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微电子技术

电子学概说
微电子技术
A.集成电路
1.微电子技术的核心为半导体制程。

半导体制程结合了物理、化学、电子及计算机辅助设计等先进科技,用以
制造生产各式的电子组件。

2.1958年基尔比构想并制造出第一个集成电路来。

与其他两位在半导体研究上亦有杰出贡献的科学家,共同获
颁2000年诺贝尔物理奖。

3.集成电路(integrated circuit,IC):每个个别式(discrete)组件都用半导体技术制造完成,并将整个电路的组件,
于单一个半导体的芯片(chip)上完全制造出来,以达到电路小型化及高产能的效益,此为集成电路。

4.集成电路所涉及的尺度非常微小,以微米(μm)为单位,所以又称微电子技术(microelectronics technology)。


用此一技术,可将数百万个晶体管,容纳在一小片面积不到1cm×1cm的小芯片上。

5.集成电路的概分:
小型集成电路(SSI):每个芯片含有100以内组件。

中型集成电路(MSI):100~1000;大规模集成电路(LSI):1000~10000;超大规模集成电路(VLSI):1万以上;极大规模集成电路(ULSI):10万以上。

2000年的计算机CPU芯片上已含有4200万个晶体管。

B.集成电路的制作流程:如图所示
1.首先,制备出高纯度的半导体晶柱,长度约1m,目前直径最大到12吋。

2.将晶柱切片成为晶圆(wafer),厚度约0.7mm,并研磨抛光,以便后续的制程处理。

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