要 包 括切 片 、 片 、 装测 试 、 粘 封 包装 等 过程嘲 。成 型分 离 说 。 门限 的选取 十分 困 难 。门 限选择 得 好 ， 理速 度 就 处
是 半 导 体 封 装 中保 证 产 品质 量 的 最后 一 道 关键 工 序 ， 快 ， 匹 配准确 ； 且 门限选 取过 大 ， 处理 速 度 提高 慢 ； 取 选 该制 程需 要对 芯 片及 其 引脚 缺 陷等 进行 检测 。机器 视 过 小 。 匹配 又 不准 确 。 因此 。 在实 际应 用 中 ， 大多采 用 自 觉检 测技 术作 为 一种非 接 触 测量 技术 。 有 非接 触性 、 适 应 门 限序 列 的 Ｓ Ｄ 具 Ｓ Ａ算法 实 时 性 、 活性 和高 可靠 性等 优点 ， 灵 在微 电子 制 造 中得 因 此 ．本 文采 用 了梯 形 分层 搜 索 的 序 贯相关 判 决 到 了广泛 应用 。但 是 ． 针对 Ｉ 道 封装 工序 生 产过 程 算 法 的匹配 策 略 ．采用 梯形 分层 搜 索缩 短 了 匹配 点 的 Ｃ后
项外 观检 测 的实 时性 、 准确性与 可靠性 。
参 考 文献：
【】 晖 ． 于机 器视 觉 的表 面 贴 装 芯 片 引脚检 测 的研 究 ０］ 州： １旷 基 ３． 广 广 东 工业 大 学 ．０ ６ ２０． ［］ｔ ： ｗ ２ｈｔ ／ ｗｗ．ｍｉ ｒ． ｐ／ ｓ ．ｇ ｅ ｏ
应 的测试 结果
Ｓｅｌ 将 采 集 到 的待 识 别 图像 和 模 板 图像 每 ｎ ｎ ｔ ： ｐ × 个 像 素 的像 素值 加 权 平 均 为 一 个 像 素 构 成 第 二 级 图
像。 同理在 第二 级 图像 的基础 上 构成 第 三级 图像 ． 如此 ２ 芯片 的识 别与 定 位 、 在半 导 体 器 件外 观 视 觉检 测 中 ．首 先 要 根据 检 测 迭 代下 去可 构 成一 系列 的 图像 序 列 ．得 到 一 系列 由小 项 目搜 索 到 相应 区域 。 区域 包 含 待 检 的对 象 ， ： 该 如 引 到 大 的图像 梯形 结构阁， 图一 所 示 ； 如 脚 、 位孔 、 封体 等 ， 图 像处 理 上 通 常 把 这些 区域 定 塑 在
图 一 “ 字塔 ” 层 图像 示 意 图 金 分
Ｅ
ｌ （， （， （２ 的相似度 ： １ 一 ｍ１ ｆ ２） ） 一 ，＋ ）
—
Ｓ ｐ： ｔ ２ 由上 到下逐个计算每一级 图像和对应模板 ｅ
式（— ） ， ｙ分 别 是 子 图 和 模 板 中像 素 灰 度 级 ２ ２中 ，
称 为 Ｒ Ｉ ｅｉｎＯ ｔｒｓ ￣域 。 Ｏ （ ｇｏ ｆ ｎｅｅ０ Ｒ Ｉ 因此 ． 准 确快 速 地 能
搜 索 到相应 的 Ｒ Ｉ Ｏ 区域 是有 效检 测 的前提 和保 证 。 １７ ９２年 ．ａ ｅ Ｂ ｍ ａ和 Ｓｌｅｍａ 出 了一 种 效 率 很 高 ｉ ｒ ｎ提 ｖ 的序 贯 相 似 性检 测算 法（ｅｕ ｎｉ ｉ ｌｒｙＤ ｔ ｔ ｎ Ｓ ｑ ｅ ｔ ｌ ｍｉ ｉ ｅｅ ｉ ａ Ｓ ａｔ ｃｏ
３ 实验 结果 、
根据 以上分 析 ．本 文应 用 该 算法 对 导线 架 中的 芯 片进行 匹配 检验 。 图二 是一个 待 匹配 的 目标 图 ． 如 图三
是 模板 图
０ Ｓ４ （ １ ０３８ ５ ８ ５ ． ， ．） ９ ３９ ０ ８
表一
目标 图 匹 配结 果 （ 分 ） 部
［８赵 妍 妍 ， 兵 ， 挺 ． 本 情 感 分 析 Ⅱ． 件 学报 ．００１ （ ） ３】 秦 刘 文 】 软 ２１， ８： Ｏ
１３ ８ ４－１ ４８ ８ ．
【１雷震 ， ３１ 吴玲 达 ， 雷蕾 等 ． 始 化 类 中心 的 增 量 Ｋ 均值 法及 其在 初
新 闻事 件 探 测 中的 应 用 ．情 报 学报 ＩＳ ０ ０ ０ ３ ． ０ ，５３： ［ 】 ＳＮ１０ — １５ ０６ ２ （ ３ 庞俊． 于确定话题和情 感极性的博客文本 聚类研 究０】 ２ ） ９ 基 ３． 武 汉 ： 汉 理 工 大 学 。０ ０ 武 ２ １． ２ －２ ． ５９ ９５ ［２￣－ ， 满 泉 ， 洪波 ． 于 多 策略 优化 的 分 治 多层 聚 类 算 【 ］ ｉＮａ ｋｗａ Ｂ ｎ￣ Ｒ．ｅｔ ｎａａ ｚｒ ｘｒｃｎ ｓ ｔ ｎ ３ ］ｌＺ 于 ３ 许 基 ４ ＶＪ ｓ ａ Ｔ，ｕ ｅ ｕ ． ｎｉ ｔ ｌ ｅ： ｔ ｔ ｇｅ ｉ ０ ， ｕ Ｓ ｍｅ ｎ ｙ ｅ ａ ｉ ｎ ｍｅ ａ ｎ ｌ ｉｔ ｎ： Ｘ 法 的话 题 发 现 研 究．全 国第 八 届 计 算 语 言 学联 合 学术 会 议 ０ — ｔ ｂ ｕａ ｉｅ ｔｐｃ ｓ ｇ ａ ａ ａ ｇ ａ ｅ ｒｃ ｓｎ ｅｈ ｉｕ ｓＩ Ｗ ｕ Ｓ ｓ ｏ ｔｇｖ ｎｏ ｉｕｉ ｎ ｍｒｌ ｎ ｕ ｇｐ ｏ ｅｓ ｇ ｃ ｎｑ ｅ．
Ｓ ｐ￣ ｔ ３ 在每一级的相关性计算 的过程中。 ｅ ， 可采取序 贯相关性算法 ，即把模板和要识别 的图像部分分成若
福
建 电
脑
２ １ 年第 ８期 ０１
干 小 块 ， 计算 某 一块 或几 块 的 相关 性 见 ， 果 小 于 脚 的检 测提供 了可 靠 、 先 如 准确 的 Ｒ Ｉ Ｏ 区域 。 设 定 的 阈值 ０ 则 可认 为 ｓｉ） 是要关 心 的 目标 区域 ， ， （ 不 ｊ
匹配中 心位置
ｌ ｅ ｆ ｘ１ ＇ ） ｉ
角度
（ｃ） Ｄｚ
从 而进 行 下 一个 目标 图 像 的 匹配 。如 果 兄＞ ， 拿整 再
个 Ｓ Ｊ 整 个 模 板 进 行 相 关 性 计 算 ， 一 步 确 定 对 ， 和 进 ｓｉ） （ 的取 舍 。 过 图像 搜 索后 ， ｊ 通 分别 得到 导线架 中芯 片
０ ９６ （ ０ ８４ １ ．２２ ． １ ７ ． ，７． ９ ０２ 加） ｏ ５ ． ０ ９５ （ １ ０６６ ５ ． １ ７ ． ，３． ） ＿ １ｌ ９ ０４ ３ ｏ７ ． ０９ｌ ． ０ ９ （ ２ ７３８ ９ ６ ． ，０ ． ） ．． １ ０７ １ ０ ０ ０ Ｏ１］ ． ４
Ａｇｒｈ Ｓ Ｄ ） ，该 算 法从 以下 两个 方 面对 计 算 效 ｌｏｉ ｍ， Ａｒ ｔ Ｓ ￣ 率 进行 了改进 。 首先 ， 法使 用 的相 似性 度量 方法 计 算更 为简 单 ： 算
字ｌ 葛 ０ 若 展
（－ ） ２１
对 Ｅ进行 归一 化 得到 ：
Ｍ Ｎ ． ．
【 关键词】 自动化检测 芯片识别与定位 梯形分层搜 索序贯相关判决算法 ：
１ 引 言 、

随 着 现代 半 导 体器 件 向微 型化 、集 成 化 和高 可 靠
的平 均值 。 Ｓ Ｄ 实质 上 是 把 向量 空 间 中两 点 间 的距 离 作 为 ＳＡ
性 方 向发 展 以及 １益激 烈 的市场 竞 争 ．半导 体产 品生 两个向量相似程度的度量 ．与归一化灰度级相关算法 ３ 此算 法 没有乘 法运 算 ， 减少 了计 算量 。 产 与制 造 设 备 正朝 着 高 速 度 、 精 度 、 能 化 、 性 制 相 比 ， 高 智 柔
】 计 ２ ０ ，０３：７ ６ ． 图 中很好 地匹 配到 了所设 定 的模 板 ．从而 为这 部分 引 的设 计 与 实现 Ⅱ． 算机 工程 与 科 学 ，０ ８３ （）５ — １
ｆ 上接 第 ４ 页１ １
ｈ ｇ ａ ｈｉｅ ｙ ｅｓ１ ９ ３ ａ Ｍ ｃ ｎ ｒ Ｐｒ ｓ， ９ ８：７—４ ５
测 试 采 用凌 华 科 技 有 限公 司 的 Ａ ０ ３ １工 业 控 制计
【］ａ ｅ ｌ Ｓｌ ｒ ｎ Ｈ．． ｌｓｏ ｌ ｒｈ ｒＦｓ Ｄｇｔ ３ ｒ ａＥ ， ｉ ｅｍａ ＦＡ ｃ ｓ ｆ ｇ ｉ ｍｓｆ ａ ｉｉｌ Ｂ ｎ ｖ ａ Ａ ｏ ｔ ｏ ｔ ａ Ｉ ｇ ．ｇ ｔｔ ｎ Ｉ． Ｅ ｒ ｃ ｏ ｏ ｏ ｕｅ ，９２ Ｃ一 ｍａｅｌｅｉｒ ｉ ＪＩ Ｅ Ｔ ａ ｔ ｍ ｎＣ ｍｐ ｔ ｓ１７ ， ￣ ｓ ａｏ ］Ｅ ｍａ ｉ ｒ
造 系统 （ ＭＳ 、 Ｖ ） 多功能 等 自动 化方 向发展【 Ｉ 】 。 ＳＤ Ｓ Ａ算 法 通 常 有 三种 ：固 定 门 限 的 Ｓ Ｄ Ｓ Ａ算 法 、
半 导 体 生产 通 常分 为 前 后两 道 工 序 。前 道工 序 指 单 调 递增 门限序 列 的 Ｓ Ｄ Ｓ Ａ算 法及 自适 应 门 限序 列 的 ＳＤ Ｓ Ａ算法 。 于固定 门 限法和单 调 递增 门 限序列 法来 对 芯 片扩 散 、 快速 热 处 理 、 片处 理 等 过程 ， 道工 序 主 硅 后
的实 时 高 速 高精 度 高 可 靠 性 的 质 量检 测 和定 位 问题 ． 搜 索事 件 。 而序 贯相 关判 决法 保证 了搜 索 的精度 。 算 该 国 内相关 工作 还 非常 少 。本 文重 点 分析 了利 用 梯形 分 法 的基 本 步骤 如下 ：
层 搜 索 的序贯 相关 判决 算 法 的 匹配 策略 ，并 给 出 了相
序号 相似度
０ ｌ ２ ３ ４ ５ １ ００ ．０ ０ ０ ９６ ． ６ ９ ０ ９５ ９６ ０ ９４ ． ６ ９ Ｏ９５ ． １ ９ ０ ９０ ．４ ９
匹配中心位置
ｆｔ） Ｐ． ｉ１ ｅ
角度
ｆｃ Ｄ
序号 相似度
６ ７ ８ ９ ｌ ０ ｌ ｌ Ｏ９１ ．３ ９
４ 结 论 、
本 文 针对 Ｉ 道封 装 工序 生产 的 高速 、 Ｃ后 高精 度 的
特 点 ．采用梯 形分 层搜 索 的序贯相 关判 决 算法 的 匹配
策 略进行 芯片 的识 别与定 位 。 过实 例表 明 ． 算法 很 通 该 好地 实现 了 目标 图像 的识别 与定位 ．保 证 了后续 的各
２ １ 年第 ８期 ０１
福
建 电
脑
８ ７
芯片视觉检测 的定 位算 法及 实现
汤 晓 燕