( 三）
1.93E+03 cm3/s
31.25 L/s 100 kPa 60 kPa 1 1.63 s 8.92E-03 kg/h 1.11E-01 1 4 6.22 0.077 6.44 3.57% 所选直径正确 （查图） m/s Pa Pa WG/D ≥360 ＜360
15810.69933 cm3/s
（六）
最终得到的流导C FlowMolecule Circle Hole 10242.19522
1.40E+05 cm3/s 查表数据 FlowTransitional 1.40E+05 FlowViscous 1071989.268
基准摩擦系数F1 基准摩擦系数F2
0.0155 0.071
管径校正系数CD1 管径校正系数CD2
3.5 3.2
温度校正系数CT1 温度校正系数CT2
1.5 1.67
CLP CSP CLP
15810.69933 36307.63673 15810.69933
1.40E+05 1.40E+05 140046.9643
1.93E+03 1.93E+03 1927.5
注：
1 蓝色为需要输入的数据 2 红色为得到的结果 3 有批注的地方需特别注意
6.666 Pa 6.66 Pa 8.314 KJ/(Kmol.K) 7.93E-05 kg/m3 3m 100.00 L 8.92E-03 kg/h L/d 0 0.05 0.1 0.2 0.4 0.6 0.8 1 2 4 6 8 10 20
气体绝热指数k 气体相对分子量M 气体粘度μ 管道内径d 圆孔直径d1 气体流量Wv
a 1 0.965 0.931 0.87 0.769 0.69 0.625 0.572 0.4 0.25 0.182 0.143 0.117 0.0625
真空管压力降△p
1907.207382 7.66E-02
6.663 Pa 53.304 Pa.cm FlowTransitional CLP （四） 抽气速度 泵名义抽速up 泵抽速效率η 泵有效抽速u 管道的流导C 判断 0.99909991 1071989.268 cm3/s 68607313.18 cm3/s 1.93E+03 cm3/s （按圆孔面积） （按管面积） （五） 抽气时间 泵名义抽速up 设备开始抽气的压力P1 经时间t后的抽气压力P2 修正系数K 抽气时间t 压力降计算 气体质量流量WG 10242.19522 cm3/s 0.0625 36307.63673 cm3/s 1.40E+05 cm3/s WG/D 摩擦系数f 管道摩擦系数λ 流体流速u1 真空管每米管道压力降△p 管道末端压力P2 △p/P2 判断 31.25 L/s 0.8 25 L/s 125 L/s 直径初选值正确
(二）
流型判断 管道中平均压力Pm Pm.d 判断 流导计算 a 粘性流动 1 圆直长管 （L>20d） 粘性流动长管流导Cvl 2 圆孔流导 气体压力比X 粘性流动圆孔的流导Cvl 粘性流动圆孔的流导Cvl 3 短管流导 （L<20d） 粘性流动短管流导Cvl b 分子流动 1 圆直长管 （L>20d） 分子流动长管流导Cml 2 圆孔流导 分子流动圆孔流导Cml 3 短管流导 （L<20d） 修正系数a 分子流动短管流导Cml c 过渡流动 过渡流动流导CT
（一）
真空区域的划分 气体温度T 低真空 中真空 高真空 超高真空 10 ～10 Pa 102～1
-5 5 2
293.15 K 1.4 29 1.81E-02 mPa.s 0.08 m 1 cm 112.5 M3/h
管道始端压力P1 管道末端压力P2 气体常数R 气体密度ρ 管道长度L 真空设备容积V 气体质量流量WG