率)
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探 测 系 统
+250kv +12kv
纪录(底片):
慢扫描:? 所需扫描线数= T(帧)/ T(行)=荧光屏高度/底片分辨率 =100mm/0.05mm=2000线
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能够在水面上自由行走的水黾 mǐn
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虫腿在刺穿水面前的最深水窝侧面图
中国科学院化学研究所研究员江雷和博士生高雪峰在2004年11 月4日出版的英国《自然》杂志上发表论文,揭开了水黾“水上 轻功”的奥秘,水黾的腿能排开300倍于其身体体积的水量. 27
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c
b
de
at;d<e or f(边缘效应) e or f无法区分 a<b<d<c(尖端效应)
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扫描原理
e
S
I(行)
N
S
F
N
T(行) t(时间)
e
NS
NS
I(帧)
T(帧) t(时间) F
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扫描范围: 行——I(行) 帧——I(帧) 扫描速度: 行——T(行) 帧——T(帧) 扫描线数= T(帧)/ T(行)
背散射);
吸收电子;
二次电子; 特征X射线;
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二次电子:来源于样品的电子, 样品外层电子 获得能量后,逃离样品。
特征X射线:来源于样品,样品内层电子获得 能量后跃迁制较外层,处于不稳定状态,跳回 内层时放出X射线释放能量
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电子束和样品的作用— 二次电子; 特征X射线;
信息携带者
背散射电子
块
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水黾腿的无数细长微刚毛
单根刚毛上的精细螺旋状的 纳米凹槽结构
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葡萄球菌扫描电镜图
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链 球 菌 扫 描 电镜图
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大肠杆菌鞭毛扫描电镜 34
小鼠肾小球的二次电子像
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第三章 扫描电镜的结构原理
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JEOL扫描电子显微镜
2
扫描电镜成象是利用细聚焦高能 电子束在样品表面扫描激发出各 种物理信号,如二次电子、背反 射电子等。通过相应的检测器来 检测这些信号,再将其转换为视 频信号来调制显像管的亮度。由 于信号的强度与样品表面的形貌、 成分有对应关系,那么逐点在样 品上扫描一个面积,在显像管上 就相应获得该面积样品表面的形 貌或成分的一副图象。扫描的面 积越小,放大倍数就越高。
∝
反差的形成
二次电子 碰撞几率
路径长度 原子序数
表面形貌 原子序数差异
α
A
Cl
B
2e能量较低(<50ev)
厚度:只能从表面几十埃的 薄层发出(<100埃)
α α α 若: C > B> A
面积:只从约等于电子束斑 照射的面积发出(几十埃) 分辨率~探针尺寸
e e e 则: lC > lB> lA 则: 2 C > 2 B>2 A
2e
光
电流
电压
闪烁体 光电倍增管 放大
聚焦极
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正栅压 (强度正对应) 偏转线圈
荧显
光 粉
像
层管
扫描电镜显示器工作原理: 二次电子 探测系统输出电压 正栅压
亮度
*同步扫描(位置完全对应) *放大(衰减) 23
同步扫描-放大
样品
扫描发生器
放大倍数
荧光屏尺寸 标本被扫区尺寸
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观察(荧光屏):
快扫描:? 电子束在每点的驻留时间短,信噪比较低清晰度较差 所需扫描线数= T(帧)/ T(行)=荧光屏高度/人眼分辨率 =100mm/0.1mm=1000线