4）自动计算测量时间
5）精确定位扫描区域
6）能够实时显示一维，二维，三维表面形貌
7）自动控制工作台移动
8）自动测量任意两点距离
7，三维数据分析处理软件：
1）自动调平功能
2）创建任意区域的2D曲线图或2D等高线分布图
3）创建任意区域的3D图像
4）计算一维线粗糙度参数（Ra,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,Rq,Rsk,Rku），二维面粗糙度（Sa,Sp,Sq,Sv,Sz,Ssk,Sku），平整度，波纹度，长度，宽度，角度，深度，面积，体积
1）XY方向单次扫描范围：不小于150*150mm，一次扫描完成，无需进行图像拼接。
2）XY方向最小扫描步长：不大于0.1μm
3)扫描速度：不下雨20mm/s
4)载重：不小于10Kg
5) Z方向允许样品的最大高度：不小于150mm
3.2大范围光学测量探头技术参数：
1)Z方向测量范围：不小于3mm
2) Z方向测量分辨率：不小于50nm
与PXI、PXI Express、CompactPCI和CompactPCI Express模块兼容
带240V英式电源线和PXI 8槽便携式箱体
2.工业级便携式PXI LCD显示器和键盘附件
配备不低于1024 x 768屏幕分辨率的15英寸LCD触摸屏显示器
可拆卸式英语键盘和触控板
通过PXI机箱上的机架式安装孔,安装该附件
直流或交流耦合灵活选择
至少24位分辨率ADC具有114 dB动态范围
采样率高达至少204.8 kS/s的16路同步采样模拟输入
软件可配置的4 mA IEPE和TEDS用于麦克风和加速度计
单个机箱科实现全带宽最高272个通道
配备至少8路BNC输入插座至4X InfiniBand连接电缆
1
2.多功能自动化测试系统
1
多功能自动化测试系统
1.8槽高带宽机箱
至少4个混合插槽, 3个PXI Express插槽, 1个PXI Express系统定时插槽
0°C到55°C的温度下,总功率达507 W
高性能-每插槽高达1 GB/s的专用带宽和7 GB/s的系统带宽
提供牢固且便携式的显示器与键盘、坚固装运箱和其它附件
适合与有关的工厂或用户进行安装
VGA视频连接
触摸屏可调整倾斜度
触摸屏与Windows Vista/XP/2000/NT操作系统兼容
适用于8槽PXI和PXI Express机箱
带Disport转VGA线缆
3.高性能控制器
不低于2.3 GHz四核处理器(单核Turbo Boost模式下最大3.3 GHz)
高带宽PXI Express嵌入式控制器，具有高达8 GB/s系统带宽和2 GB/s插槽带宽
标准配置为4 GB (1 x 4 GB DIMM)双通道1,600 MHz DDR3 RAM,最大为16 GB
至少2个SuperSpeed USB端口、4个高速USB端口、2个千兆以太网端口、GPIB、串口和其他外设
至少4路32位计数器/定时器,针对PWM、编码器、频率、事件计数……
使用STC3技术的模拟与数字触发和高级定时
支持Windows 7/Vista/XP/2000操作系统
配备接线盒和2m电缆各两个
5.多功能电流采集卡
60 VDC无间断的组隔离,可承受至少5 s的1,400 Vrms/1,950 VDC通道至总线间隔离
In-ROM内存和硬盘诊断
已安装Windows操作系统和驱动;基于硬盘的恢复
4.多功能数据采集卡
至少32路模拟输入通道, 2 MS/s (单通道), 1 MS/s (多通道); 16位分辨率,±10 V
至少4路模拟输出, 2.86 MS/s, 16位分辨率,±10 V
至少48条数字I/O线(其中32条为10 MHz硬件定时线)
9，安装培训：
厂商负责安装，调试及免费技术培训
10，质保期与售后服务：
1）质保期：12个月，自仪器验收合格后算起。
2）提供免费终身的技术培训及咨询服务。
3）技术工程师至少每12个月免费上门保养一次。
4）终身为客户免费提供软件升级服务。
5）保修期内，对于因非人为操作失误原因造成的所引起的设备故障和损坏供货方应负责免费维修，保修期外，供货商保证零配件的供应且提供终身维修，收取成本费。
至少2路模拟输出(0mA到20mA),至少16位分辨率,采样率达至少500 kS/s
MCal校准技术提高测量精度
至少2个计数器/定时器, 32位分辨率, 80MHz;数字触发
至少6路数字输入和4路数字输出, 24 V源极电压
驱动软件和交互式数据记录软件
配备连接器和1m电缆各一个
6.动态信号分析仪
探测电压范围10 V到2.2 µV（2种增益灵活设置）
5）自动校准功能
6）测量功率谱密度
7）显示数据分布直方图
8）数据分层统计
9）多种格式的图像与数据输出。
8,图象处理分析系统
图象处理分析硬件：品牌商用台式机（性能不低于酷睿双核I5/1T/4G/DVD刻录/23’’LCD显示器分辨率不低于1080*1920）、商用彩色喷墨打印机(墨仓式墨盒、A4幅面，打印分辨率5760×1440dpi，扫描光学分辨率不低于1200×2400dpi)。
进口设备参数公示
1.三维表面形貌仪
序号
名称
技术要求
数量
1
三维表面形貌仪
1，主要组成部分：需包含三维表面形貌仪主机，防震台，光学测量探头，控制器，光学传感器，计算机，三维数据采集软件，三维数据分析处理软件，样品夹具，标准样品等。
2，该设备需要至少具有以下基本功能：
1）采用白光共聚焦技术，可测量大尺寸平面，曲面，球面，异形面等高坡度样品的一维，二维，三维表面微观形貌。
2）测量大尺寸样品表面，无需进行图像拼接。
3）测量样品上任意测量点的三维坐标。
4）测量透明，半透明，低反射率（黑色样品），抛光样品表面形貌。
5）测量一维、二维表面粗糙度、平整度、波纹度、台阶高度、孔洞深度、长度等，宽度面积与体等参数。
6）测量透明薄膜任意测量点的厚度。
3，主要技术参数：
3.1测试工作台技术参数：
3）横向光学分辨率：不小于2.6μm
4)工作距离：不小于16.4mm
5)最大测量坡度：不小于85°
3.3另配单独试件宏观形貌图像采集装置，性能不低于5D Mark III（24-105mm）。
6，数据采集软件：
1）背景噪声计算
2）实时采集每个测量点的三维坐标