3.光切法
双管显微镜测量表面粗糙度，可用作Ry与Rz参数评定，测量范围~50
4.干涉法
利用光波干涉原理(见平晶、激光测长技术)将被测表面的形状误差以干涉条纹图形显示出来，并利用放大倍数高（可达500倍）的显微镜将这些干涉条纹的微观部分放大后进行测量，以得出被测。应用此法的表面粗糙度测量工具称为干涉显微镜。这种方法适用于测量Rz和Ry为～微米的表面粗糙度。
1.比较法
将被测量表面与标有一定数值的粗糙度样板比较来确定被测表面粗糙度数值的方法。比较时可以采用的方法: Ra > μm时目测~μm时用Ra < μm时用比较显微镜。
特点：该方法测量简便，使用于车间现场测量，常用于中等或较粗糙表面的测量。
2.触针法
利用针尖曲率半径为2微米左右的金刚石触针沿被测表面缓慢滑行，金刚石触针的上下位移量由电学式长度传感器转换为电信号，经放大、滤波、计算后由显示仪表指示出表面粗糙度数值，也可用记录器记录被测截面轮廓曲线。一般将仅能显示表面粗糙度数值的测量工具称为表面粗糙度测量仪，同时能记录表面轮廓曲线的称为表面粗糙度轮廓仪（简称轮廓仪。这两种测量工具都有电子计算电路或电子计算机，它能自动计算出轮廓算术平均偏差Rα，微观不平度十点高度RZ，轮廓最大高度Ry和其他多种评定参数，测量效率高，适用于测量Rα为～微米的表面粗糙度。
4、液平面法
??????液平面法是用液平面作为测量基准面，液平面由“连通罐”内的液面构成，然后用传感器进行测量。
5、三坐标测量法
??????天准公司自主研发生产的及系列三坐标测量机在测量平面度时可以通过测量软件自动进行平面度误差计算与分析，完全不需人工计算，大大提高测量效率和准确率。测量前也可在测量软件中设定公差值，当测量结果不在平面度公差带时，超差数据可以用不同颜色显示（颜色可以自行设定）。另，测量软件还有SPC统计分析及CAD图纸导入等功能。
表示符号
所属类别
形位公差
尺寸特征
测量方法
1、平晶干涉法
??????平晶干涉法用光学平晶的工作面体现理想平面，直接以干涉条纹的弯曲程度确定被测表面的平面度误差值。??
2、光波干涉法
????? ?光波干涉法常利用平晶进行，可以把干涉图案作为被检验表面的等高线，因此可以画出该表面的形状。
3、打表测量法
??????打表测量法是将被测零件和测微计放在标准平板上，以标准平板作为测量基准面，用测微计沿实际表面逐点或沿几条直线方向进行测量。?
测量仪器
偏摆仪、百分表、数据采集仪、影像测量仪、三坐标测量机
表面粗糙度仪、仪、表面粗糙度检测仪、粗糙度测量仪、粗糙度计、、干涉显微镜、、双管显微镜
应用行业
主要针对平面型工件：PDP背板，平板型冲压件，大尺寸硬质塑料等行业
广泛应用于各种金属与非金属的加工表面的检测，该仪器是传感器主机一体化的袖珍式仪器，具有手持式特点，更适宜在生产现场使用
平面度和粗糙度
定义
平面度是指基片具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差。是将被测实际表面与理想平面进行比较，两者之间的线值距离即为平面度误差值；或通过测量实际表面上若干点的相对高度差，再换算以线值表示的平面度误差值
表面粗糙度，是指加工表面具有的较小间距和微小峰谷不。其两波峰或两波谷之间的距离（波距）很小（在1mm以下），用肉眼是难以区别的，因此它属于微观几何形状误差。表面粗糙度越小，则表面越光滑。表面粗糙度的大小，对的使用性能有很大的影响