2、微系统相关技术基础
2.1、微电子技术(Microelectronics Technology) 2.2、射频与无线电技术(RF and Wireless Technologies) 2.3、光学技术(Optical Technology) 2.4、MEMS技术(MEMS Technology)
微系统概述
Contents
1、什么是微系统(MICROSYSTEMS)
2、微系统相关技术基础
2.1、微电子技术(Microelectronics Technology) 2.2、射频与无线电技术(RF and Wireless Technologies) 2.3、光学技术(Optical Technology) 2.4、MEMS技术(MEMS Technology)
3、什么是微系统封装(Micro System Packaging)
4、什么是微电子封装(Microelectronic Packaging)
5、微电子封装发展进程(Development)
6、微系统封装技术的地位和作用(Role)
7、微系统封装中的技术挑战(The Challenge)
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1 What Is MICROSYSTEMS
? 微系统是以微电子技术、射频与无线电技术、光学 (或光电子学 ) 技术、微机电系统 (MEMS) 等技术为核心，从系统工程的高度出 发，通过封封、互连等精细加工技术，在框架、基板等载体上制 造、装配、集成微小型化功能装置。
? 我们所讨论的微系统大量应用于信息工程领域，因此微系统也可 以称为信息工程微系统。
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1 What Is MICROSYSTEMS
Typical 微系统产品
Medical Spinal Cage Vsadek
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1 What Is MICROSYSTEMS
Typical 微系统产品
Micro-robot
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Contents
1、什么是微系统(MICROSYSTEMS)
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1 What Is MICROSYSTEMS
微系统与集成电路制造的关系（Cont.）
? 因此，微系统的整个制造过 微系统技术的发展已经使许多高速信息处理、大容量存储、超低功耗的 电子产品成为现实，未来的微系统产品将覆盖人类生活的方方面面。
sensing, processing and/or actuating functions . These would normally combine two or more of the following: electrical, mechanical, optical, chemical, biological, magnetic or other properties, integrated onto a single or multichip hybrid.
Level demanded
Control Logic Circuit
Microsensors detect changes in the parameter to be controlled, electronic control logic then operates microactuators based on information from the sensors, to bring the parameter to be controlled within the desired limits.
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Actuator Sensor
Parameters to be
Controlled
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1 What Is MICROSYSTEMS
微系统构成
微系统的构成：一个完整的微系统由 传感器模块、执行元件模块、信号处理模 块、 外部环境接口模块以及定位机构、支撑机构、工具等机械结构等部分构成。
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1 What Is MICROSYSTEMS
微系统构成
控制部分 电子学
微电子学
机械 部分
传感 执行
M EM S
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1 What Is MICROSYSTEMS
微系统与集成电路制造的关系
? 微系统能迎来真正的蓬勃发展很大程度上归功于微电子技术的进步 ，因为超大规模集成电路的诞生为集成系统实现微型化提供了制造 条件。
? The development of Micro-system technology has many electronic products become a reality，such as high-speed information processing, large capacity storage, ultra-low power , the future of micro-system products will cover all aspects of human life.
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1 What Is MICROSYSTEMS
Typical 微系统产品
Smart Watches
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1 What Is MICROSYSTEMS
Typical 微系统产品
Multimedia Personal
Communication Terminal
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? 对于微系统的关键技术-微制造技术来说，微电子工程中的微细加工 技术只是一个重要的基础部分，并不是全部，这是由微系统与微电 子电路结构方面的差异决定的。
? 微系统可能包含一些可动构件以及传感器等，是光机电等多功能复 杂系统高度集中的立体结构，而集成电路加工技术主要是平面二维 的或浅表层，而且主要是对硅材料的加工。
? 这些微系统包括计算器、个人电脑、移动电话、视频产品等消费 类电子产品，以及计算产品、通信产品、汽车、航空航天产品、 医疗电子等信息类产品，当今人类活动与技术进步都与这些各种 各样的集成多功能微小系统密切相关。
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1 What Is MICROSYSTEMS
微系统构成
A microsystem is defined as an intelligent miniaturized system comprising