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（二）防静电装备（用品）
1、防静电地坪 防静电工作区地面应具有静电耗散性能所以又叫防静电地坪。种 类有橡胶（塑）、PVC 地板块、环氧树脂、高架活动地板（铝制、钢 质、木质等）和水泥类等。防静电地坪主要作用是耗散人体和防静电 装备的静电。地面一般设置接地网络，并和防静电接地系统相连接。 静电泄漏电阻小于1×108欧。 2、防静电工作服 防静电工作服采用导电纤维和棉等混纺制成，也有用渗碳或导电 合成纤维布制作。当与其它物体摩擦时，产生的静电通过导电纤维与 人体的接触泄露或通过导电纤维间的电晕放电耗散，从而防止服装的 静电积累。
配备各种防静电设备和器材、能限制静电电位，具有确定边界 和专门标记的适于从事静电防护操作的场所叫防静电工作区。
凡是操作或生产静电放电敏感电子产品（元器件）的场所，都 应视为防静电工作区。在该区域内不论是硬件还是软件管理都应符 合防静电系统构成的要求。同时在工作区内任一指定空间所允行的 对大地（接地）的静电电位值不超过± 100伏（A级），或者不超过 ±1000伏（B级）。
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3、防静电鞋（导电鞋）
该鞋鞋底是用加入导电材料的合成橡胶（橡塑）制成，用以将 ESDS器件操作人员所带静电荷泄露大地，防止人体静电积极累。
国家标准GB4368-95《防静电胶底鞋，导电胶鞋安全技术条件》
规定的防静电鞋鞋底电阻值为1×105～1×109欧，导电鞋电阻不大
于1× 105 欧。防静电鞋和导电鞋在使用方面区别是，防静电鞋可
（一）硬件部份 1、人体静电防护用品：防静电工作服、防静电鞋（鞋束）、 手腕带、手套（指套）、帽子、袜子。 2、防静电物流传递用品：防静电包装（盒、箱、托盘等）、 充填材料（泡沫塑料、发泡材料）、运转车、周转器具、存放柜 （架）、传输带等。
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3、防静电地坪：地坪可以是多种类型，像PVC 地板砖，高 架防静电活动地板、环氧树脂类、橡胶（塑）地面、水泥类等。
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5、防护指套
操作ESDS的器件的人所使用的指套，是用加入抗静电剂 的乳胶制成，用以预防ESDS器件因不等电位造成损失。指套 的表面和体积电阻应低于1× 109 欧。
6、防静电袜子 防静电袜子是在袜底材料中植入导电丝制备而成，用来实 现人体和导电鞋的电气接触。袜底电阻不应大于 1× 108欧。 7、工作帽 制作帽子材料和工作服一样，不仅用于防静电，而且具有 防止操作人员头部尘埃，毛发掉落 ESDS 器件的防尘作用。
其表面电阻率应小于1010欧，1000V~100V的衰减时间小于2S。
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9、运转车、存放柜（架）、传输带 运转车和存放柜（架）结构为金属架。台面为静电耗散材 料制备并和金属架有良好的电气连接。小车车轮和存放柜（架） 支脚用导电橡胶制作。传输带采用防静电橡胶制作，并和接地 装置连接。这些装备用于静电耗散和泄漏。对地电阻应小于 1? 109欧。 10、工作台、工作椅 工作台面用静电耗散材料制备并和工作台接地线相连，台 面摩擦产生静电可从接地线泄漏。工作椅表面为静电耗散材料。 椅的结构为金属，脚轮为防静电脚轮和大地形成静电泄漏通路。 其静电泄漏电阻小于1×108欧。
以用于有电气设备的环境中，能预防 220伏电压对人体的电击，而
导电鞋则不能用于有触电危险的环境中。
在穿用过程中，鞋底部不得沾有任何绝缘物，并且禁止穿用绝
缘性袜子。
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4、防静电腕带和脚带 操作ESDS器件的人都应使用防静电腕带或脚带，腕带和 脚带的作用是防止人体双脚离地时与地绝缘，迅速将人体静 电荷泄露到大地。 一般的防静电腕带由带扣、带子和接地连接线组成。带子、 带扣和接地连接线具有良好的电气接触。为了保证操作人员 安全，通常在腕带的连接线上串有一只 1兆欧电阻，以限制人 体触电时流过的电流不大于5毫安。 使用腕带时，要保证腕带和人手腕、接地连接线和地线良 好的接触。脚带和防静电鞋的作用相同故不作介绍了。
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在使用防静电工作服时应注以下几点： 一般不使用非防静电织物作衬里。必须使用时，所用衬里不得 超过总衬里面积的20% 。操作人员在防静电工作区时不得穿脱服装。 整件服装一般不得使用任何金属附件。必须使用时应不直接外 露到服装表面，以免金属放电。 防静电工作服结构应为“三紧式”而且耐磨性较好不起尘。 穿用工作服时必须与防静电鞋配套使用，并每隔一年按国家标 准对其进行复检，当带电量超过规定值时，则不得继续使用。 纯棉服装在相对湿度低于40% 环境中，不适于作防静电工作服。
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（二）软件部分 1、培训大纲与人员培训； 2、防静电工艺和设计文件； 3、有关防静电专业标准； 4、规章制度和操作规程； 5、完整质量保证体系（包括检查和试验）； 6、各种防静电警示标志； 7、贮存和运输要求。
5Hale Waihona Puke 第2节 防静电装备（产品）与防静电工作区
（一）防静电工作区 Electrostatic Discharge Protected Area （EPA ）定义
第三篇 电子生产使用环境中的防静电系统构成
第1节 防静电系统的构成 第2节 防静电装备（产品）与防静电工作区 第3节 防静电接地及与其它常用几种接地关系
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第1节 防静电系统的构成
微电子生产与使用环境中的防静电系统大体分为硬件部分和 软件管理部分，在实际工作中忽略任何一个方面或者是一个环节， 都有可能导致静电防护的失败或效果不显著。
4、防静电操作系统：工作台、工作椅、工具类（电烙铁、 吸锡器、分路棒、维修工具、ESD防护夹具）等。
5、防静电接地：防静电独立接地系统或其它几种接地共用 系统。
6、环境控制系统：温度和湿度控制设备、环境洁净度控制 系统。
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7、专用生产装联设备：采取防静电措施的生产装联设备。 8、特殊防静电用具（品）： 各类静电消除器（离子风静 电消除器、静电消除刷等）、防静电剂（喷剂、腊、胶等）。 这类用品配置或使用并不是必需的，根据实际需要来确定。 9、静电测量（监控）系统： 静电电压（量）表、高阻测 试仪、静电衰减时间测试仪、静电屏蔽性能测试仪、接地电 阻测试仪等配套的测试用具和各种电极。
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8、防静电包装（袋、周转箱、托盘、盒、泡沫充填物、发泡 材料）
防静电包装种类繁多，其大多是用防静电改性的高分子静电耗 散材料制作，像聚乙烯（PE ）、ABS、玻璃钢、聚丙烯（PP）等。
静电敏感器件的存放、运输必须使用防静电包装。防静电包装 对ESDS 器件提供等电位保护，并对 ESDS器件绝缘表面的静电起泄 漏和耗散作用。静电屏蔽包装材料对静电感应提供屏蔽以保护 ESDS器件。包装材料的使用应无腐蚀性和毒性并防尘。