继扫描隧道显微镜(STM)之后，各国科技工作者在扫描隧道显微镜(STM)原理基础上又 发明了一系列新型显微镜 [4] 。它们包括 ：原子力显微镜（AFM）、激光力显微镜（LFM）、 静电力显微镜、扫描热显微镜、弹道电子发射显微镜（BEEM）、扫描隧道电位仪（STP）、 扫描离子电导显微镜（SICM）、扫描近场光学显微镜（SNOM，在 1956 年设想基础上的 改进）和光子扫描隧道显微镜（PSTM）等。这些新型显微镜的发明为探索物质表面或界 面的特性，如表面不同部位的磁场、静电场、热量散失、离子流量、表面摩擦力以及在扩 大可测样品范围方面提供了有力的工具。近几年来，在把 STM 与 EM、FIM 以及 AFM、 LEED 等其它表面分析手段联用方面，也取得了可喜的进展。目前最小的扫描隧道显微镜 (STM)尺寸仅为 125 µ m，而最大的扫描范围可达 100 µ m。 2 STM 的局限性与发展 [5]
这些新型显微镜的发明为探索物质表面或界面的特性，如表面不同部位的磁场、静电场、 热量损失、离子流量、表面摩擦力以及在扩大可测量样品的范围等方面提供了有力的工具。 近几年来在把 STM 与 AFM、FIM、LEED 等其他表面分析手段联用方面，也取得了可喜 的进展。目前，最小的 STM 仅为 1000mm×200mm×8mm，最大的扫描范围可达 100µm。 已召开了十几次 STM 国际会议，1993 年 8 月在北京召开了第七届 STM 国际会议，有中 国科学院化学所、清华大学等单位参加。 中国科学院化学所白春礼课题组于 1988 年初研 制成功计算机控制的 STM，该仪器由 STM 主体、控制电路、计算机、高分辨图形显示终 端等部分组成。具有恒定高度、恒定电流两种扫描模式，提供有 STM 形貌图、I-V 曲线、 局域势垒高度测量等功能。仪器水平分辨率<1?，垂直分辨率<0.1?，扫描范围 1nm×1nm~4.5µm×4.5µm。
原子力显微镜（AFM） 上一节已经简述了 STM 发明之后，纳米结构测试技术的发展。本节将进行略为详细的 讨论。1986 年，诺贝尔奖金获得者宾尼等人发明了 AFM。这种新型的表面分析仪器是靠 探测针尖与样品表面微弱的原子间作用力的变化来观察表面结构的。它不仅可以观察导体 和半导体的表面形貌，而且可以观察非导体的表面形貌，弥补了 STM 只能直接观察导体 和半导体之不足。由于许多实用的材料或感光的样品是不导电的，因此 AFM 的出现也引 起了科学界的普遍重视。当时宾尼研制的第一台 AFM 的横向分辨率仅为 30 ?，1987 年斯 坦福大学的 Quate 等人报道他们的 AFM 达到了原子级分辨率。中国科学院化学所研制的 隧道电流法检测、微悬臂运动的 AFM 于 1988 年底首次达到原子级分辨率。运用该仪器对
10mm （10 倍时）
SEM
6~10nm
高真空
室温
小
1 µ m （ 10000
倍时）
FIM
原子级
超高 真 空 30～80K
有
原子厚度
从扫描隧道显微镜(STM)的工作原理可知，在扫描隧道显微镜(STM)观测样品表面的过程
中，扫描探针的结构所起的作用是很重要的。如针尖的曲率半径是影响横向分辨率的关键 因素；针尖的尺寸、形状及化学同一性不仅影响到 STM 图象的分辨率，而且还关系到电 子结构的测量。因此，精确地观测描述针尖的几何形状与电子特性对于实验质量的评估有 重要的参考价值。扫描隧道显微镜(STM)的研究者们曾采用了一些其它技术手段来观察扫 描隧道显微镜(STM)针尖的微观形貌，如 SEM、TEM、FIM 等。SEM 一般只能提供微米 或亚微米级的形貌信息，显然对于原子级的微观结构观察是远远不够的。虽然用高分辨 TEM 可以得到原子级的样品图象，但用于观察扫描隧道显微镜(STM)针尖则较为困难，而 且它的原子级分辨率也只是勉强可以达到。只有 FIM 能在原子级分辨率下观察扫描隧道 显微镜(STM)金属针尖的顶端形貌，因而成为扫描隧道显微镜(STM)针尖的有效观测工具。 日本 Tohoku 大学的樱井利夫等人利用了 FIM 的这一优势制成了 FIM-STM 联用装置(研究 者称之为 FI-STM) [3] ，可以通过 FIM 在原子级水平上观测扫描隧道显微镜(STM)扫描针 尖的几何形状，这使得人们能够在确知扫描隧道显微镜(STM)针尖状态的情况下进行实验， 从而提高了使用扫描隧道显微镜(STM)仪器的有效率。
在有机分子结构的研究中，高分辨率的 扫描隧道显微镜(STM) 三维直观图象是一种极 为有用的工具。此法已成功地观察到苯在 Rh(111)表面的单层吸附，并显示清晰的 Kekule 环状结构。在生物学领域， 扫描隧道显微镜(STM) 已用来直接观察 DNA、重组 DNA 及 HPI-蛋白质等在载体表面吸附后的外形结构。
尽管扫描隧道显微镜(STM) 有着 EM、FIM 等仪器所不能比拟的诸多优点，但由于仪器 本身的工作方式所造成的局限性也是显而易见的。这主要表现在以下两个方面： 1.在 扫描隧道显微镜(STM) 的恒电流工作模式下，有时它对样品表面微粒之间的某些沟 槽不能够准确探测，与此相关的分辨率较差。图 2 摘自对铂超细粉末的一个研究实例 [6] 。 它形象地显示了 扫描隧道显微镜(STM) 在这种探测方式上的缺陷。铂粒子之间的沟槽被 探针扫描过的曲面所盖，在形貌图上表现得很窄，而铂粒子的粒径却因此而被增大了。在 TEM 的观测中则不会出现这种问题。
扫描隧道显微镜(STM) 在化学中的应用研究虽然只进行了几年，但涉及的范围已极为广 泛。因为 扫描隧道显微镜(STM) 的最早期研究工作是在超高真空中进行的，因此最直接 的化学应用是观察和记录超高真空条件下金属原子在固体表面的吸附结构。在化学各学科 的研究方向中，电化学可算是很活跃的领域，可能是因为电解池与 扫描隧道显微镜(STM) 装置的相似性所致。同时对相界面结构的再认识也是电化学家们长期关注的课题。专用于 电化学研究的 扫描隧道显微镜(STM) 装置已研制成功。
可以预测，对于许多溶液相的化学反应机理研究，如能移置到载体表面进行， 扫描隧 道显微镜(STM) 也不失为一个可以尝试的测试手段，通过它可观察到原子间转移的直接过 程。对于膜表面的吸附和渗透过程， 扫描隧道显微镜(STM) 方法可能描绘出较为详细的
机理。这一方法在操作上和理解上简单直观，获得数据后无需作任何繁琐的后续数据处理 就可直接显示或绘图，而且适用于很多介质，因此将会在其应用研究领域展现出广阔的前 景。
描隧道显微镜(STM) 问世之前，这些微观世界还只能用一些烦琐的、往往是破坏性的方法
来进行观测。而 扫描隧道显微镜(STM) 则是对样品表面进行无损探测，避免了使样品发
生变化，也无需使样品受破坏性的高能辐射作用。另外，任何借助透镜来对光或其它辐射
进行聚焦的显微镜都不可避免的受到一条根本限制：光的衍射现象。由于光的衍射，尺寸
可用于观察表面形貌起伏较大的样品，且可通过加在 z 向驱动器上的电压值推算表面起
伏高度的数值，这是一种常用的扫描模式。对于起伏不大的样品表面，可以控制针尖高度
守恒扫描，通过记录隧道电流的变化亦可得到表面态度的分布。这种扫描方式的特点是扫
描速度快，能够减少噪音和热漂移对信号的影响，但一般不能用于观察表面起伏大于 1nm
此外，在目前常用的有配备 FIM， 因而针尖形状的不确定性往往会对仪器的分辨率和图象的认证与解释带来许多不确定因 素。
尽管 扫描隧道显微镜(STM) 问世的时间很短，但经过各国科学家的努力， 扫描隧道显 微镜(STM) 技术已得到了迅速的发展，在许多方面显示出其独特的优点。相信随着 扫描 隧道显微镜(STM) 理论与技术的日臻完善， 扫描隧道显微镜(STM) 及其相关技术必将在 人类认识微观世界的进程中发挥越来越大的作用。 3 其他类似的检测仪器
小于光波长一半的细节在显微镜下将变得模糊。而 扫描隧道显微镜(STM) 则能够轻而易
举地克服这种限制，因而可获得原子级的高分辨率。表 1 列出了 扫描隧道显微镜(STM) 与
EM、FIM 的几项综合性能指标，读者从这些性能指标对比中可体会到 扫描隧道显微镜
(STM) 仪器的优点和特点。
表 1 STM 与 EM、FIM 的各项性能指标比较
0.1nm，隧道电流 I 将增加一个数量级，因此，利用电子反馈线路控制隧道电流的恒定，
并用压电陶瓷材料控制针尖在样品表面的扫描，则探针在垂直于样品方向上高低的变化就
反映出了样品表面的起伏，见图 1(a)。将针尖在样品表面扫描时运动的轨迹直接在荧光屏
或记录纸上显示出来，就得到了样品表面态密度的分布或原子排列的图象。这种扫描方式
继 1982 年发明在真空条件下工作的 STM 以来，扫描隧道显微技术及其应用得到了迅猛 发展。1984 年 STM 先后用于在大气、蒸馏水、盐水和电解液环境下研究不同物质的表面
结构。后来，在 STM 的原理的基础上又发明了一系列新型的显微镜。这些显微镜包括： 原 子力显微镜（Atomic Force Micro-scope）简称 AFM。它可以直接观察原子和分子，而且用 途更为广泛，对导电和非导电样品均适用。AFM 也可以作为纳米制造的手段，目前，已 有一些成功的例子。 原子力显微镜（AFM）、激光力显微镜（LFM）、摩擦力显微镜、 磁力显微镜（MFM）、静电力显微镜、扫描热显微镜、弹道电子发射显微镜（BEEM）、 扫描隧道电位仪（STP）、扫描离子电导显微镜（SICM）、扫描近场光学显微镜（SNOM） 和扫描超声显微镜等。
图 2 STM 恒电流工作方式观测超细金属微粒（Pt/C 样品） 在恒高度工作方式下，从原理上这种局限性会有所改善。但只有采用非常尖锐的探针，其 针尖半径应远小于粒子之间的距离，才能避免这种缺陷。在观测超细金属微粒扩散时，这 一点显得尤为重要。
2. 扫描隧道显微镜(STM) 所观察的样品必须具有一定程度的导电性，对于半导体，观 测的效果就差于导体；对于绝缘体则根本无法直接观察。如果在样品表面覆盖导电层，则 由于导电层的粒度和均匀性等问题又限制了图象对真实表面的分辨率。宾尼等人 1986 年 研制成功的 AFM 可以弥补 扫描隧道显微镜(STM) 这方面的不足。