文件编号 HS/WI-DZ-042
版 本 A/0 文 件 名 称
表面电阻测试仪作业指导书
制定日期 2016-12-22 页 次
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核 准 审 核
拟 制
Sheet No: 1 of 1
1.目的
规范表面电阻测试仪正确使用，检查各工位静电防护，确保生产品质。

2.适用范围
适用精密电子部工作台表面静电测试。

3.权责
IPQC 负责测试并记录。

4.所用物品:
TM385数字表面电阻测试仪 5.工作条件 0℃~40℃ 6.程序内容
6.1表面电阻测试：将测试仪器放置在待测试物体表面，使测试仪的两侧试电极与待测物体表面可靠接触：按下需看当前温暖试环境温度，只需按下测试仪上的◎开机可进行测试Ω；如需看当前测试环境温度，只需按一下 键转换到温度界面上，再按可转回到电阻测量界面。

LCD 上面2排显示是代表所测表面电阻区，对
应点亮，下面数字显示测试的表面阻值，如所测的表面电阻值小于105
Ω，下面会显示“ＬＯ＂表示是在导通区域
防静电功能OK ；如测量的电阻值大于10１２
Ω，下面显示“OL ”表示绝缘状态“如开路”。

LCD 上面圆形符号和代表的数值即为该物体表面的十进制测量电阻值。

103=1K Ω;104=10K Ω;105=100K Ω;106=1M Ω;107=10M Ω;108=100M Ω;109=1G Ω;1010=10G Ω;1011=100G Ω;1012
=1T Ω
注：103~105Ω为导电材料；106~1011Ω为散静电材料；≥1012
Ω为绝缘材料； 6.2对地电阻测试：
6.2.1将接地线插入测试器前端的接地插孔内，将接地线另一头的鳄鱼夹与地线连接起来 6.2.2将仪器放置在待测物体上。

使测试器的右侧电极与待测物体可靠接触； 6.2.3按一下◎键开机进行测试
6.2.4LCD 上面点亮并保持不变的那个圆点和数值所代表的数值即为该物体的十进制测量对地电阻，下面对 应显示出对应的读数值。

6.2.5LCD 下面显示“OL ”，代表≥1012Ω绝缘材料，不能用于防静电；显示“LO ”代表在103~105
Ω的导通区，表面防静电性能极好。

7.图示
※ 修订履历 ※ 变更日期 变更版本
变 更 内 容。