21% 大气中的氧气浓度
19.5%
人类正常生活所需要的最低氧气浓度极限 (OSHA)
15-19.5%
工作能力下降，冠状动脉，肺部和循环系统出现先期症状
12-14%
呼吸，脉搏加快，无任何先兆的失去知觉，并失去自我救护 的
能力.
5
氧气缺乏
10-12%
呼吸，脉搏进一步加快，丧失判断能力，嘴唇发紫
8-10% 无意识，呕吐
危险化学品安全培训
九类危险品
腐蚀品
CORROSIVE
8
氧化剂
OXIDIZING AGENT
5.1
有机过氧化物
POERRGOAXNIIDCE
5.2
爆炸品 EXPLOSIVE
1
有毒气体
TOXIC GAS
2
不燃气体
NON-FLAMMABLE GAS
2
遇湿易燃物品
DANGEROUS WHEN WET
4
易燃气体
Time Weighted Average (TWA) – 工人每天8 小时，每周40小时，无任何防护措施的情 况下允许的最高接触浓度.
Threshold Limit Value (TLV)- ACGIH（美国政 府工业卫生学家会议） 建议的最高接触浓 度
Permissible Exposure Limit (PEL) – OSHA （职业安全与健康标准）建议的最高接触 浓度
低温液体
低温液体危险 性
低温 蒸气扩散
低温液体能引 起冻伤(不可逆 转的组织坏死)
低温气体的其他危险
低温可能会引起周围物品的损伤危 险
危险包括
过冷 过大的体积膨胀 雾
31
低温引起ห้องสมุดไป่ตู้破裂
低温引起的破裂
气瓶操作
气瓶操作设备 单(双)瓶运输车
气瓶操作设备
多瓶运输车
不正确的操作方式
绝对不要通过 旋转来移动气 瓶
橡胶防护服 橡胶手套 面具(防毒) SCBA(自呼吸面罩)
危险防护 腐蚀性危险的防护
提供排风系统 正确操作气瓶 采用相容的原材料 降低含水量 适当的个人防护设备
低温气体
低温液体
在常压下沸点低于-240oF(-151oC)
例如
液氧 液氩 液氮 液氢 液氦
(-183 oC) (-186 oC) (-196 oC) (-253 oC) (-269 oC)
--防爆柜体 --工艺面板（提供气体吹扫，
抽真空，减压，置换等功 能） --PLC控制系统（高压，高流 量，气源监测，毒气报警， 温度监测，中央控制等） --安全储存和输送特种气体 --必须专人按照特定步骤进 行操作和维护
41
高纯特种气体输送—气瓶架
---一般性气体可使用气瓶架(即面板)装置进行减压和更换操作 如：N2,CF4,SF6,Ar,etc.
FLAMMABL GEAS
2
危不可险燃 分 类
Good Examples:
N2 Ar He
Bad Examples:
HCl NF3 Cl2
不可燃气体危险性
窒息性—— 取代肺中 的氧气.
压强—— 单位面积所 承受的压力
能量—— 气体在状态 转变过程中产生的能 量
氧气缺乏
氧气被其他气提所取代:
7
压力
8
危险分类
可燃性 例如
H2 SiH4 DCS NH3
可燃气体
与不可燃气体相同的危险性
压力 窒息
可燃性 爆炸可能性 例如
H2,SiH4
10
燃烧过后的不锈钢气瓶
11
危险防护
可燃性气体的危险防护
保证空气的流动，配备排风 正确的钢瓶操作流程 使用防爆设备 避免任何火化产生的可能
6-8% 8 分钟死亡率100%，6分钟死亡率50%，4-5分钟尚可恢复
4% 40秒钟内昏迷，抽搐，停止呼吸，直至死亡
6
氧气缺乏的急救措施
“我可以尽量摒住呼吸，冲进缺氧区 域，把伤员救出来．
错误: 不可以 !!!!!!!
50%这样做的人因此而丧命. 绝对不要不带呼吸器(SCBA)就冲进缺
氧区域.
危险防护 有毒气体危险防护
提供排风系统 正确操作气瓶 毒气监测系统 适当的个人装备 培训
危腐蚀性险 分
低腐蚀性
HF NH3
高腐蚀性
HCl DCS(SiH2CL2)
类
腐蚀性 摧毁人的生理组织(DCS) 腐蚀设备(DCS HCL NH3)
25
腐蚀性气体
被腐蚀的瓶口阀
个人防护设备
操作腐蚀性气体 所应配备的个人 防护设备
含氧过高的衣服是极为危险的
与引燃点隔离 用新鲜空气吹扫30分钟 更换衣服
17
过高含氧量
18
过高含氧量
19
危险分类
有毒气体
例如
COCl2(光气,俗 称芥子气)
PH3
有毒气体
毒性：对身体有害 中毒途径
吸入
通常途径
吸收
通过皮肤
吞食
不常见
注射
通过伤口
专业术语
21
有毒气体 到底有多毒??
本项目使用气体
本项目使用的气体分类
---易燃易爆气体 SiH4(自燃性），H2，CH4，GECH4，TMB
---毒性气体 PH3，TMB ， GECH4
------惰性气体 N2，Ar，CO2 etc.
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特气的工艺流程
工艺流程： 由钢瓶
气柜
VDB
VMB
机台
钢瓶
气柜
VDB
VMB
Tools
高纯特种气体输送—气瓶柜
---易燃易爆毒性气体使用气瓶柜装置进行减压和钢瓶储存更换 如：SiH4， CH4，GECH4，TMBetc.
---使用气柜的目的在于安全操作和保证气体使用的纯度 ---气瓶柜的操作人员需专业培训，使用时应配备专业的安全保护装备
40
高纯特种气体输送—气瓶柜
---使用气瓶架目的在于方便气体的更换和置换
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高纯特种气体输送—VMB
---危险性气体阀门 和控制装置均应 安装在密闭单独 抽风的装置内
---VMB(Valve Manifold Boxes) 含义是气体阀门 分配箱
---VMB需要单独的 抽风系统
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高纯特种气体输送—管道系统
---输送系统所有管道管件阀门等部件均应采用高纯度SS316L EP 电抛光 系统
---管道系统非常洁净，易于清洗和吹扫，不会对气体造成二次污染 ---管道的连接采用自动轨道氩氛焊接，并经过专业的检测和测试（如氦
危险分类
氧化性 例如:
O2 NOx(如N2O)
危险性
氧化危险性
助燃 高反应性 过高含氧量
燃烧三角形
燃料
氧化
引燃物 15
氧化物
引燃点
冲击 静电 高速冲撞 其他引燃物
过高含氧量
含氧量等于或高于23.5% 燃烧特性发生改变
可燃范围增大 自燃温度下降
通常不会燃烧的物质在高氧环境会燃烧 通常会燃烧的物质在高氧环境会极易燃烧，且燃烧速度极快