使用EC样品槽或密封样品槽进行液下AFM/电化学AFM测定/液下DFM测定时，因样品槽及各专用Cantilever支架的构造所限，可移动的范围变小了。
上面
从正面看1）
安全开关
是给scanner加高压电（±200V）的ON/OFF开关。取下激光光头部分时，自动断开，以确保更换scanner等作业时的安全。
1.向UP一侧搬倒时，请充分注意不要让试样与Cantilever接触，有时会使试样及Cantilever发生损伤。
2.除紧急情况外，进入测定范围（force area/tunnel area）状态后请不要操作。
Scanner接线处
connector用来供给scanner驱动电压（最大±200V）的。与来自scanner的电缆（插头）相连。
操作激光光头旋钮时，一定要使Cantilever· 试样离开（retract）测定范围（force area/tunnel area）。不离开测定范围就操作，不仅会损伤Cantilever及试样，还会导致故障。
从正上方看到的安装状态1）
激光光头固定螺丝
是用于把激光光头部分固定在工作单元主体部分的螺丝。共有两个。装上激光光头时，一定要同时将其拧紧、固定。
大幅度重新设计Cantilever支架，同时实现了高刚性与使用的便利性。由于采用了触点式接点，进行DFM及STM测定1）时无需进行电缆连接。除此之外，因前面部分具有较大的开放空间，所以在更换试样时不用取下Cantilever支架也可进行。
具有优良隔音性能的防音罩（cover）。在试验室等苛刻的环境中，也能进行高分辨率的测定。
SIG connector
此connector是用于与电气部分之间数据等信号交换connector。根据各配件的连接状况，分别与下表所列connector连接。连接使用专用电缆。
配件
相应的connector
使用MM盘时
MM盘的USIG connector
使用SMM控制器时
SMM控制器的SIG 工作单元 connector
2.从connector上拔下后，请立即插入短路插头。如果不插入短路插头就会损伤激光光头部里的半导体激光。
EC connector
此connector是在进行电化学AFM/电化学STM测定，使EC样品槽（或密封样品槽）中的试样、对比电极及参照电极与EC控制器连接。还一并连接工作单元内的RE放大器（参照电极电位检出用缓冲放大器）。RE放大器的电源也从此处提供。用EC控制器专用电缆连接。
是本公司调整用微调电容器。
因不正确调整会使测定不能正确进行，所以请用户不要调整。
PZT connector
是用于连接SPI3800N电气部分与工作单元内的Scanner粗调机构/微调机构r。用专用电缆与SPI3800N电气部分的PZT connector相连接。
插入PZT connector或从其上拔下时一定要切断系统电源，若在接通状态下则会有触电危险，还会导致系统故障。
偏压线路转换开关
它是给试样加偏压（电压）时输入线路的转换开关。请根据测定方式正确设定。设定错误会导致测定不能正确进行
开关
输入线路
测定方式
WE
13 EC connector
电化学AFM1）
电化学STM1）
BIAS
11 SIG connector
其他方式2）
应该在BIAS侧，却打到了WF侧时······
千分表（X）
为使Cantilever对准试样的位置，使stage沿X方向（工作单元正面看上去的左右方向）移动的千分表。stage的移动量大约为±2.5mm。
操作前一定要离开测定范围（force area/tunnel area）。如果在进入测定范围的状态下操作，有时会损伤试样及Cantilever。
LASER X旋钮
对于cantilever来讲，它是调整激光照射位置的旋钮。转动旋钮，激光光点的位置沿X（左右）方向移动。
LASER Y旋钮
对于cantilever来讲，它是调整激光照射位置的旋钮。转动旋钮，激光光点的位置沿Y（前后）方向移动。
AFM/FFMcantilever支架（AFM支架）
标准附带数量：1
其他（包含通常时）
SPI3800N电气部分的SIG connector
在插入或取下时，请一定要切断系统电源。在接通的状态下插入或取下时，会引起故障。
HEAD connector
此connector用于与激光光头部交换信号。连接来自激光光头部的电缆（插头）
1.插入HEAD connector或从其上拔下时，一定要切断系统的电源，若在接通的状态，会引起故障。
注：1）有时现货略有不同。2）关于激光光头部分在另一项中说明。
Scanner升降开关
用手动控制调动Scanner的开关。只有把开关扳动时才动作。改变UP/DOWN可使Scanner上升或下降。速度为12秒/mm。
UP
试样向接近Cantilever方向移动。
DOWN
试样向远离Cantilever方向移动。
·进行STM测定1）时，
Cantilever与试样加不上偏压，就不会有电流通过。这不仅会使测定不正确，还会损伤试样及Cantilever。
·进行SMM测定1）和KFM测定1）时，
Cantilever与试样加不上偏压，有可能使approach及测定不能正确进行，也会损伤试样和Cantilever。
·进行AFM/同步电流测定时，
正面
从正面看1）2）
显示信号转换开关
切换[2 盘面仪表]中显示的信号种类的开关。可选择的信号有以下3种。
ADD
进入photo detector的全光量的电压
DIF
Cantilever挠曲方向上的差分输出电压
FFM
cantilever扭曲方向上的差分输出电压
盘面仪表
表示[1显示信号转换开关]所选择的信号值（单位:V）。
Cantilever与试样加不上偏压，就不会有电流通过。就不能测定电流。
应该在WE侧，却打到BIAS侧时······
·进行电化学AFM1）/电化学STM测定时，
试样与EC控制器未连接上，所以不能设定试样的电位。就不能进行正确的电化学控制。
注：1）使用自选件。2）AFM，DFM等原理上讲是没有必要给试样加偏压的测定方式，虽然即使是设定在WE侧，也无妨，但还是请尽可能设定在BIAS侧。
使用光学显微镜进行从正上方观察2）。光学显微镜图象被显示在显示器上，因此很容易进行激光光轴的调整及使Cantilever与试样位置相吻合。再有，SPA400工作单元中还新设置了小型光学显微镜。即使在防音罩闭合的状态下也可直接从其正上方观察。此外，还备有适合微分干涉图象测定等的主要用途的金相显微镜。
支持impact stage机能3）。用软件的操作，可以做到移动试样时不碰到工作单元。
使用标准型以外的光学显微镜时，在激光光头取下（如上图所示）的状态下，某些场合有必要使用impact stage机能。
此时用重物放到安全开关上，以便使scanner可以加上电压。控制载物台功能在scanner未被加上电压状态是不能进行的。
另外，光学显微镜也附带有重物。
注：1）有时现货略有不同。
触点式接点
标签是记有用于区别scanner的移动量（扫描范围）的封缄。例如，标准配备
安装好cantilever将其放到桌子等上面时，一定把上图所示的一面（安装cantilever的一侧）朝上放置，如果将此面冲下则会损伤cantilever。
标准配备件：20um型（数量：1）
（上）从上面看到的位置 （下）从正上方看到的位置
上图是标准配备的scanner，其他的scanner除长度与之不同外，其余几乎一样。
它是Cantilever支架与电气连接的接点。只有Cantilever支架固定在工作单元上才可连接。各接点用在下面测定的场合。
接 点
目 的
测定方式
A及B
导入共振信号
DFM/液下DFM
KFM
C
导出测定电流
STM
AFM/同步电流
电化学STM
接点被弄污就不能导通，有可能不能正确进行测量（STM及电化学STM测定中有可能损伤Cantilever）。这种情况下，可用占有少许酒精的棉棒把污物轻轻擦去。
对细节部分进行了重新设计，实现了更加小型化的工作单元。因而提高了耐用性，可稳定地进行高分辨测定。
为了实现更高速度的扫描，新开发了高刚性scanner。它与SPI3800Nprobe station的结合可有效抑制振荡，使高速化测量得以实现。
SPA400除标准装备了适用于从原子级分辨到20um的scanner之外，还可根据需要选用适合不同测量范围的scanner组。其更换的简易性优于SPA300。
从下面（安装到工作单元上后成为下侧部分）看
安装好cantilever将其放到桌子等上面时，一定把上图所示的一面（安装cantilever的一侧）朝上放置，如果将此面向下则会损伤cantilever。
DFMcantilever支下面部分）看到的状况
Code：0903–MHX–003/9911
概要
SPA400是在承袭了深受好评的SPA300优点的同时，以更高的分辨率、更好的可操作性、更快的扫描速度为目标而开发出的SPM 工作单元。成为SPI系列核心的多功能型标准工作单元，它具有下列特长。
对应多种测定方式。除AFM、FFM及DFM等标准功能外，采用装入不同配件的方法，可实现STM等多种SPM的测定。承袭了SPA300 [可简单进行各测定方式间的转换]的优点。
背面
从背面看1）2）
千分表（micrometer）（Y）
为使Cantilever对准试样位置，可使stage沿Y方向（工作单元正面看去的前后方向）移动的千分表。stage的移动量大约为±2.5mm。