A、开启总电源和启动掣
B、开启显影一、二，循环水洗一、二、三、四 C、开启过滤泵、摇摆、强风吹干、热风吹干、照明、加热 掣等 D、开启“输送掣”，按要求调节速度于2.0-3.5m/min
E、待温度到达后，开始生产
F、生产中检查显影段的药水压力是否正常 G、关机时，依次将所有启动掣关闭，最后关闭总电源
4.2 操作条件 曝光能量： 300-1000mj/cm2
曝光指数：
真空度： 环境温度： 湿度： 尘粒：
30-160
650mmhg 18-22C 45%-65% 0.5m以下尘粒少于100K
曝光机温度： 15-20C
红菲林GII： 使用次数不超过600次
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5、冲板（显影Development） 5.1 基本操作
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5、冲板（显影）
冲板是指利用1%的碱性碳酸钠溶液与未曝光部分的绿
油发生化学反应，从而使绿油被冲洗掉的过程。经显影
后，通过UV机使绿油进一步硬化，以增加绿油的硬度。
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6、印字（ Component Mark）
采用丝印方法，依照客户要求在元件面（Component Side）
印上一些标记符号，以利于元件的安装及辨认。
铜面不受蚀刻液攻击而电镀的保护层。在蚀刻完成之后
需用褪锡药水将之除去，剩下所需之裸铜面，以便进行 后工序的制作。
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2、磨板
本工序磨板过程是采用机械方法，利用大山灰对板
的高速冲击作用，以及高压水洗、超音波水洗，达
到粗化表面及清洁的目的，增加绿油的附着力。
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3、涂布 涂布是指采用廉涂方式（Curtain coating）在板面上印
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六、Solder Mask发展展望 绿油工序的Handling过多，人为因素对产品品质有较 大影响，因此对绿油工序的品质控制，应从人为因素与 技 术角度两方面同时进行。 制作小孔和细绿油桥，是Solder Mask工艺的一项重要
技术指标，因此我们将努力提高制作小孔（0.3mm以下)及
细绿油桥(3.5mil以下)的能力。
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7.3 参数控制
温度控制：80-160C
（低于130 C为低温范围，高于130 C为高温范围） 速度控制：0.06-0.20m/min
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五、常见缺陷与预防 1、冲板不干净
缺陷 原 因
2、绿油不平均厚
预
3、甩绿油
防
涂布后低温时间太长或温度过高
控制低温焗板时间与温度 依规定控制Hold time 按WI操作 用光度计测菲林GII的挡光性需4.5D
磨痕宽度：
15秒
9-15mm
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3、涂布（Curtain coating） 3.1 开机操作
A、开启电源
B、开启电脑显示屏，屏幕显示“C：\”时输入“Win”，进 入 控制画面 C、按F2键,使Mode：“auto”，Start：“run”；heating： “ON” D、将调好的油墨全倒入已洗好的油槽中 E、按下油泵正转开启按钮，启动油泵
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四、基本操作与参数控制 1、褪锡 1.1 开机与关机程序 A、开启主电源掣 B、电源选择置于“选择” C、按启动掣于“ON”状态 D、依次将所有操作掣置于“ON”状态
E、关机时，按启动掣于“OFF”位置
F、电源选择置于“O” G、关上电源掣
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1.2 制程参数 项目 控制范围 控制方式
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3.4 制程参数 油温： 帘宽： 18-24C 0.4-0.6mm
油泵速度： 50-350RPM 皮带速度： 65-100HZ 粘度DIN4#：7510秒
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湿重：
90-130g/m2
Step Cycle： 10-15秒
干燥段温度（偏差±5C）： 1区 第一段： 50 2区 50 3区 70 4区 85 5区 90 6区 75
第二段： 50
55
75
90
95
80
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4、曝光（ORC HMW-680GW手动曝光机） 4.1基本操作 A、开主电源，主操作屏开启 B、按系统启动，启动手动操作 C、按启动上下灯，退回目录 D、启动自动操作
E、按“抽真空”掣，“框架运输”掣，进行生产曝光
F、关闭时，按系统关闭，关主电源
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B、按需要将相关按钮旋至“MAN”
C、关机时，将按钮旋至“O” D、按“GENERAL STOP”
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2.3 制程参数 磨板速度： 火山灰含量： 高压水洗压力： 2.0-2.4m/min 15-25 vol % 40-70bar
超声波水洗温度：30-40C 烘干温度： 70-90C
水破实验：
高度进行调整
O、试印OK，即可进行生产 P、关机时，依次松开丝印网、胶刮、关闭电源即可
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6.2 宇宙焗炉操作 A、按下“电热”，附加“电热等按钮，使焗炉完全进入工作 状态 B、设定工作时间
C、当工作时间完成，蜂鸣器发出蜂鸣，工作人员须关掉“电 热”
按钮
D、焗完板后把门打开，冷却
E、把板取出后需将门关好 F、关机时，将焗炉控制箱上的电源掣关上 G、将墙上的主电源掣关闭
1.
曝光后到显影停留时间过长 曝光能量过高 曝光菲林GII挡光性较差 显影液的温度太低
冲
板 不
干
净
浓度太低
压力太低 速度太快
控制药水温度、浓度、压 力和输送速度在WI范围内
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缺陷
原
因
预
防
2. 绿 油
油幕厚度不均匀
调节刀口宽度：
控制搅油时间，使油搅拌均匀 充分搅拌，并依规定静置20分钟再使用； 防止外界杂物混入油中； 油缸中油墨高度
3.2、湿重测量 A、将皮带出板段玻璃窗撑起 B、右旋控制匙，使涂布段处于测试状态，测试按钮亮 C、将一块25cm40cm（S=0.1m2)测试板放在电子秤上，按下其 归零键
D、将测试板横放在Center段中央，按下测试按钮
E、在皮带出板段，用手将板托起，同时用手遮挡一下出板端 Sensor
F、调节刀口宽度在0.4-0.6mm位置 绿油培训教材
G、松开涂布头装置固定螺母，此时溢流槽升降柄处于水平 位置 H、推入涂布头于皮带间，锁紧固定螺母，将溢流槽升降柄 上提，使溢流槽处于最低位置 I、将粘度计开关置于“ON”，设定粘度控制值 J、将稀释剂流量开关置于“1-4”格 K、开启油墨搅拌器
撰写人：潘观平
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目
一、工艺流程简介 二、工艺原理 三、特殊环境要求
录
四、基本操作及参数控制
五、常见缺陷与预防
六、Solder Mask发展展望
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一、工艺流程简介 1、绿油（Solder Mask）简介 为了防止蚀刻后之裸铜面，免受外在环境中湿气及化学品 的侵害，以及非焊接区域内的布线区会造成沾锡短路，故 在板面涂布上一层绿漆，从而起到彻底保护线路及防焊的 作用。
F、将测试板放置于电子秤上，其显示值乘以10倍即为油温重
G、 若湿重不符，则通过调整泵速与皮带速度，重新进行测量， 达到要求为止
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3.3 关机程序
A、按下F2键，使Heating显示“OFF”
B、待温度值在其设定值偏下10C时，按“ALT+X”，退出
控制画面
C、关闭显示屏电源
注：当油槽中有油墨时，不允许关掉设备电源及油泵正转控制按钮
绿油的印制方法有丝印和涂布两种，本文所描述的制作过
程及参数控制，都是针对涂布（Curtain Coating ）线而言。
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2、工艺流程简图（Flow chart） 褪锡 （1） 磨板
（塞孔）
涂布 （3）
曝光 （4）
冲板 （5）
（2）
塞孔 （8）
喷锡
后焗 （7）
印字 （8）
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二、工艺原理 1、褪锡 锡是作为一种蚀刻阻剂（Etch resist），以保护所需之
前塞孔和喷锡后塞孔，需依客户要求进行。
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三、特殊环境要求 位置 绿油仓 温度要求 16-25C 湿度要求 45%-65% 洁净度要求 无
绿油涂布房
绿油曝光房
18-22 C
18-22 C
45%-65%
45%-65%
无
0.5m尘粒少于100K
白字丝印房
18-22 C
45%-65%
无
不
平 均 绿油气泡
加油时应沿油缸壁慢慢倒入； 定期用PMA循环管路，达到清洁目的
厚
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缺 陷
原
因
预
防
依WI规定，测试磨痕宽度
3. 甩 绿 油 磨板效果不好 及水破实验，同时控制烘 干温度及磨板速度；
曝光能量不足；
按WI控制好曝光指数：
后焗温度不够或喷锡参数不 控制好高温焗板时间和温度 当 控制喷锡温度及速度
E、关机时，依次关灯，关输送，关主电源
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6、白字与塞孔（丝印机） 6.1 丝印机操作 A、检查各过滤器，放掉过滤杯中水 B、检查机器传动部分润滑及各限位开关位置设定 C、开启机器后面主压缩气开关 D、开启主电源开关 E、拉起安全保护罩，放入网框，并拧紧支撑架固定网框螺丝
F、调整网框于合适的丝印工作区，锁紧导轨固定钉
G、调节丝印头左右移动限位开头 H、用手动模式，按操作网框起/落开关放下网框
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I、 校正支撑架上螺至合适位置，并锁紧，使网框高度处 于一合适位置 J、 对网：调节工作台X、Y向旋钮 K、调节刮刀高度和复墨速度 L、 调整丝印头限位开关并锁紧 M、试印 N、检查到位置不合适或不过油现象，立即对刮刀角度、