洁净室检测大全洁净室检测之洁净度检测一、洁净室洁净度说明洁净度检测是无尘室性能测试的核心，气流测试、压力测试，与泄漏测试，都只在确认无尘室的洁净度不受外来影响，因此洁净度测试都放在前述几项测试都通过之后。

洁净度测试完毕，与落尘有关的性能因素就都测试完毕，其它测试对洁净度影响不大，或是属于其它环境测试。

二、洁净室洁净度检测仪器洁净度检测使用微粒计数器，仪器须经校正合格且仍在有效期限内，交附报告时须附合格之校正文件。

微粒计数器有不同规格，最常见的是流量 1cfm ，最小粒径可测到 0.3mm 或是 0.1mm ，单位多是立方英呎。

至于应使用何种设备，要依业主的规范而定。

一般在产业界，多依以下方式选择微粒计数器。

Class 1000 或更高： 0.5μmClass 100 ： 0.3μm ，0.5umClass 1 到 Class 10 ：0.1μm若是业主要求的粒径范围超过单一微粒计数器的范围，则应该使用两部微粒计数器。

目前市面上少见立方公尺的微粒计数器，因此若是无尘室的洁净度是以 ISO 为基准，则要把结果作换算。

单位换算，不影响上限的计算程序。

三、洁净室洁净度检测步骤：(1) 确定空调系统之测试调整与平衡已完成，滤网之风速及泄漏测试均已完成，并已修换破损部分。

(2) 确认测试位置与测试点数。

(3) 取样时间：每点的取样时间依照等级与粒径不同而异，若取样时间小于一分钟，则以一分钟为准。

(4) 测试位置应均匀分布在无尘室内，避免在产生大量粒子之附近，且将检测仪器以适当之架台支撑，不可以手持支撑。

(5) 测量点数以公式计算（与 209E 相同）。

四、洁净室洁净度检测验收标准：洁净度的验收基准有二，首先是每点的微粒测量平均值必须低于规定值。

洁净度的第二个验收基准就是，任一隔间若需使用信赖度上限分析，则该分析值也必须小于规定值。

洁净室检测之风速及平衡性测试一、测试目的气流是控制洁净度与温湿度的最主要因素，它对噪音也有一些影响。

因此风速测量，都是放在无尘室测试的第一步。

风速测量的目的，是确认滤网送出的气流满足设计规范，其次是确认气流的均匀度。

在某些场合可能因现场的限制，室内换气量还必须用风速乘以出口面积来换算。

单一流向型无尘室，很多都是设计成垂直层流，因此风速均匀度非常重要，只有均匀的垂直层流，才能有效排除微粒污染。

非单一流向型无尘室，由于微粒控制的观念是稀释，不是立即排除，一般而言其换气量远比风速重要。

但是需注明是滤网风速测量或是无尘室室内风速测量。

二、使用仪器洁净室里面使用的 HEPA/ULPA 滤网，其送出气流的速度多半都控制在 0.5m/s 以内，因此所使用的风速计必须是低速型。

滤网风速测量可使用单点式风速计如电子式压力计配合皮氏管、热线式风速计。

也可以使用多点式风速计如 Shortridge Velgrid 16 点风速计。

轮叶式风速计因使用范围不同，通常不在无尘室内使用。

热线式风速计（ Hot Wire ）虽然高频响应良好，但是低速时〈 0.5m/s 以下〉准确性很低，因此不很适用，一般热反应风速计常用的是 Thermeister 式风速计。

转轮式风速计由于本身重量问题，也不适用低速。

检验仪器须经校正合格，且仍在有效期限内。

三、测试步骤(1) 在图面上记录滤网尺寸、数量并编号。

(2) 取样点位于滤网下方 75-150mm 处。

(3) 每一个滤网下，若是使用单点式风速计，则每 1 平方英尺取一点；若是使用多点式风速计，则每 4 平方英尺取一点。

(4) 每测量点必须取 5 秒的平均。

(5) 依验收标准分析所有风速，计算平均值、标准差、相对标准差，并标明不合格测试点。

(6) 记录所有原始数值，以及分析后的数值。

重要的是在非单一流向型无尘室测试时，特别注意取样时风速计不可受到干扰，以免影响准确度。

四、数据分析风速测量很简单，但是均匀度必须由数据分析来判定。

均匀度是由相对标准差来代表，其计算步骤如下。

1. 平均值：2. 标准差洁净室检测之风量及平衡性测试一、说明风量测量的目的通常是用来计算换气量，一般是在非单一流向型无尘室，或是测量空调系统中各式各样的出风口、回风口、排气口等的风量时使用。

只有在无法使用气罩的场合（气罩体积较大，有时会受限制），才能使用风速乘以面积等于风量的方式，用风速来换算风量。

使用风速换算风量时，须注意出风口之有效面积以及修正系数的取得。

在回风口和排气口，使用换算法的准确度非常差，应尽量避免。

同样气罩通常可以测量送风与回风，正值代表送风，负值代表回风或排气。

须注意的是反向测量时，其测量范围通常会降低。

二、测试仪器风量测量应当使用气罩（ Flow Measuring Hood ），气罩的测量范围是 15~2500 cfm ，精确度要求为读数的±3% 。

由于气罩本身会产生压损，因此其形状很重要，应尽量使用原厂气罩。

若有必要自行制造罩子，应注意气流顺畅并且做详细比对。

气罩的校正非常重要，必须主机连同罩子一起校正，才能得到准确校正值。

检验时必须使用校正合格且仍在有效期限的仪器，于正式检测前及缴交报告时均须检附合格之校正文件。

三、测试步骤：(1) 在图面上记录滤网尺寸、数量并编号。

(2) 使用恰当尺寸气罩将出风口完全罩住，然后测量与计录。

(3) 依验收标准分析所有风量，计算平均值、标准差、相对标准差，并标明不合格测试点。

(4) 记录所有原始数值，以及分析后的数值。

四、数据分析：风量均匀度的计算与风速向同，都是由相对标准差来代表，其计算步骤如下。

1. 平均值：将所有风测量量值取算数平均 2. 标准差：计算所有风测量量值的标准差洁净室检测之压差测试一、说明压力测量的目的是确认无尘室空调系统的压力设定。

无尘室内维持相当的正压以维持洁净度，这已经是个 common sense ，在 209 的旧版本中，正压有建议值，但是后来就取消了。

目前常见的正压值约是 10 到 25 Pascal 之间。

压力测量的时机，应该是在风速、风量、平行度等与气流直接相关的测试结束之后立即测量，尤其不可在洁净度测量完毕之后才测量压力。

因为如果压力不对，要立刻调整以免影响洁净度。

测量时，所有门窗都必须关上，所有的风扇也必须维持正常运转。

二、测试仪器压力测量可使用倾斜管压力计，指针式压力计，或是电子式压力计，总之只要测量范围与精确度满足要求即可。

压力计之精确度要求为读数的±5% ，测量范围式压力设计值而定，一般 0~5mm Aq （ 0–50 Pascal ）即可涵盖室内外压力差之测量。

仪器需经校正合格且仍在有效期限内之才可以使用，检测前及交附报告时均须检附合格之校正文件。

三、测试步骤1. 必须在风速、风量、气流等测试完成后，才能测试压力，并且排气与 MAU 要完全正常运转。

2. 全部门与开口都要关闭。

室外大气压力假设为 0.0mmAq 表压力。

3. 测定洁净区域与相邻较次级洁净区域之压差，再测量房间与 Gowning room 之间压差，最后测量 Gowning room 与外部之压差。

4. 建议压差值为 5~12Pa ，并无强制规定。

5. 记录所有数值。

洁净室洁净度之温湿度检测一、说明温湿度测量的目的是确认室内之温湿度控制在范围之内，温湿度对微粒控制没有甚么影响，因此温湿度测试属于第三级测试（ Level 3 ）。

但是因无尘室多半同时也是环控室，所以温湿度常常就一并测量了。

温湿度测量又分为一般测量和进阶测量（ General Tests and Comprehensive Tests ），一般测量只是测量温湿度在测量点的实时数据（单一测数据），适用在对温湿度要求不高的场所。

进阶测量就要纪录在测量点一段长时间的温湿度，目的是要观察温湿度随时间的变化情形，以确认湿度在控制之下。

进阶测量适用在对温湿度要求比较高的场所。

二、测试仪器：常见的温湿度仪器是电子式温度计与镜面冷凝光学式湿度计，一般测量和进阶测量使用仪器的精度相同，温度测量范围是 0-100 ℃，精确是±0.2 ℃。

湿度测量范围是 10 ﹪到 95 ﹪，精确度是±2 ﹪。

一般测量要求温度之显示值可显示 0.1 ℃的变化，湿度的显示值可显示 1 ﹪的变化。

进阶测量则要求温度之显示值可显示 0.05 ℃的变化，湿的显示值可显示 0.1 ﹪的变化。

检测仪器需校正合格且仍在有效期限内者，于测试前或交附报告时均须检附合格之校正文件。

三、测试程序：1. 确认空调系统已经安装完成，并已完成测试、调整、平衡。

空调系统测试、调整、平衡可以平衡风量和水量，使其达到设计要求，为温湿控制提供正确的运转环境，因此系统要先平衡才能测试。

2. 依据平面图，列出各种温湿度要求区域，并使系统达到正常运转状况，系统应在温湿度自动控制之下，至少运转 24 小时以上。

3. 测试点数为每个房间至少量一点，并且每个温湿度控制区至少量一点，例如每个 Dry Coil 的控制范围要量一点，测量高度为 ( 高架 ) 地板上 1.00m 。

4. 将温湿度传感器放置同一位置，待稳定后开始记录。

洁净室检测之光照度测试一、测前准备1.洁净室所有开孔皆需封闭气密处理完成2.测试前空调系统应已完成测试、调整、平衡，并已连续运转24小时以上。

3.洁净室环境需清洁完成二、测试目的此检测动作在于确认无尘室照明系统是否有达到设计要求。

三、测试仪器专业照度仪四、测试步骤1.无尘室光源至少使用100小时以上，测试前需点亮2小时以上。

2.确认测试点及配置图编号。

3.将照度仪固定置于距离地板上1.2m高度，待数值稳定后量测10秒记录。

洁净室检测之噪音度测试一、检测准备1.竣工图面（初版）与相关规范确认2.洁净室所有开孔皆需封闭气密处理完成。

3.测试前空调系统应已完成测试、调整、平衡，并已连续运转24小时以上。

4.洁净室环境需清洁完成。

二、测试目的此检测动作在于确认无尘室噪音是否有达到设计要求。

三、测试仪器专业噪音仪四、测试位置每40m2取1点为量测点，另针对业主要求局部增加测试点数。

五、测试步骤：a.无尘室所有空调设备及公用设备均为运转状态。

b.确认测试点及配置图编号。

c.将照度仪固定置于距离地板上1.2m高度，高度量测10秒后记录最大值。

洁净室检测之气流流向检测一、测试目的平行度测量的目的，是观察在工作区域里面气流的运动模式，同时也可以观察仪器设备对气流的影响。

平行度测量应该在气流的风速与均匀度都测试完毕且通过之后进行，过早进行可能得不到正确的数据。

二、测试方法一般而言平行度的测量，是由肉眼观察所决定。

使用的工具包括烟雾、水雾、 PFA 、和轻质棉线。

烟雾或水雾的共同优点是只要粒子够小，烟雾可随风飘扬，可正确的反映气流运动模式。

但是其共同问题是滞空性不足，观测时间太短。