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Glass Output
MVA製程 (多象限垂直配向)
Multi-domain Vertical Alignment
藉由此突出物的幫忙，可以讓液晶產生一預傾(pre-tilt angle)，以便當電壓施 加於液晶時，可以讓液晶倒向不同的方向，人眼對液晶長軸與短軸的屈光特性並 不一致， 以致當人眼的夾角變化時，感受到的光強度便不一致，就會有不同灰 階的感覺。MVA的原理就是想利用不同角度的液晶，藉由互相的補強，來擴大視 角的範圍 。VA机种液晶排列是垂直于面板，属于normal black类型。
4
CF俯視圖
彩色濾光片結構
CF剖面圖
RBM 1.2μm
0.3~0.7T
PPT课件
5
BM製程
BM RGB
OC
ITO
MVA
PS
1. 功用：遮光效用，防止TFT產生光電效應進而產生誤動作;
防止兩色相混，使兩顏料不會混合在一起;
增進色彩對比性;
2. Cr BM製程
樹脂BM製程
基板
光阻塗佈
Cr成膜 光阻
光阻塗佈
CF制程简介
PPT课件
中小二期工程部 雷清芳
1
簡報大綱
液晶顯示器的基本構成元件 彩色濾光片的結構 CF製程介紹 CF不良简介
PPT课件
2
何謂Color Filter
Color Filter – 彩色的LCD需要用到彩色濾光片（Color Filter），經由控制IC的 訊號處理，使得從背光源發射的強光，可利用彩色濾光片的處理， 表現出彩色的畫面。 – 彩色濾光片之製作是於玻璃基板上，將紅、綠、藍三原色之有機 材料，製作在每一個畫素之內。
PS Bottom Area
7.75um
Opening of lower pixel
PPT课件
X軸面
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Y軸面
CF不良簡介
• 白缺陷： 漏光(RBM欠陷、RGB色剝、針孔、圖形刮傷等)
• 黑缺陷： 異物(RBM殘留、Particle、RGB光阻異物等)
• Mura缺陷： Mura(直/橫 Mura、黑Gap Mura、ITO色不均等)
CF
CF
TFT
Spacer-Ball
TFT Column PS光罩
UV 燈
PS光阻塗佈及旋轉
顯影
PPT课件
曝光
14
烘烤
Photo Spacer
同性
電互
Cell-Ball spacer
斥
CF- PS
PPT课件
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MACRO外觀檢查光Fra bibliotek透過檢查強光燈檢查
鈉燈反射檢查
主要針對外觀不良(異物、漏 光、Mura、色不均等)進行 篩檢過濾檢查。
自由電子 Ar＋
基板 通 入 Ar 氣 體
二次電子
PPT课件
抽 真 空
7
BM RGB
RGB製程
OC
ITO
MVA
PS
UV燈
光罩
BM - 基板
紅色光阻塗佈
曝光
曝光部分因聚合 而失去溶解性。
顯影
洗去未曝光部分， 形成所需圖案樣式。
烘烤
加熱以硬化殘 留之負型光阻。
PPT课件
綠色&藍色
8
正/負型光阻
正型光阻 :開口曝光~光阻不保留
PS
• 所謂ITO是指Indium(銦)及Tin(錫)的氧化合物，因為透明 又具導電性，所以又稱透明導電膜。
ITO靶
RGB基板
濺鍍
鍍好ITO膜之基板
PPT课件
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BM RGB
MVA 製程
OC
ITO
MVA
PS
PPT课件
Glass Input 水洗段Clean MVA光阻塗佈
曝光製程 顯影
AOI檢查
Oven
PPT课件
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特性量測
BM
位置精度 線幅精度 Total Pitch 光學濃度(OD)
RBG 色度(分光值)
膜厚
ITO 透過率
阻抗值
PS柱高
PS 位置精度
上底PP尺T课寸件
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BM特性量測
黑色陣列圖案(BM)總長 ─ Total Pitch
正常
Total Pitch變寬
部份偏移
關鍵性的尺寸： BM的線寬、開口率、位置精度
PPT课件
3
液晶顯示器的基本構成元件
TAB IC
R
驅動IC板
Glass 液晶
G Glass
TFT-LCD面板剖面圖
偏光片
CF
TFT
B
偏光片 背光燈管
1.TFT LCD是由兩片玻璃所組成，上端是CF ，下端是TFT，中 間夾著一層液晶，再搭配偏光板、背光板及驅動電路等元件， 形成為一顯示器模組。
PPT课件
PPT课件
25
白缺陷類-BM欠陷
透射光
反射光
BM欠陷特徵：
從反射光中較易看出，如果從透射光去看可以
看見不規則遮光層消失，形成漏光現象。
PPT课件
26
白缺陷類- RBM額緣針孔
透射光
反射光
RBM額緣針孔：
從反射光中較易看出，如果從透射光去看可以看見遮
光層消失，形成漏光現象PP。T课件
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PPT课件
負型光阻 :開口曝光~光阻保留
9
BM RGB
OC製造流程
OC
ITO
MVA
PS
CF廠一般機種製造流程
導入OC材機種製造流程
BM+RGB
OC層的作用說明： 使色層平坦化與保護層的作用，提升後段製程良率。
OC
ITO
PPT课件
10
鍍ITO製程(Sputtr ITO)
BM RGB
OC
ITO
MVA
PPT课件
22
RGB-穿透率
理想下：穿透PP率T课件越高越好
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Photo Spacer 規格量測
特性量測：位置精度、膜厚、上/下底線幅
Photo spacer 13㎛
Opening of upper pixel
4㎛
PS Top Area
2.75um
BM center Y BM center X
加入凸起物（Protrusion）
使液晶本身產生一個預傾角
（Pre-tilt Angle）
PPT课件
13
Photo Spacer
BM RGB
OC
ITO
MVA
PS
• 目的:在使TFT及CF面板中間有間距，使液晶能做旋轉的動作.
Conventional Structure
Novel Structure
基板 黑色光阻
曝光
UV光源 光罩
曝光
UV光源 光罩
顯影 蝕刻 光阻剝離BM形成
PPT课件
顯影
硬烤BM形成 6
鍍鉻製程(Sputtr Cr)
原理：利用高壓電場將通入的氣體分子Ar游離成Ar+離子和電子， 再以電場加速Ar+離子撞擊Target，Target原子就會被撞擊出來， 沉積在基板上。
靶材Cr
開口幅-Y
OD值、膜厚 開口幅-X
線PPT寬课件變寬 = 開口率變小
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RGB色度量測
色度
PPT课件
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RGB特性量測 II
起始部
幅手 全距
PPT课件
終了部
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RGB 特性量測 I
色度 線寬 透過率 線寬
PPT课件
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ITO規格量測
•穿透率(88以上)
ITO膜 •阻抗值(30以下)
理想下阻抗值越低越好