气敏传感器的现状及发展趋势
陶瓷气敏传感器可用于分析酒精蒸汽的含量。 当酒后驾驶员对准 传感器检测口吹气时,由于其血液中含有一定的酒精成分,传感器中 电阻会发生与酒精浓度成比例的变化,并显示相应数值。 3.4 用于检测气味和食物原料分类
气味检测是气敏传感器未来的主流方向之一,最有潜力的应用领 域是食品工业和医学,还有家住环境和舒适度的调节(下转第 312 页)
金属氧化物在常温下是绝缘的, 制成半导体后却显示气敏特性。 通常器件工作在空气中,空气中的氧和二氧化氮这样的电子兼容性大 的气体,接受来自半导体材料的电子而吸附负电荷,结果使 N 型半导 体材料的表面空间电荷层区域的传导电子减少, 使表面电导减小,从 而使器件处于高阻状态。 一旦元件与被测还原性气体接触,就会与吸 附的氧起反应,将氧束缚的电子释放出来,敏感膜表面电子增加,使元 件电阻减小。 该类气敏元件通常工作在高温状态(200~450℃),目的是 为 了 加 速 上 述 的 氧 化 还 原 反 应 [3]。
气敏传感器主要用于测定气体浓度,当安装在厨房、工厂、矿山以 及其它公共场所的气敏传感器检测到有害气体浓度达到一定值时,会 给出相应信号,并发出声音报警,提醒人们注意。 3.2 用于检测环境质量
在办公室、住宅、汽车、飞机等较密闭环境安装气敏传感器,一方 面由于即使少量的有害气体也会对人体造成伤害,所以可用于检测环 境质量;另一方面也可用于检测二氧化碳浓度是否超标,提醒人们注 意通风换气。 器使用接线图
图 3 中“V”为传感器的工作电压,同时也是加热电压。当气敏传感 器加热后,环境中的可燃气体浓度加大时,传感器的内阻将迅速减小, 利用该特性结合分压原理,可知输出电压的值将逐渐增大,当超过设 定的阀值时,可产生相应的操作。
3 主要应用
近年来,气敏传感器的应用越来越广泛,其中最主要的任务是防 止突发事故,提高生活质量,保障生产过程安全性。 3.1 用于监控易燃气体泄漏和检测有害气体成分
气敏传感器的研究现状及发展趋势
鲁珊珊 1 李立峰 2 (1.内蒙古机电职业技术学院,内蒙古 呼和浩特 010018;2.内蒙古电力勘测设计院,内蒙古 呼和浩特 010018)
【摘 要】本文以气敏传感器为研究对象,介绍了国内外气敏传感器的产生及现状,详细分析了气敏传感器的工作原理,阐述了主要应用领 域,并最终依据现状总结出气敏传感器的未来发展趋势。
【关键词】气敏传感器;应用;发展趋势
1 国内外气敏传感器的产生与发展
气敏传感器又称“气体传感器”,是指利用各种化学、物理效应将 气体成分、浓度按一定规律转换成电信号输出的传感器件,是化学传 感器中最活跃的一种。 早在 20 世纪 30 年代人们就已发现金属氧化物 具有气敏效应,而半导体气敏元件则是在 60 年代初期研制成功的,最 先研制的 ZnO 薄膜元件, 它是利用 ZnO 薄膜电阻接触的可燃性气体 浓度增加而下降,实现对可燃性气体检测。 继而又发现在 SnO2 中添加 Pt 或 Pd 等贵重金属做增感剂能提高其灵敏度[1]。
MQ-5 型 气 敏 传 感 器 由 微 型 氧 化 铝 陶 瓷 管 、氧 化 锌 敏 感 层 、测 量 电极和加热器构成。 敏感元件固定在塑料或不锈钢制成的腔体内,加 热器为气敏元件提供了必要的工作条件。 封装好的气敏元件有 6 个管 脚,其中 4 个用于信号输出,2 个用于提供加热电流。 MQ-5 型气敏传 感器引脚排布图如图 2 所示,MQ-5 型气敏传感器使用接线图(如图 3 所示)。
例如用于家庭或工业可燃性气体的检测、简陋报警器电路中所采 用的 MQ-5 型气敏传感器就属于可燃性气敏传感器,如图 1 所示。 它 对液化气、天然气、城市煤气等具有较高的灵敏度,而对乙醇、烟雾几 乎不起反应,并且具有灵敏度高,响应速度快,稳定性好,寿命长,驱动 电路简单等优点。
图 1 MQ-5 型气敏传感器
图 2 MQ-5 型气敏传感器引脚排布图 图 2 中 H-H 表示加 热 极 (如 5V),A-A、B-B 表 示 传 感 器 敏 感 元 件的两个极。
2 工作原理
气敏电阻的材料是金属氧化物,在合成材料时,通过化学计量比 的偏离和杂志缺陷制成,金属氧化物半导体分 N 型半导体,如氧化锡、 氧化锌等,P 型半导体,如氧化钴、氧化铅等。 为了提高某种气敏元 件 对某些气体成分的选择性和灵敏度,合成材料有时还掺入了钯、铂、银 等催化剂。
日本气体传感器经过 20 多年的发展, 其制造技术与产品水平已 提高到相当水准, 由日本费加罗技术研究公司规模生产的 SnO2 系列 气敏传感器达 21 种规格,广泛用于 11 种气体的测量。 在美国,氧传感 器主要用于汽车发动机空/燃比控制和家用报警器。 英国电气阀门公 司生产的催化燃烧型气敏传感器 ,德 国 DraegerwerkAG 生 产 的 医 用 薄 膜型气敏传感器,瑞士 CerbertlsLlmited 生产的火灾报警用气敏传感器 等 , 都 是 世 人 所 熟 悉 的 [2]。
20 世 纪 70 年 代 中 期 我 国 开 始 研 制 金 属 氧 化 物 半 导 体 气 敏 传 感 器和钯栅 MOS 场效应氢敏晶体管, 并开始在家用燃气报警器和电力 工业变压器油变质监测上应用。 近年来我国的气敏传感器技术飞速发 展, 全国有 30 多所高等院校和研究所研究开发各种类型的气敏传感 器,在工艺方面引入表面掺杂、表面覆膜以及制作表面催化反应层和 修 隔 离 层 等 工 艺 ;另 外 新 研 究 的 AL2O3 气 敏 材 料 、石 英 晶 体 和 有 机 半 导体也开始用于气敏材料。 但与国外发达国家相比还有较大差距,主 要体现在产品生产技术和产业化等方面。
作 者 简 介 : 鲁 珊 珊 (1981.9— ), 女 , 山 东 潍 坊 人 , 硕 士 , 内 蒙 古 机 电 职 业 技 术 学 院 , 教 师 。 李 立 峰 (1981.5— ), 男 , 山 东 淄 博 人 , 博 士 , 内 蒙 古 机 电 力 勘 测 设 计 院 。