《新硅片切割液回收方法及回收设备[优秀范文5篇]》第一篇：新硅片切割液回收方法及回收设备新硅片切割液回收方法及回收设备多线切割是切割大直径硅单、多晶棒非常有效的方法之一。

近几年异军突起的多线切割机（简称线锯）以其极高的生产效率和出片率，在大直径硅片加工领域有逐渐取代内圆切割机的趋势。

多线切割机将金属线缠绕在导线轮上，驱动导线轮和单晶棒作相对运动，砂浆磨削、冷却达到磨切晶片的目的。

经过近30年的完善和提高，多线切割机日渐成熟，目前的产品己经是第六或第七代。

我国通过技术引进，多线切割技术的应用也越来越广泛。

多线切割中使用的是一种具有流动性的混合研磨剂——砂浆，其作用在切割过程中非常重要。

砂浆是被往复运动的线带到切割区，被带入的砂浆量的多少以及切割速度的高低决定硅片的切割质量。

该切割过程需要使用硬度高、粒度小并且粒径分布窄的碳化硅颗粒作为切割介质。

而与碳化硅按比例加入的聚乙二醇（peg），起到分散剂的作用，会使碳化硅在切割过程中分布均匀，并且聚乙二醇具备一定的热容，可以带走大量在切割过程中产生的摩擦热量，同时聚乙二醇的良好水溶性也便于后期硅片的清洗。

线切割加工中，高速往复运动的切割线带动砂浆到切割区，使砂浆中的研磨颗粒——碳化硅与硅棒表面高速磨削，由于研磨颗粒有非常锐利的棱角，并且硬度远大于硅棒的硬度，所以硅棒与线锯接触的区域逐渐被砂浆磨削掉，进而达到切割的效果，同时砂浆也可以带走磨削中产生的大量热。

现有的硅晶圆线切割废砂浆回收方法中，砂浆通过高速离心机，离心机转速超过3000r／min。

废砂浆在离心力的作用下，透过滤孔排出，而固体颗粒被截留在滤布上。

这种方法工艺要求较为简单，但是投资过大，而且回收率不高，还会浪费掉质量可观的聚乙二醇。

一种硅晶圆线切割废砂浆中聚乙二醇和碳化硅的回收方法，其回收的聚乙二醇（peg）和碳化硅能够达到硅晶片切割的要求，实现peg 和碳化硅多次回收循环利用，不仅能够增加原料液的使用率，降低晶硅片的制造成本，而且能够根本上避免废砂浆对环境造成的污染。

一种硅晶圆线切割废砂浆中聚乙二醇和碳化硅的回收方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤l，搅拌废砂浆，加入降黏剂，其中降黏剂和废砂浆体积比为3.5：1～4.5：1，而后进行一级固液分离，得到一级悬浮液和一级固体颗粒；步骤2，搅拌一级悬浮液，添加质量为一级悬浮液质量分数的万分之二到万分之五的助滤剂，而后通过板框过滤，得n-级悬浮液和二级固体颗粒；步骤3，二级悬浮液依次通过孔径为0.18"-0.26微米的微孔膜过滤、中空纤维膜超滤，而后通过强酸强碱型离子交换树脂去除离子，得到三级悬浮液，最后进入真空蒸馏装置，蒸馏得到可循环使用的聚乙二醇和蒸馏废液；5步骤4，收集一级、二级固体颗粒，在碱洗池中使用质量分数为3"-'5％的氢氧化钠水溶液碱反应清洗4～5个小时，其中氢氧化钠水溶液和固体颗粒的体积比为3.5：1～4.5：l，而后进入水洗塔水洗至ph值为6.5～7.5时，分离固体颗粒；然后在酸洗池中使用质量分数为26"-"31％的盐酸水溶液酸反应清洗4～5个小时，其中固体颗粒与盐酸的体积比为0.9：l～1.2：1，而后进入水洗塔水洗至ph值为6.5～7.5时，分离固体颗粒；最后，烘干固体颗粒，采用干法分级筛选满足线切割粒径分布要求的固体颗粒，即得可循环使用的碳化硅颗粒。

所述降黏剂为甲醇、乙醇、水、丙酮、甲苯中的任一种或多种混合液。

所述一级固液分离采用过滤式离心机或沉降式离心机。

所述助滤剂采用聚丙烯酰胺、聚胺、聚乙烯醇、聚氧化乙烯、丙烯酸和甲基烯酸聚合物、氧化钙、氢氧化钙、硫酸铁、硫酸铝、氯化铁、纤维素、改性淀粉或硅藻土。

所述板框过滤采用板框过滤机、板框压滤机或真空过滤机。

所述中空纤维膜超滤采用聚醚砜中空纤维膜，其截留的分子量为l00000道尔顿。

所述蒸馏废液用作降黏剂，循环使用。

所述三级悬浮液通过强酸强碱离子交换树脂使其电导率在摄氏温度为25度时小于l0“s／cm。

所述碱反应清洗中，保持碱洗池中ph值大于9.5。

6压滤、微孔膜过滤、中空纤维膜超滤进行净化，通过强酸强碱型离子交换树脂去除各种离子，蒸馏分离得到可循环使用的聚乙二醇和可作为降黏剂循环使用的蒸馏废液，根本上避免废砂浆对环境造成的污染第二篇：硅片切割液废砂浆回收技术简介硅片切割液废砂浆回收技术简介硅片切割液废砂浆回收技术简介太阳能硅片切割液废砂浆是切割液（peg）和砂浆的混合物，我公司依靠自主研发回收技术，对废砂浆进行处理，回收其中的切割液和碳化硅微粉，返回到太阳能线切割机重新使用。

因为太阳能行业的特殊性，硅片加工对于切割力和硅片表面都有很高的技术要求，因此对切割液和碳化硅微粉的要求相应也很高，质量要稳定可靠。

目前，国内使用的切割液和碳化硅微粉在线切割过程中，砂浆中不可避免的会混入硅粉、铁、高聚物等杂质，部分碳化硅微粉也会因切割作用而出现破损，产生的废砂浆很难继续使用。

我公司自主开发的废砂浆回收技术，结合化工和电子技术特点，利用沉降离心、化学清洗、絮凝过滤、精馏、萃取、旋风分级等分离原理和方法，将废砂浆中杂质和水分去除，得到优质合格的切割液和碳化硅微粉。

液体回收过程主要利用物理作用将其中的固体微粒去除，不增加任何可溶性杂质。

这样得到的液体能够保证原有的化学成分，具有与新切割液相同的表面活性、悬浮力和携带力，可多次重复使用。

在碳化硅微粉回收时，除了利用物理作用将其中的细颗粒去除外，还利用多种化学作用将其中的硅粉、铁、胶粒去除，这就保证了得到的碳化硅微粉具有原砂浆中碳化硅微粉同样的品质。

且回收过程不增加任何微粉颗粒，而切割过程会使大的颗粒变细，因此回收到的微粉没有大颗粒，不会在以后使用过程中产生划伤硅片的现象。

我公司的废砂浆回收技术具有较高的回收率：碳化硅微粉和切割液的回收率分别是废砂浆的30%和35%以上。

绿碳化硅介绍：绿碳化硅产品有着高硬度、强切割力、高熔点以及不与酸、碱起任何化学反应等特性，被广泛应用在高科技产业以及精密工业，如晶体切削、抛光等行业。

它对于高精密度水晶、晶圆棒、振荡器、铸锭的切挖，以及超硬的金属加工，软金属如黄铜等的处理，都有极高水平的表现；作为电子元器件的耗材，绿碳化硅也用于各种树脂和脱氧的处理；同时绿碳化硅还是石头及一些坚硬的磨削工作的理想材料。

同时因为它具有半导体的特性，极好的传热、耐高温能力，使它成为有用的陶瓷材料。

公司优势：1、原材料管理。

精挑细选的原材料，严格细致的进料管理，供应商定期考核。

2、先进的生产经验。

本公司融合日本、台湾以及大陆几十年来的生产经验和研究成果，采用国内领先的生产设备，为客户提供质量稳定、精度更高的各类产品。

3、高质量、合理价位。

媲美国外产品的质量，相当合理的价格，便捷的供货渠道，优质的服务措施。

第三篇：硅片切割液废砂浆回收项目可行性研究报告硅片切割液废砂浆回收项目可行性研究报告随着太阳能硅片切割行业的重新洗牌以及利润的持续下降，硅片切割企业不约而同地打起来控制生产过程，降低生产成本的牌。

最直接的就是对三大辅料中的切割液和碳化硅微粉的回收再利用。

由于通过对废砂浆的回收利用，可以使切割液和碳化硅微粉的成本降低至少50％，所以未来三到五年，废砂浆回收项目将会受到国内切片厂的大力追捧，回收液和回收砂的市场份额也将会有大幅度上升，因此废砂浆回收项目具有相当的可行性。

1、项目市场分析由于目前回收液的市场份额只占整个切割液市场份额的20％左右，而随着废砂浆回收技术的提高和切割技术对回收液和回收砂的利用水平的提高，回收液和回收砂的使用量至少可以上升到市场份额的50％。

1.1竞争环境分析进入xx年以来，新液的技术壁垒已经被打破，在xx年的上半年，市场上涌现出了近10家生产新液的化工厂，使得整个新液市场竞争异常激烈，价格从年初的16000一降再降到现在的13000上下，大有跌破1xx的趋势。

同时，随着石油价格的上涨，成本有增无减，利润不断趋薄，货款回收周期拉长，整个行业极其惨淡。

而反观废砂浆回收市场，从事该项目的企业真正上规模的只有两家，并且生意异常火爆，业绩一直呈增长态势。

由于硅片切割厂家要节省成本，而回收液一吨的价格只有8000元左右，回收砂一吨的价格也只有10000元左右。

并且随着回收技术的提高，可以实现回收液、回收砂和新液、新砂以1：1的比例混合使用，大大降低了硅片的生产成本，使得硅片切割厂家从xx年以来对废砂浆回收越来越愿意接受，加速了废砂浆回收市场的启动。

1.2项目竞争优势分析废砂浆回收主要分为在线回收和离线回收。

（1）在线回收是指运用在线回收机直接对废砂浆进行离心分离，将杂质剔除的同时补充一定量的新液和新砂，然后直接循环利用。

优点是通过在线回收机回收出来的直接就是砂浆，不用将液和砂分离，同时免去了物流等中间环节；缺点是通过回收之后砂浆的杂质还是不可能剔除的很精细，并且加工能力有限，一台800万的砂浆在线回收机，月加工能力最多只有60吨－100吨。

（2）离线回收是指通过建设废砂浆回收处理厂来对废砂浆进行分离加工。

优点是可以回收出质量比较好的回收液和回收砂，规模投资成本相对较小，成套设备投资800万人民币可以建成一个年处理5000吨－8000吨的废砂浆回收处理厂。

缺点是物流等中间环节较多，但是，如果是为切片厂做配套，建在大型切片厂附近，就可以规避这些不便。

总之，离线回收项目，即通过建立回收工厂的模式在现有市场中更具有竞争力。

2、建设条件和工程进度分析2.1建设条件由于废砂浆回收项目在投入运营的过程中，涉及到比较高的物流成本，所以该项目在建设的过程中需要考虑营销的辐射半径，最理想的建设条件是建在某一家规模比较大的切片厂附近或者某一个切片产业集群附近，为其配套，形成经营联合体。

这样不仅可以节省运营成本，还可以因成本降低而降低终端产品的价格，保持比较有竞争力的区域终端价，提高该项目的整体竞争力。

2.2工程进度以年处理5000吨废砂浆的项目为例，在厂房供水、供电、蒸汽锅炉和土建项目等条件具备的情况下，整个项目从设备安装调试到投入运营三到五个月就可以完成。

3、技术原理与生产工艺流程3.1技术原理我公司是最先进入太阳能光伏行业，硅片切割废砂浆回收处理设备的研制开发的企业，并为国内几家大公司配套安装回收处理设备，经过不断改进研发出了目前国内比较成熟的工艺，将化工和矿业加工技术相融合，结合电子材料加工的特点，利用离心分离分散、化学清洗、萃取等分离原理和方法，将废砂浆中的杂质清除，得到合格的碳化硅微粉和peg切割液。

3.2生产工艺流程整个回收过程可分解为三个子过程（1）固液分离过程利用硅粉比碳化硅微粉颗粒密度均小的特点，将废砂浆分解为碳化硅微粉和含硅粉的切割液两股物流。