（工艺流程）太阳能工艺流程苏州阿特斯阳光电力科技有限公司年产太阳能电池片200MW建设项目环境影响报告书简本一、项目简况项目名称：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司年产太阳能电池片200MW建设项目建设单位：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司建设规模：年产太阳能电池片200MW建设性质：外商独资扩建建设地点：江苏省苏州高新区鹿山路199号厂区二期厂房预留车间内（一楼）投资总额9980万美元占地面积：总占地66660m2（本项目车间5000m2），总绿化面积19205m2（不变）二、现有项目情况1、现有建设项目主体工程及产品方案现有建设项目主体工程及产品方案*现有一期项目申报并通过审批的100MW/a太阳能电池组件组装项目目前尚未建设、生产，并将取消该项目，今后也不再建设、生产；2、现有项目公用配套工程现有项目公用配套工程一览表3、现有（一期）项目生产工艺流程简述及产污环节（1）一期项目工艺流程现有项目生产工艺流程图（一期项目）一期项目主要工序流程简述：1.硅片腐蚀(制绒)、清洗:P型单晶硅薄片，经碱腐蚀清洗烘干，制绒主要是使用碱性溶液腐蚀硅表面形成绒面。
清洗主要是处理制绒后的硅片表面，使其净化，用氢氟酸清洗残留的碱性物质，接着用盐酸去除表面残留的物质，最后再用纯水清洗。
此过程有废气产生，废气中含有HCl、HF、H2；此工序还有碱性废水、酸性废水产生，碱性废水中主要含有氢氧化钠，酸性废水中主要含盐酸、氢氟酸；另外在碱腐蚀过程还会有碱性废液产生，其中含有较高浓度的异丙醇。
碱腐蚀的反应方程式为：2NaOH+Si+H2O=NaSiO3+2H22.硅片扩散：硅片扩散也称磷扩散，是在氧气存在的条件下，磷源分解在硅中扩散而形成P-N结，POCl3为电子级纯度，在过程中所起作用是为扩散提供磷源，各反应化学式如下：5POCl3=3PCl5+P2O52P2O5+O2+6Si=4P+6SiO24PCl5+5O2=2P2O5+10Cl24POCl3+3O2=2P2O5+6Cl2因而硅片扩散工序,有废气产生，该废气成分有P2O5、Cl2等。
3.刻蚀：主要是去除边缘的N型硅，此工序为干法刻蚀，主要是利用四氟化碳和硅以及氧气的反应来去除边缘硅，其化学反应式为：CF4+Si+O2=SiF4↑+CO2↑因而此工序有未反应完全的四氟化碳和反应生成的四氟化硅气体逸出。
4.去硅玻璃（PSG）：主要是用氢氟酸腐蚀硅片表面的氧化层，即清除硅片表面的SiO2层，反应生成为微量的SiF4和[H2SiF6]2-少量的络合物，其一起进入酸性废水处理。
因而此工序会有少量的氢氟酸和四氟化硅挥发。
5.加减反射膜：利用硅烷、氨气之间的反应在硅片表面形成一层加减反射膜，N2不发生反应，作为保护气体，此工序会有少量的氨气和硅烷挥发。
6.丝网印刷(即在硅片上印刷铝浆、银浆、银铝浆)：使用浆料印刷电极，使之形成良好接触,收集电流。
主要是使用银浆，铝浆，银铝浆，一般由金属粉末和有机溶剂以及固体树脂构成，经过烧结后有机溶剂和固体树脂都被挥发，剩余金属与硅形成合金层。
7．烧结烧结工序主要是将印刷好银浆、铝浆、银铝浆的电极放入烧结炉中，使浆料中的水分、树脂及某些有机物挥发出来。
烧结自然冷却后即为成品单晶硅太阳能电池片。
（2）二期扩建项目工艺流程1.硅片腐蚀(制绒)、清洗：二期扩建项目使用原材料为P型多晶硅薄片，使用碱腐蚀已无法满足产品质量需求，因此本扩建项目使用铬酸腐蚀硅表面形成绒面（使用浓度约在1.25%）。
清洗主要是处理制绒后的硅片表面，使其净化，用氢氟酸清洗残留的碱性物质，接着用盐酸去除表面残留的物质，最后再用纯水清洗。
此过程有废气产生，废气中含有铬酸雾、HCl、HF、H2；此工序还有含铬废水、含氟废水、酸性废水产生，同时产生一定的废液，其中含有较高浓度的异丙醇。
2.硅片扩散：硅片扩散也称磷扩散，是在氧气存在的条件下，磷源分解在硅中扩散而形成P-N结，POCl3为电子级纯度，在过程中所起作用是为扩散提供磷源，各反应化学式如下：5POCl3=3PCl5+P2O52P2O5+O2+6Si=4P+6SiO24PCl5+5O2=2P2O5+10Cl24POCl3+3O2=2P2O5+6Cl2因而硅片扩散工序,有废气产生，该废气成分有P2O5、Cl2等。
3.刻蚀：主要是去除边缘的N型硅，此工序为干法刻蚀，主要是利用四氟化碳和硅以及氧气的反应来去除边缘硅，其化学反应式为：CF4+Si+O2=SiF4↑+CO2↑因而此工序有未反应完全的四氟化碳和反应生成的四氟化硅气体逸出。
4.去硅玻璃（PSG）：主要是用氢氟酸腐蚀硅片表面的氧化层，即清除硅片表面的SiO2层，反应生成为为微量的SiF4和[H2SiF6]2-少量的络合物，其一起进入酸性废水处理。
因而此工序会有少量的氢氟酸和四氟化硅挥发。
5.加减反射膜：利用硅烷、氨气之间的反应在硅片表面形成一层加减反射膜，N2不发生反应，作为保护气体，此工序会有少量的氨气和硅烷挥发。
6.丝网印刷(即在硅片上印刷铝浆、银浆、银铝浆)：使用浆料印刷电极，使之形成良好接触,收集电流。
主要是使用银浆，铝浆，银铝浆，一般由金属粉末和有机溶剂以及固体树脂构成，经过烧结后有机溶剂和固体树脂都被挥发，剩余金属与硅形成合金层。
7．烧结烧结工序主要是将印刷好银浆、铝浆、银铝浆的电极放入烧结炉中，使浆料中的水分、树脂及某些有机物挥发出来。
烧结自然冷却后即为成品单晶硅太阳能电池片。
4、现有项目污染物排放“三本帐”现有项目污染物“三本帐”一览表（一期+二期）*氟化物、异丙醇由于在一期项目“三同时”验收时未检出，因此按照检出限的一半计算其排放量；5、现有项目环保验收情况1、现有苏州阿特斯阳光电力科技有限公司年产太阳能电池片100MW、太阳能电池组建100MW新建项目（一期项目）已于2008年通过苏州市环保局环保“三同时”竣工验收（见苏环验【2008】184号）。
2、苏州阿特斯阳光电力科技有限公司年产太阳能电池片100MW二期扩建项目目前正在进行试生产。
根据企业介绍及现场勘查情况，目前该项目各项环保治理措施已全部到位，现已委托进行验收监测。
3、在该试生产期间，建设单位中水回用水量达到60t/h，已满足环评批复（苏环建【2008】415号）要求的60%中水回用率。
4、现有一期项目在后续生产过程中将4条无铬生产线中的1条改变至有铬生产线，在后续的二期扩建过程中已将6条有铬生产线中的1条改变至无铬生产线，建设单位从而已满足环保主管部门环评批复对建设单位生产线设置要求。
6、现有项目主要存在的环保问题a.未按照《江苏省排污口设置及规范整治管理办法》（苏环控【1997】122号）的规定规范排污口标志牌；b.需进一步完善事故应急预案和应急措施；三、本项目工程分析1、本项目主体工程及产品方案建设项目（技改、扩建项目）主体工程及产品方案2、本项目公用配套工程本项目公用配套工程一览表3、本项目生产工艺流程及简述（1）含铬多晶硅生产工艺流程题，具体如下：1.硅片腐蚀(制绒)、清洗：本项目使用原材料为P（硅片类型）型多晶硅薄片，使用硝酸、氢氟酸、盐酸的混合酸（按一定比例配比）腐蚀硅表面形成绒面。
喷淋清洗处理制绒后的硅片表面，使其净化；然后再用氢氧化钾（浓度65%）腐蚀并喷淋清洗，接着用氢氟酸、盐酸的混合酸（按一定比例配比）去除表面残留的物质，最后再用纯水喷淋清洗。
此过程有废气产生，废气中含有氮氧化物、硫酸雾、HCl、HF、H2；此工序还有含N废水、含氟废水、酸性废水产生，同时产生一定的废液。
经以上清洗后进行空气干燥。
2.硅片扩散：硅片扩散也称磷扩散，是在氧气存在的条件下，磷源分解在硅中扩散而形成P-N结，POCl3为电子级纯度，在过程中所起作用是为扩散提供磷源，各反应化学式如下：5POCl3=3PCl5+P2O52P2O5+O2+6Si=4P+6SiO24PCl5+5O2=2P2O5+10Cl24POCl3+3O2=2P2O5+6Cl2因而硅片扩散工序,有废气产生，该废气成分有P2O5、Cl2等。
3.去硅玻璃：本工艺分为三段腐蚀，先用硝酸、氢氟酸、硫酸的混合酸（按一定比例配比）腐蚀硅片表面的氧化层，再用纯水喷淋清洗，再用氢氧化钾（浓度45%）腐蚀后纯水喷淋清洗，最后用氢氟酸、硫酸的混合酸（按一定比例配比）腐蚀后纯水喷淋清洗，以上工序为清除硅片表面的SiO2层，反应生成为为微量的SiF4和[H2SiF6]2-少量的络合物，以上清洗废水分别进入含N废水处理设施处理及酸碱废水处理设施处理。
因而此工序会有少量的氮氧化物、硫酸雾、HCl、HF和四氟化硅挥发。
5.加减反射膜：利用硅烷、氨气之间的反应在硅片表面形成一层加减反射膜，N2不发生反应，作为保护气体，此工序会有少量的氨气和硅烷挥发。
6.丝网印刷(即在硅片上印刷铝浆、银浆、银铝浆)：使用浆料印刷电极，使之形成良好接触,收集电流。
主要是使用银浆，铝浆，银铝浆，一般由金属粉末和有机溶剂以及固体树脂构成，经过烧结后有机溶剂和固体树脂都被挥发，剩余金属与硅形成合金层。
7．烧结烧结工序主要是将印刷好银浆、铝浆、银铝浆的电极放入烧结炉中，使浆料中的水分、树脂及某些有机物挥发出来。
烧结自然冷却后即为成品单晶硅太阳能电池片。
4、资源及能源消耗本项目原辅材料及能源5、主要生产设备、公用及贮运设备本项目主要设备表6、污染源强及污染物排放量分析（1）本项目的废气产生情况本项目废气产生情况一览表本项目废气产生排放情况一览表注：车间有机废气未收集排放量以5%计；化学品原料仓库挥发量按万分之一计；（2）本项目的废谁产生情况本项目废水产生情况一览表(t/a)废水总排口排放指标表(t/a)（3）固废本项目固体废弃物产生情况一览表t/a危险废物委托有资质单位进行回收处理，一般工业废物由专门单位回收处理，生活垃圾则委托新区环境卫生管理部门妥善处理。
（4）噪音本项目主要噪声源源强表为降低噪声污染，公司将通过选用低噪声设备，采取一系列噪声污染控制措施等方式来降低噪音。
如为高噪声设备配置隔声罩，厂界墙体、绿化隔音，厂界噪声能够达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准要求。
7、本项目实施后污染物“三本帐”本项目实施后污染物“三本帐”*氟化物、异丙醇由于在一期项目“三同时”验收时未检出，因此按照检出限的一半计算其排放量；废水“以新带老”消减量中各污染物浓度在一期项目验收监测数据基础上核算；8、环保措施投资环保措施投资清单9、本项目环保“三同时”检查本项目环保“三同时”检查一览表（试行）四、结论1、产业政策相符性苏州阿特斯阳光电力科技有限公司是投资在苏州高新区内的外商独资企业主要从事研发、生产太阳能绿色电池及相关产品、太阳能电池片等新型光电子器件及元器件专用硅材料，并从事太阳能电站的建设，销售自产产品，并提供相关技术、咨询和销售服务。