EDS能谱检测
能谱的特点
•能快速、同时对各种试样的微区内Be-U的所有元素， 元素定性、定量分析，几分钟即可完成。
•对试样与探测器的几何位置要求低，可以在低倍率下 获得X射线扫描、面分布结果。
•能谱所需探针电流小：对电子束照射后易损伤的试样， 例如生物试样、快离子导体试样、玻璃等损伤小。
•检测限一般为0.1%－0.5%，中等原子序数的无重叠峰 主元素的定量相误差约为2%。
EDS的分析方法的特点
实际操作中要根据试样特点及分析
3
目的合理选择分析方法。
定点分析灵敏度最高，面扫描分析灵敏
2
度最低，但观察元素分布最直观。
1
点、线、面分析方法用途不同，检测灵敏度也
不同
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EDS的分析方法－线扫描分析
电子束沿一条分 析线进行扫描时， 能获得元素含量 变化的线分布曲 线。结果和试样 形貌像对照分析， 能直观地获得元 素在不同相或区 域内的分布。
EDS的分析方法－面分布
电子束在试样表面 扫描时，元素在试 样表面的分布能在 屏幕上以亮度（或 彩色）分布显示出 来（定性分析）， 亮度越亮，说明元 素含量越高。研究 材料中杂质、相的 分布和元素偏析常 用此方法。面分布 常常与形貌对照分 析。
KA=CA/C(A)×(ZAF)A/(ZAF)(A) (ZAF)A和(ZAF)(A)分别为试样和标样的修正系数
EDS定量分析原理
ZAF定量修正
ZAF定量修正方AF定量分析程序。 Z：原子序数修正因子。（电子束散射与Z有关） A：吸收修正因子。（试样对X射线的吸收） F：荧光修正因子。（特征X射线产生二次荧光）
半定量分析
无标样定量分析
无标样定量分析是X射线显微分析的一种快 速定量方法。强度比K＝IS/IStd。 表达式中IStd是标样强度，它是由纯物理计 算，或用标样数据库给定的，适应于不同 的实验条件。其计算精度不如有标样定量 分析。
EDS的分析方法－点分析
电子束（探针）固 定在试样感兴趣的 点上，进行定性或 定量分析。该方法 准确度高，用于显 微结构的成份分析， 对低含量元素定量 的试样，只能用点 分析。
定性分析
能谱定性分析原理
X射线的能量为E＝hγ h为普朗克常数，γ为光子振动频率。 不同元素发出的特征X射线具有不同频率， 即具有不同能量，只要检测不同光子的能量 （频率γ）, 即可确定元素－定性分析。
定量分析
分析方法
1.有标样定量分析：在相同条件下，同时测量 标样和试样中各元素的X射线强度，通过强度 比，再经过修正后可求出各元素的百分含量。 有标样分析准确度高。
2. 无标样定量分析：标样X射线强度是通过 理论计算或者数据库进行定量计算。
EDS定量分析原理
试样中A元素特征X射线的强度IA与试样中A元素的含量 成比例，所以只要在相同条件下，测出试样中A元素 的X射线强度IA与标样中A元素的X射线强度I(A)比，近 似等于浓度比：
KA=IA/I(A)～CA/C(A) 当试样与标样的元素及含量相近时，上式基本成立， 一般情况下必须进行修正才能获得试样中元素的浓度。