4L不锈钢制作。 主炉腔体全部用进口304L不锈钢制作。 304L不锈钢制作 炉体框架用GB标准型材焊接后，高精度数控机床加工。 GB标准型材焊接后 炉体框架用GB标准型材焊接后，高精度数控机床加工。 日本KENECE单晶棒测量专用高精度双CCD KENECE单晶棒测量专用高精度双CCD相机控制系统 日本KENECE单晶棒测量专用高精度双CCD相机控制系统 (200万相素 万相素) (200万相素)。 进口高精度三洋驱动直流马达。 进口高精度三洋驱动直流马达。 台湾著名厂家生产的伺服驱动电机。 台湾著名厂家生产的伺服驱动电机。 韩国AUTONICS公司检测传感器。 AUTONICS公司检测传感器 韩国AUTONICS公司检测传感器。 日本SMC与德国INFICOM高真空传感器。 SMC与德国INFICOM高真空传感器 日本SMC与德国INFICOM高真空传感器。 德国施耐德与日本富士等电气部件。 德国施耐德与日本富士等电气部件。 名牌控制电脑，台湾产触摸屏。 名牌控制电脑，台湾产触摸屏。 日本三菱高速PLC控制器。 PLC控制器 日本三菱高速PLC控制器。 采用美国航天航空用高分辨率红外测温仪， 采用美国航天航空用高分辨率红外测温仪，三色液面高分 辨率测温仪。 辨率测温仪。
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技术参数
管径￠ 管径￠100 极限真空度0.06Pa 辅真空泵 极限真空度0.06Pa 排气能力10L/S 排气能力10L/S 功率1KW 功率1KW 管径￠ 管径￠40 惰性气体：氩气 惰性气体： 单晶生长过程中的通常流率 ： 60slpm 通过质量流量控制器控制的最大值： 通过质量流量控制器控制的最大值： 150m 最小手动流量（手动截止阀） 最小手动流量（手动截止阀） ： 75slpm 氩气纯度最小纯度要求： >99.999％ 氩气纯度最小纯度要求： >99.999％
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技术参数
冷却水（工业纯水） 冷却水（工业纯水） 酸碱度PH=6.0~8.0(25℃) 酸碱度PH=6.0~8.0(25℃) 硬度(ＣａＣＯ3) 硬度(ＣａＣＯ3) <150PPM 导电率<500μS/Cm(25℃) 导电率<500μS/Cm(25℃) 进水流量280~320L/Min 进水流量280~320L/Min 进水温度>15℃~30℃ 进水温度>15℃~30℃ 进水压力>2.0~3.8KPa 进水压力>2.0~3.8KPa 高纯氩气纯度99.999% 99.999%以上 高纯氩气纯度99.999%以上 流量<150L/Min 流量<150L/Min 压力>0.2Mpa 压力>0.2Mpa 极限真空度0.06Pa 主真空泵 极限真空度0.06Pa 排气能力>120L/S 排气能力>120L/S 功率15KW 功率15KW
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技术参数
籽晶提升速度（慢速）0.2-8.0mm/min（快速） 籽晶提升速度（慢速）0.2-8.0mm/min（快速）800mm/min 上轴转速： 上轴转速：1-40 rpm 坩埚升降行程： 坩埚升降行程：>500mm 坩埚升降速度：（慢速）0.02：（慢速 (快速 快速)100mm/min 坩埚升降速度：（慢速）0.02-1mm/min (快速)100mm/min 坩埚转速： 坩埚转速：1-30 rpm 坩埚最大承重： 坩埚最大承重：300kg 炉压控制：5-50torr 炉压控制： 极限真空度： 极限真空度：<22.5mT 漏气率： 漏气率：<0.75mT/min 电源输入功率：三相交流380V 10%， 380V± 电源输入功率：三相交流380V±10%， 50HZ/60HZ 加热器输出容量： 加热器输出容量： 165KW
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软件操作界面
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软件操作界面
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技术参数
产品用途：生产6 10” 多用途单晶棒。 产品用途：生产6”, 10” 多用途单晶棒。 主要用于太阳能级单晶棒 重掺硅单晶棒 可控硅级单晶棒 半导体级硅单晶棒 最大装料量： 最大装料量：125KG 热场尺寸： 22” 热场尺寸： 22” 使用石英坩埚尺寸：22” 使用石英坩埚尺寸：22” 产品规格： 产品规格： 晶向 ：<111>,<100>,<110> 直径：Ф6″， 直径：Ф6″，Ф10″ 晶体行程： 晶体行程： 3500mm
软轴式、直拉法YJ-CZ95型全 软轴式、直拉法YJ-CZ95型全 YJ 自动单晶炉
可拉制6英寸及 英寸以下的硅单晶棒 可拉制 英寸及10英寸以下的硅单晶棒。 英寸及 英寸以下的硅单晶棒。 可拉制多品种硅单晶棒： 可拉制多品种硅单晶棒： • 拉制 级硅单晶棒； 拉制IC级硅单晶棒 级硅单晶棒； • 拉制重掺硅单晶棒； 拉制重掺硅单晶棒； • 拉制可控硅级硅单晶； 拉制可控硅级硅单晶； • 拉制太阳能级硅单晶棒； 拉制太阳能级硅单晶棒；
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技术参数
炉体占地： 炉体占地：2000mm X 2500mm 炉体高度： 炉体高度：7800mm 冷却水流量: 280冷却水流量: 280-320L/min 冷却水温度: 15-30度以下不结冰 冷却水温度: 15-30度以下不结冰 冷却水质量: 冷却水质量: 工业用纯水 极限真空度: 极限真空度: <3mT 真空漏率: 真空漏率: <0.4mT/min 籽晶绳材质: 籽晶绳材质: 钨25*10 红外测温: 0.1度 红外测温: 0.1度 CCD相机 2,000,000相素 相机: CCD相机: 2,000,000相素 中炉筒内径: 中炉筒内径: 950mm 主屏尽寸: 15” 主屏尽寸: 15”触摸屏 副屏尽寸: 10.4” 副屏尽寸: 10.4”VGA
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UPS整机供电系统 UPS整机供电系统
本单晶炉独有UPS整机供电系统：在外部供电停止时， 本单晶炉独有UPS整机供电系统：在外部供电停止时，除 UPS整机供电系统 加热器电 源外，本单晶炉整机所有功能都可正常维持10源外，本单晶炉整机所有功能都可正常维持1010 15分种 自动程序不会中断动行， 分种， 15分种，自动程序不会中断动行，对瞬间断电或自有发电 设施的公司特别有用， 设施的公司特别有用，不会因短暂的停电使单晶炉自动过 程复位，带来很大损失； 程复位，带来很大损失；同时也给停电后采取措施提供了 宝贵的时间。 宝贵的时间。
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软件主要功能
拉晶过程所有相关控制数据在线显示；有自动与手动双重切换操作方式选择。 简、繁、英、多种软件语言设置。 全自动控制，无需很专业经验的拉晶人员即可快速操作；提高了生产效率. 软件有多级管理权限：操作员、管理员、最高权限者可修改全部数据，保护拉晶数据与设备的稳定， 使无关人员不能随意更改参数造成损失。 软件参数可相互之间复制。免去了重复调试的工作。 软件有多重安全系统保护，可及时了解现在与历史报警信息。 有I/O实时监控功能，在出现机器故障时，通过I/O监控画面就能确认输入与输出的状态，迅速地判 断故障位置，提高了维护效率。 能实现氩气流量的自动控制，并能保护氩气过量充入时自动切断供气。 可以实现网络监控，最大可以集中监控999台永佳公司的单晶炉 从“抽真空、真空检测、化料、稳定、引晶、放肩、收肩、等径拉制、收尾、冷却”的拉晶全过程 一键式操作。 全部采用数字化自动控制。 单晶炉运行过程中的电压，电流，功率，温度，晶体直径，坩埚位置和转速， 晶体位置和转速等全部数据及其变化的历史均自动以电子文档的形式记录在案， 方便拉晶结束后分析参数,实现生产档案管理。
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主要器件构成
炉腔内外层采用计算机模拟双层热循环水冷式结构设计， ① 炉腔内外层采用计算机模拟双层热循环水冷式结构设计，设计 的合理才会避免炉体后期的变形与漏水。 的合理才会避免炉体后期的变形与漏水。 真空旋转轴是日本MORETEC(埃慕迪) MORETEC(埃慕迪 ② 真空旋转轴是日本MORETEC(埃慕迪)独有为本单晶炉特殊设计 的大型磁流体密封装置，更长久耐用。 的大型磁流体密封装置，更长久耐用。 每个炉腔两端法兰为高压整体锻造件。 ③ 每个炉腔两端法兰为高压整体锻造件。 密封圈全部采用THK及台湾高质进口件。 THK及台湾高质进口件 ④ 密封圈全部采用THK及台湾高质进口件。 氩气管路及其配套的电磁阀全部采用高质量、高洁净进口件, ⑤ 氩气管路及其配套的电磁阀全部采用高质量、高洁净进口件,有 质量流量控制器自动控制氩气。 质量流量控制器自动控制氩气。 真空管路系统采用独特设计，在热场出口有冷却装置， ⑥ 真空管路系统采用独特设计，在热场出口有冷却装置，有自动 炉压控制系统。 炉压控制系统。 多重安全控制外，上下炉腔有安全阀及炉筒浮动设计泄压。 ⑦ 多重安全控制外，上下炉腔有安全阀及炉筒浮动设计泄压。