在扫描探针显微镜方面
扫描探针显微镜(SPM)以原子尺度来考察 固体材料表面的实空间三维结构。利用 SPM对固体表面上原子进行操作和移植的 纳米加工技术是当前国际上纳米科技的重 要方面之一,对高密度信息存储、纳米电子 器件、量子阱器件、新型材料的组成和物 种再造等方面将会产生非常重要的影响。 利用纳米级的线性三自由度XYZ工作台用 于探测分子和原子的特征。
哈 尔 滨 工 业 大 学 博 实 精 密 测 控 有 限 责 任公 司 __________________________________________________________________________________________
纳米级微定位系统
纳米级微定位系统（Nanopositioning）是指系统的 运动位移在在几微米和几百微米的范围内，其分辨 率、定位精度和重复定位精度在纳米级的范围内，该 系统可以是单自由度和多自由度，该系统的特性反映 出与传统的位移机构有很大的不同，其传动副是弹性 平板（elastic plate）和柔性铰链（Flexure links）。结构的主要特点：结构紧凑、体积小、无 机械摩擦、无间隙的传动导向机构。将微定位技术中 的弹性平板和柔性铰链运动副应用机器人传动机构， 再加上机器人控制技术，机器人传感技术和机器人视 觉组成微驱动和微操作机器人系统。这一技术拓展机 器人的应用范围。同时其技术涉及到精密机械、机器 人、计算机、自动控制、精密测量等多学科领域。
哈 尔 滨 工 业 大 学 博 实 精 密 测 控 有 限 责 任公 司 __________________________________________________________________________________________
微驱动技术发展及应用
哈尔滨工业大学博实精密测控有限责任公司 2002年8月
哈 尔 滨 工 业 大 学 博 实 精 密 测 控 有 限 责 任公 司 __________________________________________________________________________________________
微型机械制造、超精密加工
哈 尔 滨 工 业 大 学 博 实 精 密 测 控 有 限 责 任公 司 __________________________________________________________________________________________
光学微处理系统
光学微操作微加工技术是本世纪90年代发展起来 的一种新的“机械加工”方法，光学微处理系统主 要部件是光学微机械手（光镊和光刀）。它不同 于传统的机械加工方法，它对微小“工件”（生物 细胞、细胞器及其它微小粒子）的夹持、操作和 微加工都是用光来实现的，是没有任何机械接触 的“机械加工”。光镊和光阱都能深入到物体（如 细胞）的内部去操控和加工细胞器等内部结构组 分，而无需切开物体，显然这种微处理技术对物 体的干扰和破坏要比通常的方法小的多，在传统 微机械难以胜任的微米量级粒子的处理方面，光 学微处理技术恰能运作自如，成为不可或缺的一 项独立的技术。
在集成电路பைடு நூலகம்造方面
在大规模集成电路制造中,印刷电路板上的 布线密度越来越高,而且印刷电路板上线路 的修复、线路连接质量和表面质量的评 估、材料性能的检测等许多工序都需要高 精度的机器化设备来完成.纳米级微驱动机 器人系统可以用作X曝光机等设备中的超精 密定位装置及高精度微进给装置。
哈 尔 滨 工 业 大 学 博 实 精 密 测 控 有 限 责 任公 司 __________________________________________________________________________________________
在医疗科学方面
医疗机器人与计算机辅助医疗外科技术是近几年在多学科交 叉领域中兴起，并越来越受到关注的机器人应用前沿研究课 题之一。其中显微外科手术由于病人失血少、伤口愈合快, 同 时也可降低病人恢复所需的费用，是未来外科手术的发展方 问。目前主要靠少数有多年临床经验的专家在显微镜下人工 完成。采用带有传感器的微动机器人系统完成微外科手术， 可大大减轻医生负担,缩短手术时间，提高成功率，从而具有 广泛的应用前景。显微外科手术主要包括脑外科显微手术、 神经外科手术、囊肿摘除、心血管搭桥等微细作业手术。为 了完成精细的动作，各种机器人显微外科手术系统的研究， 倍受关注。目前国际上已研制出能够缝合人体静脉血管和疏 通眼球视网膜静脉堵塞的微操作机器人。可以预见，这种操 作精密、对人体伤害小、不会对病人造成痛苦的微操作机器 人将会得到广泛的应用。
微机械零件的操作和装配
现代的机电产品的微型化带来了深刻的技术革 命，精密零件的组装面临着新的挑战。传统的手 工装配方法对操作者的技术、劳动强度都有很高 的要求，而且工作效率很低，操作工人的培养往 往需要较长的时间。微操作机器人系统采用专门 设计的工具、定位装置、照明装置和便于操作者 操作的遥控作业系统可以方便地完成上述作业， 并大大提高生产效率。 同时，随着LIGA加工技 术的发展，能够加工出更精细和复杂的部件，但 再要求对各部件进行装配时，只有微操作机器人 系统才能胜任。
在集成电路制造方面
检测电路板刻线的宽度和深度
哈 尔 滨 工 业 大 学 博 实 精 密 测 控 有 限 责 任公 司 __________________________________________________________________________________________
光纤对接方面
随着网络和数字通讯市场的发展，光纤作为现代 信息高速公路中的信息传输媒介将得到越来越多 的应用，使光纤耦合器和波导的需要激增。这种 高技术的产品的体积仅十几立方厘米，但价格昂 贵，原因是光纤对接校准的困难：必须借助一种 特殊的精微校准平台（精度达0.1µm），这种精 密校准平台事实上就是一套微操作机器人系统， 光纤的对接由左右微操作手协调完成，使光纤和 器件之间达到最佳耦合功率位置,并自动补偿这一 过程的任何误差。不仅取代了人工操作而且降低 了返修率,缩短生产周期。目前这种平台供不应 求，前景看好。
生物工程方面
随着生物工程的发展,要求能随意捕捉和释放单一游 离细胞，或向细胞内注入和拾取某一成分，同时还 能测定和记录细胞生物电参数。游离细胞捕捉仪就 是为此目的而研制的，对只有几微米的细胞来说， 关键动作是接近细胞时的精细微调，要求分辩率达 几十纳米，微驱动机器人具有高定位精度和精细操 作能力，适于完成上述操作。用微驱动机器人完成 细胞级的操作，不仅可提高效率，而且还可以打破 只有少数人可为的局面,真正实现生物的工程化。
哈 尔 滨 工 业 大 学 博 实 精 密 测 控 有 限 责 任公 司 __________________________________________________________________________________________
在医疗科学方面
哈 尔 滨 工 业 大 学 博 实 精 密 测 控 有 限 责 任公 司 __________________________________________________________________________________________
光纤对接方面
哈 尔 滨 工 业 大 学 博 实 精 密 测 控 有 限 责 任公 司 __________________________________________________________________________________________
光纤对接方面
哈 尔 滨 工 业 大 学 博 实 精 密 测 控 有 限 责 任公 司 __________________________________________________________________________________________
哈 尔 滨 工 业 大 学 博 实 精 密 测 控 有 限 责 任公 司 __________________________________________________________________________________________
光纤对接方面
哈 尔 滨 工 业 大 学 博 实 精 密 测 控 有 限 责 任公 司 __________________________________________________________________________________________
哈 尔 滨 工 业 大 学 博 实 精 密 测 控 有 限 责 任公 司 __________________________________________________________________________________________
生物工程方面
哈 尔 滨 工 业 大 学 博 实 精 密 测 控 有 限 责 任公 司 __________________________________________________________________________________________
哈 尔 滨 工 业 大 学 博 实 精 密 测 控 有 限 责 任公 司 __________________________________________________________________________________________
在扫描探针显微镜方面
哈 尔 滨 工 业 大 学 博 实 精 密 测 控 有 限 责 任公 司 __________________________________________________________________________________________
哈 尔 滨 工 业 大 学 博 实 精 密 测 控 有 限 责 任公 司 __________________________________________________________________________________________