霍尔压力传感器
霍尔压力传感器
霍尔压力传感器由弹性元件,磁系统和霍尔元件等部分组成,如图29 所示。
在图29 中,(a)的弹性元件为膜盒,(b)为弹簧片,(c)为波纹管。
磁系统最好用能构成均匀梯度磁场的复合系统,如图29 中的(a)、(b),也可采用单一磁体,如(c)。
加上压力后,使磁系统和霍尔元件间产生相对位移,改变作用到霍尔元件上的磁场,从而改变它的输出电压VH。
由事先校准的p~f(VH)曲线即可得到被测压力p 的值。
图29 几种霍尔压力传感器的构成原理
霍尔应力检测装置。