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清洗工艺及操作要求


注意事项: 1、插片机暂停工作时,请及时关闭进水阀及相关电源; 2、发生异常或机器故障时可及时按“急停开关”停止作业; 3、非指定人员,请勿擅自更改工艺或设置; 4、当出现水流量明显减少时,应及时停机清理水过滤器; 清理过滤器时应在停机状态下进行; 5、随时保持工作场所的清洁,做好5S;

(1)由切片人员将硅棒和相应的随工单送至清洗车间。 (2)预清洗人员核对随工单,区分厂家、规格、晶体编号、长度等情况。 注意观察硅棒是否有异常 (3)在随工单上注明交接时间、清洗确认人、掉片等情况。
(4)将硅棒轻轻从推车上取出放入预冲洗槽中,按照先左后右的顺序 进行冲洗取出和 放置时要小心放,防止撞片。
) ) ) )
9、送检时必须带好口罩防止唾液飘落在硅片上。( 10、破损、残缺的硅片可以倒插在片盒中送入分选。(
四、简答题(共30分) 1、硅片常见的几种不良是什么?(6分)
2、谈谈你在脱胶过程中、操作插片机、清洗机时应该注意哪些事项(对应岗位的回答 自己所对应的设备,例如插片工只需回答插片机操作注意事项)。(10分)
6、向滑台内一片一片轻放硅片,硅片在水流带动下滑入晶片盒;在硅片经过感应器后,晶片盒 架自动上升一格,仪表计数一次。插完第一个晶片盒的第24片时,报警器提示这盒即将插满, 插完第25片时暂停插片,待固定升降架自动升到第2个晶片盒时再进行插排片,直到第3个晶 片盒插满硅片。(避免碰到两边滑条,每盒插至最后一张硅片后,需待报警解除后再插片)
5、清洗 (1)检查插片机、清洗机、甩干机、水、电、气是否正常运行 (2)1号槽氢氟酸加入1000ml,4、5号槽分别加入清洗剂3kg (3)温度控制在50℃±5℃,4号、5号、9号槽需要加热,2号、3号、6号槽使用自来水,9号槽使用纯净 水,必须保持水面无泡沫

(4)2号-9号槽每槽需打开超声波开关 (5)将插好的硅片放到机器上进行清洗,每盒25片,6盒装一篮 (6)打开电源开关,(黄色指示灯手动状态下)按复位键,将两只机械手复位至原点,(有红色感应灯显示)将开关调至自动 状态(绿色指示灯状态)。按启动键即进入生产运行状态。

二、选择题(前五道为单选题,每题2分,后五道为多选题,每题3分,共25分) 1、脱胶时,是否需要戴上防护手套?( A.不需要 B.需要 C.无所谓 ) D.有就戴没有就不戴 )
2、防治污染的发生,清除垃圾和赃物是6S中的( A清扫 B清洁 C整理 D安全 )
3、清洗机的药剂槽加入的药剂是(

3、线痕片原本就不好插,插碎多少跟我毫无关系,是片子 ( )
4、插片机周转槽是等到下班和设备一起打扫的。(
质量问题。

5、清洗机各槽内的碎片对清洗效果有影响。(


6、片盒摆放时总是来回拉片盒,多放几层就可以少跑几趟了。( 7、硅片无论哪个面朝上都可以。( 8、烘干后的硅片可以用手触摸。(


A.清洗剂
B.乳酸
C.氢氟酸
) D.7个
D.草酸
4、清洗机总共有几个漂洗槽( A.5个 B.4个 C.6个


5、当机器出现异常时,应(
A.及时通知班长 C.找同事

B.自己解决 D.装作不知道 ) E.TTV
6、下列哪些不良品一定不会由清洗区引起( A.线痕 B.崩边缺角 C.超厚 D.脏片

注意事项 1、6号清洗槽必须保持为空槽(两只机械手交接的地方) 2、裝片前要检查提篮是否有破损,防止因提篮破损造成压蓝

6、甩干 (1)、将硅片盒对称放入甩干机,如不对称则会造成剧烈抖动,使硅片破损 (2)、片盒装好后,关闭缸盖,甩干时间控制在4分钟左右,加热温度130℃±5℃;吹气、喷淋开始运行,无紧急情况下 不得按急停开关 (3)、甩干后的硅片由甩干机内取出,整齐的排列在桌面上,必须保证同一晶体的硅片放在一起,严禁混放

(5)各取出头、中、尾各25片单独放,接着逐一取出剩余硅片,完全浸泡套,系好防水围裙。核对随工单 (2)在取片的时候,必须确保每张随工单与预清洗出片时的顺序相对应。 (3)检查晶片盒,将变形或者破损的晶片盒挑选出来,作好禁用标示
(4)打开循环水 小水槽水位开关调节,要确保小水槽水位到达溢流出口。将小水槽进水开关调至约1/4开启状态。 控制溢流水流量不能太大。 (5)脱好胶的硅片可从周转车转移至机器槽内暂放区,注意粘胶面朝上放置,每次取片30 片左右, 且需要注意取片时粘胶面正对着身体。如硅片较脏、不易拉开,需复冲洗。

2、预清洗 (1)打开自来水开关冲洗15分钟左右,直到没有污水流出 (2)在冲洗过程中,如硅片有松动、掉片等情况,直接在冲洗槽内将硅片取出,防止 翻棒过程中,对硅棒造成二次伤害。

(3)硅棒冲洗干净后,熟练的将硅棒翻转过来,并移至脱胶槽。 (4)在翻棒过程中硅棒不得与其他物品发生碰撞,防止造成人为的损耗。
7、转运脱胶后的硅片时,在硅片周转箱底及侧壁粘附海绵是为了( A.将硅片放入盒中时起减振作用

B.将盒底垫高,便于硅片的摆放
C.防止硅片与硅片周转箱直接接触产生崩边缺角 D.减小推车时振动或晃动对硅片的影响 8、清洗过程中发生异常,该如何处理( A.找班长处理 C.将界面自动模式点击至手动模式

3、脱胶

(1)脱胶槽水温控制在50±5℃,温度过高会造出花斑片,温度太低胶水脱不下 (2)脱胶时间应控制在8-10分钟,使硅片自然倾倒不允许将硅片推到,防止倾倒造成崩边 和碎片

(3)取少量在脱胶台上进行脱胶,必须严格控制时间,否则时间过长会导致花片 (4)拿硅片时保持力度适中,否则会导致碎片,脱胶时必须把粘胶面倒角及侧面清理干净,防止有 胶残留。
昊能光电清洗员工转正要求培训
许心磊
操作流程
切片下棒 预冲洗 晶棒超声 脱胶 边缘 返工 二次 冲洗 送检 甩干 超声清洗 插片
边缘返工
测尺寸,磨边缘,测尺寸
检验 污片复洗
插片、清洗、 甩干
送检
脱胶
手动脱胶 工艺要求:
水温:50-55℃
水位:淹没硅片即可
浸泡时间:硅片自然倒伏(8—10分钟)
1.领用硅棒

(4)、做好送检记录表,并有检片人员确认送检数量、缺角数量、交片数和理论片数的差异,备注清楚各种异常。

注意事项: 1、片盒分布对称,且不能晃动 2、禁止甩干机未蜂鸣手动停止,开门取片 3、手套有水禁止接触片盒 4、不同晶棒编号有明显界限
脱胶清洗员工上岗转正试题

一、填空(每题 1 分,共 30分) 1、预清洗冲洗槽水压范围在 2、要保持硅片表面 3、脱胶前必须核对晶棒的 4、物料的进出必须遵循 5、脱胶时每次除胶要将 6、接班后必须对设备的 7、插片时,粘胶面方向应该是 8、清洗过程中产生脏污片的主要因素为 、 、 9、给设备加、换药剂时,必须穿戴 10、当设备出现异常时,应及时按下 11、插片机划台水流过大会 12、 6S是的内容为 、 。 、 、 、 、 。 、 并上报 、冲洗时间范围 ,禁止将硅片长时间置于 是否与 的原则。 清理干净,拿片宜在 , , 、每次拿片小于 、 等。 等防护用品。 。 之间。 进行点检。 。 、 一致。 。 。
3、请列举在你工作周围存在的7大浪费现象(7分)
4、在工作过程中,你觉得那些地方存在问题,应该怎样去改善?(7分)

B.按下急停开关按键 D.不管它,继续洗 ) E.线痕 )
9、预清洗过程中脱胶不完全容易对硅片产生( A.崩边
B.缺角
C.硅落
D.隐裂
10、为防止硅片二次污染,对清洗送检员工要求佩戴( A.防尘帽
B.口罩
C.手套
D.防尘服
E.围裙
三、判断(每题 1.5分,共10分) 1、水温会影响硅片的质量。( ) 2、由于现场硅片积压,药剂更换时间可以先延后。(
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