测量集成霍尔传感器的灵敏度
我国CS型开关集成霍 尔传感器的滞环宽度典型值 为6×10-3T。 图8-10给出了霍尔开 关集成传感器磁电转换特 性 曲线,横坐标表示作用于霍 尔元件上的正向磁感应强度。
8-10 霍尔开关集成传 感器输出特性
(2)电特性
霍尔开关集成传感器的电特性是指它的输 出电性能,标志它的输出电性能的主要参数有输 出高电平UOH、输出低电平UOL 、负载电流IOL、 输出漏电流IOH、截止电源电流ICCH和导通电源 电流ICCL等参数。
(2)霍尔电极与基片间的非完全欧姆接触而产生的整流效应,使激励电 流中包含有直流分量,通过霍尔元件的不等位电势的作用反映出来。 一般情况下,不等位电势越小,寄生直流电势也越小。
(3)当两个霍尔电极的焊点大小不同时,由于它们的热容量、热耗散等 情况的不同,引起两电极温度不同而产生温差电势,也是寄生直流电 势的一部分。
线性集成霍尔传感器是将霍尔器件、 放大电路、电压调整电路、电流放大输出 级、失调调整和线性度调整部分集成在一 块芯片上,其特点是输出电压随外加磁感 应强度B呈线性变化。霍尔线性集成传感器 分单端输出和双端输出两种,它们的结构 如图8-12(a)、(b)所示。
(a) SL3501T型结构(单端输出)
8.1.4 霍尔器件的材料选择 以N型半导体材料为好.表中给出常见的 材料.
表8-1 霍尔器件常用材料的物理性能
8.2
霍尔集成传感器
8.2.1霍尔开关集成传感器 1.工作原理
图8-9 霍尔开关集成传感器原理框图
(1)霍尔元件:在0.1T磁场作用下,霍尔元件开路时可输出20mV左 右 的霍尔电压,当有负载时输出10mV左右的霍尔电压。
(3)温度特性
霍尔开关集成传感器参数也随温度的变化而变化,在此主要讨 论它的导通磁感应强度B(H→L)、截止磁感应强度B(L→H)和滞 环宽度的温度特性由图8-11(a)可以看出,导通磁感应强度的温度 系数约为(1.5~2)×10-4T/℃,是正温度系数。从B(H→L)与B (L→H)特性曲线的差值中算出滞环宽度的温度系数约为 - 0.2%~-0.3%℃,是负温度系数。
补偿方法:
任意两相邻的 电极之间可视为一个 等效电阻,则霍尔元件 可视为一四臂电桥,要 不等位电势为0,只需 电桥输出为零即可,因 此采用加调零电位器 的方法很好.如图8-7 所示.
4.交流不等位电势与寄生直流电势
在不加外磁场的情况下,霍尔元件使用交流激励时,霍尔电极间 的开路交流电势称为交流不等位电势。在此情况下输出的直流电势称 为寄生直流电势。 产生交流不等位电势的原因与不等位电势相同,而寄生直流电势的产生 则是由于: (1)霍尔电极与基片间的非完全欧姆接触而产生的整流效应。
图8-11(b)给出了CS型霍尔开关集成传感器两个磁特性参数 随电源电压E的变化曲线。从图中可以看出,B(H→L)和B(L→H) 参数在电源电压E<6V时,随电源电压减少而增加,但滞环宽度随电 源电压减小而减小;在电源电压E>8V时,这三个参数基本变化不大。
图8-11 霍尔开关集成传感器温度特性
8.2.2 霍尔线性集成传感器
(b) SL3501M型结构(双端输出)
图8-12 线性集成霍尔传感器的电路结构
8.3
霍尔传感器的应用
由于霍尔传感器具有在静态状态下感受磁场的独特能力,而且它具有结 构简单、体积小、重量轻、频带宽(从直流到微波)、动态特性好和寿命长、 无触点等许多优点,因此在测量技术,自动化技术和信息处理等方面有着广 泛应用。 归纳起来,霍尔传感器有三个方面的用途: (1)当控制电流不变时,使传感器处于非均匀磁场中,则传感器的霍尔电势正 比于磁感应强度,利用这一关系可反映位置、角度或励磁电流的变化。 (2)当控制电流与磁感应强度皆为变量时,传感器的输出与这两者乘积成正比。 在这方面的应用有乘法器、功率计以及除法、倒数、开方等运算器,此外, 也可用于混频、调制、解调等环节中,但由于霍尔元件变换频率低,温度影 响较显著等缺点,在这方面的应用受到一定的限制,这有待于元件的材料、 工艺等方面的改进或电路上的补偿措施。 (3)若保持磁感应强度恒定不变,则利用霍尔电压与控制电流成正比的关系,
寄生直流电势可用图8-8所示电路 测量,经变压器降压后的交流电源供给霍 尔元件的激励电流,直流电位差计UJ-30 的显示灵敏度应大于10-7V。
图8-8 测量寄生直流电势的电路图
5.霍尔电势温度系数α 在一定磁感应强度和激励电流下,温度每变 化1℃时,霍尔电势变化的百分率,称为霍尔电势 温度系数α。 6.霍尔灵敏系数KH 在单位控制电流和单位磁感应强度作用下, 霍尔器件输出端的开路电压,称为霍尔灵敏系数 KH,霍尔灵敏系数KH的单位为V/(A· T)。
(2)差分放大器:放大器将霍尔电压放大,以便驱动后一级整形电路。
(3)整形电路:一般采用施密特触发器,它把经差分放大的电压整形为 矩形脉冲,实现A/D转换。
(4)输出管:由一个或两个三极管组成,采用单管或双管集电极开路输 出,集电极输出的优点是可以跟很多类型的电路直接连接,使用方便。 (5)电源电路:包括稳压电路和恒流电路,设置稳压和恒流电路的目的, 一方面是为了改善霍尔传感器的温度性能,另一方面可以大大提高集 成霍尔传感器工作电源电压的适用范围。
图8-17 研究闭合材料试样磁特性的线路框图
8.3.6非接触式键盘开关
图8-18 用霍尔开关集成传感器构成的按钮
位于磁场中的静止载流导体,当电流I的方向与磁场强度H的方向 垂直时,则在载流导体中平行与H、I的两侧面之间将产生电动势,这 个电动势称为霍尔电势,这种物理现象称为霍尔效应。利用霍尔效应 原理制成的传感器称为霍尔传感器。 霍尔传感器有分立元件式(简称霍尔元件)和集成式(简称霍 尔集成传感器)两种。霍尔元件常用锗、硅、砷化镓、砷化铟及锑化 铟等半导体材料制作而成。霍尔集成传感器是将霍尔器件、放大电路、 电压调整电路、电流放大输出级、失调调整和线性度调整部分集成在 一块芯片上组成的。
可以组成回转器、隔离器和环行器等控制装置。
8.3.1 霍尔位移传感器
图8-13 霍尔位移传感器
8.3.2 霍尔电流变换器
图8-14 霍尔传感器电流变换器
8.3.3 利用霍尔传感器实现无接触式仿型加 工
图8-15 无接触式仿型加工原理示意图
8.3.4 自动供水装置
图8-16 自动供水装置
8.3.5 霍尔元件在磁性材料研究中的应用
5. 简述利用霍尔传感器测量电流、磁感应强度、微位移的原 理。
6. 试举实例说明霍尔传感器的应用。
本章小结
霍尔传感器由于具有结构简单、体积小、重量轻、频带宽(从 直流到微波)、动态特性好和寿命长、无触点等许多优点,因此在测 量技术,自动化技术和信息处理技术等方面有着广泛应用。
思考与练习
1. 试述霍尔效应的定义。 2. 试说明霍尔系数的物理意义。 3. 试述霍尔传感器的主要参数。
4. 试分析霍尔开关集成传感器的组成及各部分的作用。
霍尔器件的灵敏系数
8.1.2霍尔元件和测量电路 1.霍尔元件 霍尔元件的结构如图8-2所示。
图中的矩形薄片状的立方晶体称为基片,在 它的两垂侧面上各装有一对电极,电极1-1用以 加激励电压或流过激励电流,故称为激励电极, 电极2-2作为霍尔电势UH的输出,故称为霍尔电 极,基片的尺寸要求厚度d越薄越好,d越薄,霍 尔元件的灵敏系数 越大,在基片外面用金属或陶 瓷、环氧树脂封装作为外壳。图8-3是霍尔元件 的通用图形符号。
2.霍尔开关集成传感器的特性 (1)磁特性
霍尔开关集成传感器的磁特性是指由高电平翻转为低电平的导通 磁感应强度B(H→L)、由低电平翻转为高电平的截止磁感应强度B (L→H)和磁感应强度的滞环宽度 . 滞环宽度对霍尔开关集成传感器是必需的,因为在导通磁感应 强度B(H→L)附近,如果没有滞环效应或滞环效应很小,那么由于 磁噪声或磁钢振动等原因,会使电路的输出反复开启和关闭,形成类 似于自激振荡现象。为防止这种现象的产生,必须具有一定宽度的滞 环。但如果这种滞环宽度过大,对开关动作也是不利的,因为要求磁 场变化幅度很大,有可能不发生动作而出现漏计现象。
3.不等位电势和不等位电阻
当霍尔元件的激励电流为额定值IN时,若元 件所处位置的磁感应强度为零,则它的霍尔电势 应该为零,但实际不为零,这时测得的空载霍尔 电势称为不等位电势。
产生原因:主要由霍尔电极安装不对称造成的,由 于半导体材料的电阻率不均匀、基片的厚度和宽 度不一致、霍尔电极与基片的接触不良(部分接 触)等原因,即使霍尔电极的装配绝对对称,也 会产生不等位电洛仑兹力大小可表示为 FL= -q0vB 静电场对电子的作用力
UH FE q0 E H q0 b
上式连立:
ICB I CB UH RH KH IC B nq0 d d
式中:
1 RH nq0
RH KH d
霍尔系数(m3/C)
第八章
霍尔传感器
8.1 霍尔效应及霍尔元件 8.2 霍尔集成传感器 8.3 霍尔传感器的应用
8.1 霍尔效应及霍尔元件
8.1 霍尔效应及霍尔元件 8.1.1 霍尔效应 位于磁场中的静止载流导体,当其电 流I的方向与磁场强度H的方向之间有夹角α 时,则在载流导体中平行与H、I的两侧面 之间将产生电动势,这一物理现象称为霍 尔效应。
图8-2 外形结构示意图
图8-3 图形符号
2.霍尔元件的测量电路
(1)基本测量电路
霍尔元件的基本测量 电路如图8-5所示。激励 电流由电压源E供给,其 大小由可变电阻来调节。
8-5基本测量电路
(2)霍尔元件的输出电路
在实际应用中,要根据不同的使用要求采用不同的 连接电路方式。如在直流激励电流情况下,位了获得较大 的霍尔电压,可将几块霍尔元件的输出电压串联,如图86(a)所示。在交流激励电流情况下,几块霍尔元件的输 出可通过变压器接成如图8-6(b)的形式,以增加霍尔 电压或输出功率。