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OGS制程工艺讲解(PPT 42页)
b、首检3次不合格立即开启品质异常单 并跟踪致结果确认正常。
检验仪器图解
达应笔:
1、达应笔介绍:达因笔,又名表面张力测试笔、 电晕处理笔、及塑料薄膜表面张力检测笔。是 薄膜表面电晕度(达因)的测试工具,专门用 于测定薄膜受电晕处理后的效果。 2、使用方法:使表面张力测试笔垂直于玻璃 平面,加上适当的压力,在玻璃表面上画一条线. 应用表面张力测试笔,能够很容易的分析出不 同固体的表面能、亲水性、润湿度等微小变化, 如果第一次测试就收缩成水珠(球状),则换 上数值更小的测试笔进行第二次测试,直到表 面湿为止。这种方法能准确测出基材的表面张 力、表面湿力并判定工作前基材表面因素是否 符合要求以便调整到工作所需。 3图示:如右图:
注:a、IPQC在巡检过程中一旦发现异常立即开启 品质异常单,并跟踪致结果确认正常。
b、首检3次不合格立即开启品质异常单并跟 踪致结果确认正常。
镀膜管控点
镀膜控制机台:
1、主要管控镀膜工艺参数是否与实际设定的 工艺参数相符。IPQC巡检/首检记录主要依据产线 工艺参数点检表与《镀膜工艺参数》相符、一旦发 现实际参数设定与《镀膜工艺参数》不符、立即通 知当站的负责人、及QC组组长。并及时跟踪结果、 直至确认正常。
检验仪器图解
电子数显千分尺:
1、使用方法:以微分套筒的基准线 为基准读取左边固定套筒刻度值,再 以固定套筒基准线读取微分套筒刻度 线上与基准线对齐的刻度,即为微分 套筒刻度值,将固定套筒刻度值与微 分套筒刻度值相加,即为测量值。 2、我司主要应用于产品的厚度测量,
检验仪器图解
塞规:
1、介绍:由一组具有不同厚度级差的薄钢片组成的量规(见图)。 塞尺用于测量间隙尺寸。在检验被测尺寸是否合格时,可以用通此 法判断,也可由检验者根据塞尺与被测表面配合的松紧程度来判断。 塞尺一般用不锈钢制造,最薄的为0.02毫米,最厚的为3毫米。自 0.02~0.1毫米间,各钢片厚度级差为0.01毫米;自0.1~1毫米间, 各钢片的厚度级差一般为0.05毫米;自1毫米以上,钢片的厚度级差 为1毫米。除了公制以外,也有英制的塞尺 2、 定义:塞尺又称测微片或厚薄规,是用于检验间隙的测量器具 之一, 横截面为直角三角形,在斜边上有刻度,利用锐角正弦直接将短 边的长度表示在斜边上,这样就可以直接读出缝的大小了。
检验仪器图解
注:a、IPQC在巡检过程中一旦发现异常立即开启 品质异常单,并跟踪致结果确认正常。
b、首检3次不合格立即开启品质异常单并跟 踪致结果确认正常。
镀膜管控点
镀膜百级作业区:
1、主要管控镀膜百级取放产品的作业手法、以及 产品的分类情况与镀膜后产品的外观效果是否满足 生产要求。一旦发现不符、立即通知当站的负责人、 及QC组组长。并及时跟踪结果、直至确认正常。
b、首检3次不合格立即开启品质异常单并跟 踪致结果确认正常。
黄光管控点
脱模: 1、强碱主要作用将玻璃表面未被曝光的光阻 进行除去的过程。 2、主要控制参数:剥膜传导速度、剥膜液浓 度、 3、主要异常:剥膜不净。光阻回粘、剥膜液 残留。 注:a、IPQC在巡检过程中一旦发现异常立 即开启品质异常单,并跟踪致结果确认正常。
注:a、IPQC在巡检过程中一旦发现异常立即开启 品质异常单,并跟踪致结果确认正常。
b、首检3次不合格立即开启品质异常单并跟 踪致结果确认正常。
黄光管控点
涂布前清洗烘烤: 1、主要烘干玻璃表面残留的水渍,使玻璃表 面洁净度更高从而满足于生产要求
注:a、IPQC在巡检过程中一旦发现异常立即开启 品质异常单,并跟踪致结果确认正常。
b、首检3次不合格立即开启品质异常单并跟 踪致结果确认正常。
黄光管控点
显影后烘烤:
1、使经过显影后的玻璃表面光阻固化,从而使图 行稳定 2、主要控制参数:烘烤温度,烘烤时间、IR烘烤 速度
注:a、IPQC在巡检过程中一旦发现异常立即开启 品质异常单,并跟踪致结果确认正常。
b、首检3次不合格立即开启品质异常单并跟 踪致结果确认正常。
黄光管控点
涂布后烘烤:
1、将光阻中的大部分有机溶剂烘烤,使原本液态 的光阻固化。 2、主要控制的参数:软烤时间、软烤温度、 3、主要异常:玻璃受热不均匀、使光阻局部过烤 或烘烤不足,造成后续显影不净,或显影过显。
注:a、IPQC在巡检过程中一旦发现异常立即开启 品质异常单,并跟踪致结果确认正常。
b、首检3次不合格立即开启品质异常单并跟 踪致结果确认正常。
检验仪器图解
游标卡尺:
1.使用前应将游标卡尺擦干净,然后拉动尺框,沿尺身滑动应灵活、平稳,不 得时紧时松或卡住现象。用紧固螺钉固定尺框身读数不应发生变化。 2.检查零位。轻轻推动尺框,使两测量爪的测量面合拢,检查两测量面接触情 况,不得有明显漏光现象,并且表盘指针指向“0”,同时,检查尺身与尺框是 否在零刻度线对齐。 3.测量时,用手慢慢推动和拉动尺框,使量爪与被测零件表面轻轻接触,然后 轻轻晃动游标卡尺,使其接触良好。使用游标卡尺时因没有测力机构,全凭操 作者手感掌握,不得用力过大,以免影响测量精度。 4.测量外形尺寸时,应先将游表卡尺活动量爪张开,使工件能自由地放入两量 爪之间,然后将固定量爪贴靠在工作表面上,用手移动尺框,使活动量爪紧密贴 在工件表面上。注意:1.测量时工件两端面与量爪不得倾斜。2.测量时,不得使 用量爪间的距离小于工件尺寸,而强制将量爪卡到零件上。 5.测量内径尺寸时,应将两刀口内量爪分开且距离小于被测尺寸,放入被测孔 内后再移动尺框内量爪使其在工件内表面紧密接触,即可以在卡尺进行读数。 注意:游标卡尺测量爪应测在工件两端孔的直径位置处,且不得歪斜。 6.游标卡尺量爪测量面有多种形状。测量时,应根据被测零件的形状正确选用。 如测量长和外形尺寸,则应选用外量爪测量;如测内径,应选用内量爪测量; 如测深度,则应选用深度尺来测量。 7.读数时,带表游标卡尺应水平拿着,使视线正对刻度线表面,然后按读数方 法仔细辩认指示位置,以便读出,以免因视线不正,造成读数误差。
OGS制程工艺讲解
品质部:董伍祥 时间:2014年4月21
1、目录1 ……………… 镀膜原理 2、目录2 ……………… 镀膜管控点及异常 3、目录3 ……………… 黄光工艺流程 4、目录4 ……………… 黄光管控点及异常 5、目录5 ……………… 检验仪器介绍
镀膜原理
镀膜管控点
镀膜前清洗:
1、主要管控镀膜前产品的尺寸、规格是否与制令 工单相符,以及清洗后产品的洁净度是否满足生产 要求。控制监督的要点:清洗液是否要测浓度、清 洗机台的速度、以及烘烤的温度,主要依据《镀膜 前清洗工艺参数》与实际的点检表是否相符。一旦 发现实际参数设定与《镀膜前清洗工艺参数》不符、 立即通知当站的负责人、及QC组组长。并及时跟 踪结果、直至确认正常。
检验仪器图解
FPC拉力测试仪:
1、主要检验热压后产品的FPC的拉力测 试是否满足生产要求。
检验仪器图解
UV能量测试仪:
1、主要应用于UV机能量测试
检验仪器图解
显微镜: 1、主要检验黄光显影后产品的显影效果, 【短路、断路】
检验仪器图解
2D投影测试仪: 1、主要用于IQC来料检验产品的尺寸,
检验仪器图解
检验仪器图解
美工刀、3M600胶带:
1、用于产品附着力测试,主要是在产品上划 百格,拉扯3—5次,所测的产品无脱落现象 则判定OK,反之NG。
检验仪器图解
万用表: 1、用于产品棒阻、导通性测试,以及线路检 测。
检验仪器图解
点规:
1、用于产品外观式。
b、首检3次不合格立即开启品质异常单并跟 踪致结果确认正常。
黄光管控点
显影检验:
1、检查显影图形、检验仪器显微镜, 2、主要检验:显影不净、过显、导致的短路、开 路
注:a、IPQC在巡检过程中一旦发现异常立即开启 品质异常单,并跟踪致结果确认正常。
b、首检3次不合格立即开启品质异常单并跟 踪致结果确认正常。
测温仪: 1、主要用于IR温度测试
检验仪器图解
台面水平测试仪: 1、主要用于曝光台面水平测试。
检验仪器图解
酚酞: 1、主要用于酸碱点滴测试实验
检验仪器图解
环测试仪: 1、主要用于检测无尘车间尘埃粒子测试、有 力于改善环境提供有力的数据。
检验仪器图解
网板张力计: 1、主要用于我司网板来料张力测试检验
黄光管控点
蚀刻:
1、用强酸(盐酸)将玻璃中未受光阻保护的那部 分ITO腐蚀,留下所需要的图形的过程 2、主要控制参数:蚀刻液浓度、蚀刻传导速度、 喷淋压力。 3、主要异常:蚀刻不净、ITO过蚀、以及由涂布 异常而引起的蚀刻异常。
注:a、IPQC在巡检过程中一旦发现异常立即开启 品质异常单,并跟踪致结果确认正常。
塞尺使用前必须先清除塞尺和工件上的污垢与灰尘。使用时可用 一片或数片重叠插入间隙,以稍感拖滞为宜。测量时动作要轻,不 允许硬插。也不允许测量温度较高的零件。
3、使用方法:(1)用干净的布将塞尺测量表面擦拭干净,不能在塞尺沾有油污或金属屑末的情况下进行测量,否则将影 响测量结果的准确性。(2)将塞尺插入被测间隙中,来回拉动塞尺,感到稍有阻力,说明该间隙值接近塞尺上所标出的数 值;如果拉动时阻力过大或过小,则说明该间隙值小于或大于塞尺上所标出的数值。(3)进行间隙的测量和调整时,先选 择符合间隙规定的塞尺插入被测间隙中,然后一边调整,一边拉动塞尺,直到感觉稍有阻力时拧紧锁紧螺母,此时塞尺 所标出的数值即为被测间隙值。
b、首检3次不合格立即开启品质异常单并跟 踪致结果确认正常。
黄光管控点
涂布光胶:
1、在玻璃ITO面均匀的涂布上一层感光物质—— 光阻。(光阻是利用材料光化学反应进行图形转移 的媒体,有正性光阻与负性光阻之分,正性光阻经 过紫外曝光后,被曝光的区域发生光分解,或降解 反应,使性质发生变化优先溶解于正性显影液中, 未被曝光的部分则被保留形成正型图形。负性光阻 的性质正好相反,是未曝光的部分溶解于负性显影 液中。) 2、我司目前采用的是正性光阻,为了能保证图形 的稳定性,所用的光阻必须能抗强酸的腐蚀。 3、主要控制涂布膜厚度一般为1.1—2.3um,膜层 均匀性。 4、主要异常:涂布针孔、涂布箭影