注：本PPT后续介绍的内容皆以Honeywell（13/19系列）不锈钢压力传感器为 例进行介绍。

扩散硅压阻式压力传感器内部结构图 • 扩散硅压阻式压力传感器内部结构图如下：
扩散硅压阻式压力传感器压力类型
• 扩散硅压阻式压力传感器压力类型：
普通表压 Gage(G) 密封表压 Sealed(S) 真空表压 Vacuum Gage(V) 差压 Differential(D) 绝压 Absolute(A)
爆破压力 2500 5000 10000 10000 10000
扩散硅压阻式压力传感器技术指标
扩散硅压阻式压力传感器技术指标：
供电：L型典型值为1.5mA，最大值为2mA K型典型值为10V ，最大值为15V
零位输出：典型值0mV，输出范围±2mV 满度输出：典型值100mV，输出范围98mV～102mV 非线性： ±0.1% 迟滞： ±0.015% 重复性：0.01% 响应时间：0.1mS 寿命：最少100万次循环 补偿温度范围：0～82℃
扩散硅压阻式压力传感器压力类型介绍Ⅰ
• 普通表压 Gage(G) • 真空表压 Vacuum Gage(V)
普通表压和真空表压的测量参考点皆为当地 大气压，不同的是普通表压只能测量高于大气压 的压力（正压），而真空表压既能测量高于大气 压的压力（正压），亦能测量低于大气压的压力 （负压）。其测量原理如右图所示：
扩散硅压阻式压力传感器选型
✓ 测量多大的压力？ ✓ 测量的压力形式？ （G、S、V、D、A） ✓ 介质是什么？(气体/液体/蒸汽) ✓ 精度要求？ ✓ 工作温度范围? ✓ 供电方式？ （K/L） ✓ 如何和电子系统相连 ？ (什么样的输出) ✓ 结构形式？
扩散硅压阻式压力传感器压力单位
各种压力单位之间的换算：
扩散硅压阻式压力传感器指标介绍
非线性
Vo
在期望压力范围 传感器输出曲线与一 拟合直线的偏差。
用满量程的 %表示
Actual Best fit line
P
• 迟滞：在同一试验点当被测量值增加和减少时输出中出现
的最大差值为迟滞。
• 重复性：在所有下述条件（相同测量方法、相同观测者、
相同测量仪器、相同地点、相同使用条件和在短时期内的 重复）下对同一被测量进行多次连续测量所得结果之间的 符合程度为重复性。
150 300 600 900 1200
爆破压力 15 25 50 75 150 250 500
1000 1500 2400
扩散硅压阻式压力传感器量程Ⅱ
13系列不锈钢传感器（单位：PSI）
额定量程 0-500 0-1000 0-2000 0-3000 0-5000
最大工作压力 1500 3000 6000 9000 10000
• 响应时间：在0psi到FSS压力变化中，从10%上升到90%
所用的时间。
• 相应频率：响应时间的倒数。
扩散硅压阻式压力传感器量程Ⅰ
19系列不锈钢传感器（单位：PSI）
额定量程 0-3 0-5 0-10 0-15 0-30 0-50
0-100 0-200 0-300 0-500
最大工作压力 9 15 30 45 90
扩散硅压阻式压力传感器压力类型介绍Ⅳ
• 绝压 Absolute(A)
密封表压的测量参考点为真空，即绝压传感器 的背压腔为真空。其测量原理如右图所示：
优点：同真空表压一样可以测量负压，但绝压传感 器不需要外接导气管，使用方便。并且绝压 传感器的输出信号为单极性，处理相对容易。
缺点：小量程绝压传感器受大气压影响较大。
Atm（标准大气压） = 101.325kPa 1MPa = 1000kPa 1kPa = 1000Pa
1psi = 6.8946kPa ≈ 7kPa 1bar = 100kPa 1mH2O = 9.80665kPa ≈ 10kPa 1in.H2O = 248.22Pa ≈ 250Pa 1mmHg = 133.322Pa 1kg / cm2 = 98.0665kPa ≈ 100kPa
淄博飞雁先行测控技术有限公司
扩散硅压阻式压力传感器介绍
扩散硅压阻式压力传感器工作原理
• 扩散硅压阻式压力传感器工作原理：
被测介质的压力直接作用于传感器 的不锈钢膜片上，使膜片产生与介质压 力成正比的微位移，从而使传感器的电 桥电阻值发生变化，利用电子线路检测 这一变化，并转换输出一个对应于这一 压力的标准电压信号。
会对传感器的输出产生一定的影响。
扩散硅压阻式压力传感器压力类型介绍Ⅲ
• 差压 Differential(D)
差压是测量两个压力的差值，此类传感器有两个 引压腔，通常被称为正压腔（高压腔）和负压腔（低 压腔），当负压腔通大气时，其功能同表压传感器。 其测量原理如右图所示：
优点：可以允许较高的共模压力。 缺点：使用及维护稍复杂。
优点：不受大气压的影响，测量准确。 缺点：需要外接导气管，对环境要求较高，另外
真空表压传感器的输出信号为双极性，所以信号处理较复杂。
扩散硅压阻式压力传感器压力类型介绍Ⅱ
• 密封表压 Sealed(S)
密封表压的测量参考点为背压腔里的密封标准 大气压。其测量原理如右图所示：
优点：不需要外接导气管，使用方便。 缺点：当标定地点和使用地点的大气压差别较大时，