电感耦合等离子体质谱仪工作原理详解
电感耦合等离子体质谱仪是一种常用的质谱仪产品，主要由等离子体发生器、雾化室、矩管、四极质谱仪和一个快速通道电子倍增管等部件组成，在多个行业中都有一定的应用。

电感耦合等离子体质谱仪工作原理是什么呢?下面小编就来具体介绍一下，希望可以帮助到大家。

电感耦合等离子体质谱仪工作原理工作原理是根据被测元素通过一定形式进入高频等离子体中，在高温下电离成离子，产生的离子经过离子光学透镜聚焦后进人四极杆质谱分析器按照荷质比分离，既可以按照荷质比进行半定量分析，也可以按照特定荷质比的离子数目进行定量分析。

该类型质谱仪主要由离子源、质量分析器和检测器三部分组成，还配有数据处理系统、真空系统、供电控制系统等。

样品从引入到得到最终结果的流程如下：样品通常以液态形式以1mL/min的速率泵入雾化器，用大约1L/min的氩气将样品转变成细颗粒的气溶胶。

气溶胶中细颗粒的雾滴仅
占样品的1%～2%，通过雾室后，大颗粒的雾滴成为废液被排出。

从雾室出口出来的细颗粒气溶胶通过样品喷射管被传输到等离子体炬中。

ICP-MS中等离
子体炬的作用与ICP-AES中的作用有所不同。

在铜线圈中输入高频(RF)电流产
生强的磁场，同时在同心行英管(炬管)沿炬管切线方向输入流速大约为15L/min 的气体(一般为氩气)，磁场与气体的相互作用形成等离子体。

当使用高电压电火花产生电子源时，这些电子就像种子一样会形成气体电离的效应，在炬管的开口端形成一个温度非常高(大约10000K)的等离子体放电。

但是，ICP-MS与
ICP-AES的相似之处也仅此而已。

在ICP-AES中，炬管通常是垂直放置的，等
离子体激发基态原了的电了至较高能级，当较高能级的电子落回基态时，就会发射出某一待测元素的特定波长的光子。

在ICP-MS中，等离子体炬管都是水
平放置的，用于产生带正电荷的离子，而不是光子。

实际上，ICP-MS分析中。