压电式加速度传感器
及其应用
压电式加速度传感器及其应用
压电式加速度传感器原理
压电式加速度传感器又称压电加速度计。

它也属于惯性式传感器。

它是利用某些物质如石英晶体的压电效应，在加速度计受振时，质量块加在压电元件上的力也随之变化。

当被测振动频率远低于加速度计的固有频率时，则力的变化与被测加速度成正比。

由于压电式传感器的输出电信号是微弱的电荷，而且传感器本身有很大内
阻，故输出能量甚微，这给后接电路带来一定困难。

为此，通常把传感器信号
先输到高输入阻抗的前置放大器。

经过阻抗变换以后，方可用于一般的放大、
检测电路将信号输给指示仪表或记录器。

常用的压电式加速度计的结构形式如图所示，是由预压弹簧，质量块，基座，压电元件和外壳组成。

图中为环形剪切型，结构简单，能做成极小型、高共振频率的加速度计，环形质量块粘到装在中心支柱上的环形压电元件上。

由于粘结剂会随温度增高而变软，因此最高工作温度受到限制。

、压电式加速度传感器构成元件
三、压电式加速度传感器幅频特性
限频率取决于幅频曲线中的共振频率图（图1）。

一般小阻尼（z<=0.1）的加速度计，上限频率若取为共振频率的1/3,便可保证幅值误差低于1dB （即12%）; 若取为共振频率的1/5,则可保证幅值误差小于0.5dB （即6%）,相移小于
30。

但共振频率与加速度计的固定状况有关，加速度计出厂时给出的幅频曲线是在刚性连接的固定情况下得到的。

实际使用的固定方法往往难于达到刚性连接，因而共振频率和使用上限频率都会有所下降。

四、压电式加速度传感器的灵敏度
压电式加速度计的灵敏度压电加速度计属发电型传感器，可把它看成电压
源或电荷源，故灵敏度有电压灵敏度和电荷灵敏度两种表示方法。

前者是加速度计输出电压（mV）与所承受加速度之比；后者是加速度计输出电荷与所承受加速度之比。

加速度单位为m/s2，但在振动测量中往往用标准重力加速度g作单位，1g= 9.80665m/s 2对给定的压电材料而言，灵敏度随质量块的增大或压电元件的增多而增大。

一般来说，加速度计尺寸越大，其固有频率越低。

因此选用加速度计时应当权衡灵敏度和结构尺寸、附加质量的影响和频率响应特性之间的利弊。

压电晶体加速度计的横向灵敏度表示它对横向振动的敏感程度，横向灵敏度常以主灵敏度（即加速度计的电压灵敏度或电荷灵敏度）的百分比表示。

一般在壳体上用小红点标出最小横向灵敏度方向，一个优良的加速度计的横向灵敏度应小于主灵敏度的3%。

因此，压电式加速度计在测试时具有明显的方向性。

五、压电式加速度传感器误差形成因素分析
压电加速度计的前置放大器压电元件受力后产生的电荷量极其微弱，这电荷使压电元件边界和接在边界上的导体充电到电压U=q/Ca （这里Ca是加速度
计的内电容）。

要测定这样微弱的电荷（或电压）的关键是防止导线、测量电路和加速度计本身的电荷泄漏。

换句话讲，压电加速度计所用的前置放大器应具有极高的输入阻抗，把泄漏减少到测量准确度所要求的限度以内，压电式传感器的前置放大器有：电压放大器和电荷放大器。

所用电压放大器就是高输入阻抗的比例放大器。

其电路比较简单，但输出受连接电缆对地电容的影响，适用于一般振动测量。

电荷放大器以电容作负反馈，使用中基本不受电缆电容的
影响。

在电荷放大器中，通常用高质量的元、器件，输入阻抗高，但价格也比较贵。

从压电式传感器的力学模型看，它具有低通”特性，原可测量极低频的振动。

但实际上由于低频尤其小振幅振动时，加速度值小，传感器的灵敏度有限，因此输出的信号将很微弱，信噪比很低；另外电荷的泄漏，积分电路的漂
移（用于测振动速度和位移）、器件的噪声都是不可避免的，所以实际低频端也出现截止频率”约为0.1〜1Hz左右。

六、压电式加速度传感器的实际应用
目前最新IBM Thinkpad手提电脑里就内置了加速度传感器，能够动态的监测出笔记本在使用中的振动，并根据这些振动数据，系统会智能的选择关闭硬盘还是让其继续运行，这样可以最大程度的保护由于振动，比如颠簸的工作环境，或者不小心摔了电脑做造成的硬盘损害，最大程度的保护里面的数据。

另外一个用处就是目前用的数码相机和摄像机里，也有加速度传感器，用来检测拍摄时候的手部的振动，并根据这些振动，自动调节相机的聚焦。

概括起来，加速度传感器可应用在控制，手柄振动和摇晃，仪器仪表，汽车制动启动检测，地震检测，报警系统，玩具，结构物、环境监视，工程测振、地质勘探、铁路、桥梁、大坝的振动测试与分析；鼠标，高层建筑结构动态特性和安全保卫振动侦察上。