量偏差在规定的范围内，测量偏差大于标准偏差的4倍，即∣X1-XVP∣>4S（X1为标样测量资料的均值，XVP为标样公称值，S为标准偏差）。
范 围
XULM X-Ray测厚仪。
校准用
基准物质
0.104µm、5.2µm薄片，1.85µm、5.30µm、11.4µm、23.1µmFe/Ni标准片及纯元素片。
环境条件
温度：10～40℃，湿度：0～95%。在操作过程中保持环境温度和湿度恒定。
校正步骤
1)校正前确保仪器预热30分钟（在子程序“光谱”连续测量半小时，按停止按钮中止测量）。
2)选择菜单“校正”以打开“校正”应用窗口。指令窗口出现操作指示,依次为：纯元素片Ni、Fe，标准片Ni/Fe 0.104、Ni/Fe 1.85、Ni/Fe 5.30、Ni/Fe 11.40。
3)放好标准片后开始测量，测量结束，读数显示在测量数据区。
4)校正结束时，“校正结果”窗口出现，选择“确定”确认校正结束。“测量”应用窗口重新出现。仪器回到测量状态。
5)校正完成后，连续测量任意标准片5～10次，计算均值和标准偏差，当∣X1-XVP∣<4S 时则判定仪器可正常使用；否则需重新调校，校正无效时联系仪器供应商。
相关记录
《测厚仪校准记录表》