单晶硅设备工艺培训
目录
← 1. 硅料的提炼
← 2.单晶硅片工艺流程
← 3.单晶炉展示
← 4. 产品展示
← 5. 单晶炉种类
← 6. 单晶炉结构
←7. 各个部件的作用
←8. 单晶工艺流程
←9. 晶升，埚升介绍
←10.加热部分
单晶硅片工艺流程：
1.酸洗：使用稀硝酸HNO3,进行清洗，去除表面杂质及提炼时产生的四氯化硅。

2.清洗：清洗硅料经过酸洗后的残留杂质。

3.单晶硅料烘干：去除水分。

4.挑料：区分P型，N型硅料。

5.配料：对拉晶的硅料型号进行匹配。

7.硅棒检测：检查有无位错，棱线断等现象。

8.开断：将单晶硅棒用带锯条切割成四方体。

9.包装：将开断后的单晶硅棒进行包装，送至下一道工序
10.磨圆：将单晶硅棒四个直角进行磨圆。

11.多线切割：瑞士的264，265。

日本的PV800,MDM442DM设备进行切割。

0.33mm。